激光加工辅助器具、激光加工装置和激光加工方法与流程

本发明涉及激光加工辅助器具、激光加工装置和激光加工方法。

背景技术：

1、已知有通过对在表面侧形成有多个功能元件的对象物照射激光，从而在对象物形成用于将对象物按每个功能元件切断的改质区域的激光加工装置。在这样的激光加工装置中，有时以在对象物的表面贴附胶带(所谓的背面研磨胶带)且由框架保持胶带的状态，使激光从对象物的背面侧向对象物入射。在使激光从背面侧向对象物入射的激光加工方法中，与使激光从形成有多个功能元件的表面侧向对象物入射的激光加工方法相比较，具有“激光的照射既不易受在对象物的表面的街区区域(多个功能元件之间的区域)形成的膜和构造物的影响，也不易受街区区域的宽度的影响”、“从改质区域至街区区域的龟裂的直行性提高”等优点。

2、但是，在功能元件具有脆弱的构造的情况下，存在由于向对象物的表面贴附胶带而功能元件发生破损的担忧。此外，在激光加工装置的抽吸台(所谓的吸盘台)上，经由胶带对对象物的表面产生抽吸作用，因此还存在由于抽吸台的抽吸作用而功能元件发生破损的担忧。

3、因此，提出有以在对象物的背面贴附胶带且胶带由框架保持的状态，保持框架并且仅支撑对象物的表面中未形成有多个功能元件的外缘区域的激光加工装置(例如，参照日本特开2010-29927号公报)。

技术实现思路

1、但是，当以仅支撑对象物的表面中未形成有多个功能元件的外缘区域的状态实施加工时，存在在对象物产生的变形和错位在加工的过程中变大，不能在对象物的所期望的位置适当地形成改质区域的担忧。

2、本发明的目的在于，提供即使在功能元件具有脆弱的构造的情况下，也能够抑制在形成于对象物的表面侧的多个功能元件发生破损并在对象物高精度地形成改质区域的激光加工辅助器具、激光加工装置和激光加工方法。

3、本发明的一个方面的激光加工辅助器具是在通过对在表面侧形成有多个功能元件的对象物照射激光，从而沿着以通过多个功能元件之间的方式设定的多个线的各个在对象物形成改质区域的激光加工装置中使用的激光加工辅助器具。激光加工装置包括支撑对象物的支撑部、对对象物照射激光的照射部和以激光的聚光点沿多个线的各个相对地移动的方式控制支撑部和照射部的至少一者的控制部。本发明的一个方面的激光加工辅助器具包括：第1薄片，其在以在相对于激光具有透过性的胶带贴附于对象物的背面且胶带由框架保持的状态下，激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，由支撑部包含的保持部保持框架的情况下，配置在支撑部包含的抽吸台上，载置对象物；和第2薄片，其在上述情况下，配置于抽吸台上，在比载置在第1薄片的对象物的背面低的位置上，对胶带中对象物与框架之间的中间部分产生抽吸台的抽吸作用，第1薄片对对象物产生的抽吸台的抽吸作用比第2薄片对中间部分产生的抽吸台的抽吸作用弱。

4、在上述激光加工辅助器具中，以激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，由保持部保持框架并且以对象物的表面与第1薄片相对的状态在第1薄片载置对象物。再有，第2薄片在比对象物的背面低的位置上，对胶带的中间部分产生抽吸台的抽吸作用。由此，对象物被胶带的弹力推向抽吸台侧，能够抑制在对象物产生的变形和错位并在对象物高精度地形成改质区域。此外，不需要在对象物的表面贴附胶带，而且第1薄片对对象物产生的抽吸台的抽吸作用比第2薄片对胶带的中间部分产生的抽吸台的抽吸作用弱。由此，即使在功能元件具有脆弱的构造的情况下，也能够抑制在形成于对象物的表面侧的多个功能元件产生破损。根据以上所述，根据上述激光加工辅助器具，即使在功能元件具有脆弱的构造的情况下，也能够抑制在形成于对象物的表面侧的多个功能元件产生破损并在对象物高精度地形成改质区域。

5、在本发明的一个方面的激光加工辅助器具中，第1薄片也可以以第1薄片的外缘位于第2薄片的外缘的内侧的方式，层叠于第2薄片。或者，第2薄片也可以沿第1薄片的外缘延伸。由此，能够简易地构成激光加工辅助器具。

6、在本发明的一个方面的激光加工辅助器具中，胶带对第2薄片的粘着力也可以低于胶带对抽吸台的粘着力。由此，能够在加工后将胶带的中间部分从第2薄片容易地剥离。

7、在本发明的一个方面的激光加工辅助器具中，多个功能元件也可以分别为mems器件。在这种情况下，能够抑制在形成于对象物的表面侧的多个功能元件产生破损的激光加工辅助器具会特别有效。

8、本发明的一个方面的激光加工装置通过对在表面侧形成有多个功能元件的对象物照射激光，从而沿着以通过多个功能元件之间的方式设定的多个线的各个在对象物形成改质区域，包括：以在相对于激光具有透过性的胶带贴附于对象物的背面且胶带由框架保持的状态下，激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，支撑对象物的支撑部；对对象物照射激光的照射部；和以激光的聚光点沿着多个线的各个相对地移动的方式，控制支撑部和照射部的至少一者的控制部，支撑部包括：保持框架的保持部；载置对象物的载置部；和在比载置于载置部的对象物的背面低的位置上，对胶带中对象物与框架之间的中间部分产生抽吸作用的抽吸部，载置部对对象物产生的抽吸作用比抽吸部对中间部分产生的抽吸作用弱。

9、本发明的一个方面的激光加工方法是在通过对在表面侧形成有多个功能元件的对象物照射激光，从而沿着以通过多个功能元件之间的方式设定的多个线的各个在对象物形成改质区域的激光加工装置中使用的激光加工方法。激光加工装置包括支撑对象物的支撑部、对对象物照射激光的照射部和以激光的聚光点沿多个线的各个相对地移动的方式控制支撑部和照射部的至少一者的控制部。本发明的一个方面的激光加工方法包括：第1步骤，在对象物的背面贴附相对于激光具有透过性的胶带且由框架保持胶带；第2步骤，以激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，支撑部包含的保持部保持框架，并且在支撑部包含的载置部载置对象物，支撑部包含的抽吸部在比载置于载置部的对象物的背面低的位置上，对胶带中对象物与框架之间的中间部分产生抽吸作用；和第3步骤，以聚光点沿着多个线的各个相对地移动的方式，控制部控制支撑部和照射部的至少一者，在第2步骤中，载置部对对象物产生的抽吸作用比抽吸部对中间部分产生的抽吸作用弱。

10、在上述激光加工装置和上述激光加工方法中，以激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，由保持部保持框架并且以对象物的表面与载置部相对的状态在载置部载置对象物。再有，抽吸部在比对象物的背面低的位置上，对胶带的中间部分产生抽吸作用。由此，对象物被胶带的弹力推向抽吸台侧，因而能够抑制在对象物产生的变形和错位并在对象物高精度地形成改质区域。此外，不需要在对象物的表面贴附胶带，而且载置部对对象物产生的抽吸作用比抽吸部对胶带的中间部分产生的抽吸作用弱。由此，即使在功能元件具有脆弱的构造的情况下，也能够抑制在形成于对象物的表面侧的多个功能元件产生破损。根据以上所述，根据上述激光加工装置和激光加工方法，即使在功能元件具有脆弱的构造的情况下，也能够抑制在形成于对象物的表面侧的多个功能元件产生破损并在对象物高精度地形成改质区域。

技术特征：

1.一种激光加工辅助器具，其中，

2.如权利要求1所述的激光加工辅助器具，其中，

3.如权利要求1所述的激光加工辅助器具，其中，

4.如权利要求1～3中的任一项所述的激光加工辅助器具，其中，

5.如权利要求1～4中的任一项所述的激光加工辅助器具，其中，

6.一种激光加工装置，其中，

7.一种激光加工方法，其中，

技术总结
本发明涉及激光加工辅助器具、激光加工装置和激光加工方法。激光加工辅助器具包括第1薄片和第2薄片。在以在胶带贴附于对象物的背面且胶带由框架保持的状态下，激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，由保持部保持框架的情况下，在第1薄片载置对象物。第2薄片在比背面低的位置上，对胶带的中间部分产生抽吸台的抽吸作用。第1薄片对对象物产生的抽吸台的抽吸作用比第2薄片对中间部分产生的抽吸台的抽吸作用弱。

技术研发人员：荻原孝文,坂本刚志
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13