用于带冷却通道系统的激光加工头的间距传感器单元的制作方法

本发明涉及一种用于借助激光束加工工件的激光加工头的间距传感器单元，尤其是一种用于激光加工头的电容式间距测量的间距传感器单元。本发明还涉及一种借助激光束加工工件的激光加工头，其包括这种间距传感器单元。

背景技术：

1、为了在激光加工中能够实现最佳的加工质量和最快的加工速度，要求工件与激光加工头之间的间距(例如切割喷嘴与工件之间的间距)保持恒定，因为即使是最小的偏差也会劣化加工质量。因此，例如借助光纤激光器进行激光切割时的重要组成部分就是间距调节。激光加工头，尤其是激光切割头，能够配备有电容式间距传感器单元，用于电容式测量工件与切割喷嘴之间的间距。测得的间距接着能够用于间距调节。间距传感器单元具有导电的切割喷嘴尖端或喷嘴电极(也称为传感器电极)，它与工件一起构成集成在谐振电路中的测量电容器。间距传感器单元能够构造成传感器插件，其能够紧固在激光加工头上，尤其是激光切割头上。优选地，间距传感器单元中用于间距感应或调节的一些电子构件位于传感器插件中，并且因此位于非常靠近喷嘴电极(例如铜喷嘴)的区域中，从而非常接近实际加工或切割过程。然而，激光加工头由于使用强激光辐射而尤其通过热工件的热辐射承受强的热负荷。间距传感器单元的这些电子构件对温度和温度波动的反应非常敏感，因此间距调节的精度最终会因热量偏移而受到影响。

2、现有技术中已有各种用于冷却激光切割头的解决方案。

3、cn 213163727 u说明了一种水冷激光切割头，其具有对称地构造在激光切割头中的两个第一水通道和带有第二水通道的独立的冷却板。

4、cn 212634732 u说明了一种用于激光切割头的水冷装置，其具有装配在激光切割头的外侧的水冷却箱。

5、cn 212599712 u说明了一种冷却的激光切割喷嘴，其具有在激光出口附近的螺旋形水道和与负压鼓风机相连的负压气管。

6、cn 210080959 u说明了一种激光切割头的风冷热导出装置，其具有切割头装配板、紧固在切割头装配板上的水冷铝块、布置在水冷铝块上的激光切割头本体以及具有布置在激光切割头本体的下部的风冷螺旋管。

7、cn 209792894 u说明了一种紧固在水冷铝块上的激光切割头，其中，水冷铝块中布置有冷却回路铜管。

8、cn 110385540 a、wo 2021051734 a1和de 112020003451 t5说明了一种用于光纤激光切割头的水冷却结构，其具有进水通道、出水通道和在铜环中的c形槽。在金属体和铜环之间设有第一绝缘块。铜环下方设有第二绝缘块。喷嘴的上端部与铜环的下端部直接相连。金属体和待切割的工件分别用作电容式传感器的极板。

9、cn 208496094 u说明了一种水冷激光切割头，其具有上水冷套和下水冷套。

10、cn 207681759 u说明了一种用于光纤激光切割头的冷却装置，其具有带圆形横截面的注水空腔。所述注水空腔包括下注水空腔和上注水空腔。

11、cn 211135936 u说明了一种带有集成的水冷装置和电容传感器头的激光切割头。水冷装置的各个部分通过通道和快速连接件相互连接。

12、cn213646358u说明了一种带有冷却陶瓷件和喷嘴的激光切割头。陶瓷件的下端部与导电元件相连，喷嘴位于导电元件的下方。陶瓷件具有气孔，而导电元件具有与之相通的气孔和向下朝喷嘴敞开的凹槽。用于冷却喷嘴的气体通过导电元件和喷嘴之间的间隙排出。

技术实现思路

1、为了对激光加工头和工件之间的间距，尤其是喷嘴电极和工件之间的间距进行电容式测量，有利地在间距传感器单元中集成电子构件或者说电子电路，用于在喷嘴电极附近进行间距测量和/或间距调节。然而，在喷嘴电极区域，激光加工头承受高温，因此承受大的热负荷，尤其通过热工件的热辐射承受大的热负荷。但是，激光加工头内或间距传感器单元内的迷走的或者引错的激光辐射也会将热量引入到间距传感器单元中。在极端情况下，激光束甚至会擦到喷嘴电极。热量输入到间距传感器单元中的另一个原因可以是来自加工区域的反射激光和热辐射，或来自加热工件的熔体和反射热辐射，这些辐射主要打在间距传感器单元的外侧。然而，过高的温度会影响间距传感器单元的功能性，尤其喷嘴电极和/或电子构件的功能性，并妨碍喷嘴电极与工件之间的间距的测量。例如，会出现热漂移，所述热漂移使测量失真并且妨碍间距调节的准确性。

2、因此，本发明的任务是提出用于激光加工头的用于间距测量的间距传感器单元，该间距传感器单元实现即使在输入热量的情况下进行精确的间距测量。期待的是，间距传感器单元尽可能好地抵御高温和/或温度波动。

3、独立权利要求的特征解决了这一任务。下文和从属权利要求中提出了另外的有利的构型。

4、根据本发明，间距传感器单元包括集成的冷却通道系统，该冷却通道系统具有与间距传感器单元的电子电路相邻的内冷却通道，以及与内冷却通道相连的外冷却通道，该外冷却通道与间距传感器单元的外面相邻地布置，即在间距传感器单元的罩壳区域内布置。由此，借助唯一冷却通道系统或借助唯一冷却回路，能够冷却对温度敏感的电子电路并保护其不受温度波动的影响，同时能够有效地导出引入间距传感器单元的外侧的热量。因此，根据本发明提出了在间距传感器单元中的高度集成且节省空间的流体冷却装置，用于冷却其电子电路，该流体冷却装置考虑了不同的位置和热输入源。在本公开中，罩壳区域能够指间距传感器单元的相对于间距传感器的中心轴线径向位于外部的区域，即位于间距传感器单元外面邻近或毗邻的区域。

5、根据一个方面，用于激光加工头的电容式间距测量的间距传感器单元包括：壳体；紧固在壳体端部上的喷嘴电极；中心通道开口，该中心通道开口沿间距传感器单元的中心轴线穿过壳体和喷嘴电极导向，使得加工激光束间距传感器单元；布置在壳体内的用于间距测量的电子电路，该电子电路与喷嘴电极相连；和构造在壳体内的用于引导冷却流体(如水或气体)的冷却通道系统，该冷却通道系统具有内冷却通道和外冷却通道。外冷却通道和内冷却通道相互连接，并且分别至少部分地围绕中心通道开口延伸，尤其分别围绕至少中心通道开口的一半周缘延伸，或分别在中心角为180°或更大的圆弧中延伸。外冷却通道比内冷却通道更远离间距传感器单元的中心轴线地隔开间距，即外冷却通道相对于内冷却通道位于径向外部。内冷却通道与电子电路相邻地布置，用于冷却电子电路。尤其，外冷却通道能够布置在壳体的罩壳区域中，即邻接到壳体的外面的区域中。电子电路的能够布置为比外冷却通道更靠近间距传感器组件的中心轴线(即径向方向上向内)。内冷却通道能够布置为比外冷却通道和/或电子电路更靠近间距传感器组件的中心轴线(即径向方向上向内)。内冷却通道和/或电子电路能够布置为邻接于中心通道开口。本公开中的“径向”和“轴向”的方向能够指间距传感器单元的中心轴线，即“轴向”可理解为“与中心轴线平行的方向上”。

6、根据另一方面，提供了一种用于激光加工头的间距传感器单元，该激光加工头具有壳体，并具有用于加工激光束的射束路径的中心通道开口，其中，该间距传感器单元包括：电绝缘保持元件，用于电绝缘地保持导电喷嘴电极；电子电路，设置用于与喷嘴电极电耦合；以及集成到间距传感器单元中的冷却通道系统，其中，该冷却通道系统包括：内冷却通道和外冷却通道，其中，外冷却通道和内冷却通道在空间上相互隔开地布置，其中，内冷却通道邻近电绝缘保持元件并邻近电子电路地布置；其中，外冷却通道布置在间距传感器单元的罩壳区域中，其中，外冷却通道和内冷却通道分别围绕中心通道开口的至少一半周缘延伸地构造。间距传感器单元优选地是用于电容式间距测量的间距传感器单元，也能够称为电容式间距传感器单元。间距传感器单元能够包括喷嘴电极。

7、根据这些方面中的一方面，间距传感器单元能够具有以下优点和其他特征：

8、由于间距传感器单元的罩壳区域中的外冷却通道和邻近电子电路的内冷却通道，间距传感器单元在外部和内部都受到冷却，以防热量影响。安装在间距传感器单元内部的用于电容式间距测量的电子电路受到了特别良好的保护，以防高的热影响。因此，实现对电子电路(如间距传感器单元)周围的主要冷却区域进行特别有效的冷却。内冷却通道还能有效地导出例如通过中心通道开口的迷走辐射而进入间距传感器单元或喷嘴电极中的热量。与此同时，从外部进入间距传感器单元的热量，例如由反射激光或热辐射引起的热量，能够通过外冷却通道直接在间距传感器单元的罩壳区域(尤其邻接到壳体的外面，即邻接到壳体表面)导出。如果激光加工头与工件的加工角为45°(例如在切割倒角时)，热量输入就特别大。

9、通过将电子电路集成到间距传感器单元中，实现电容式间距测量和/或间距调节的高干扰可靠性。尤其，电子电路能够布置在非常靠近喷嘴电极的区域中，以实现短的管线或用于连接而要跨接的小的间距。因此，电子电路非常接近实际加工过程(如切割过程)并且通常暴露在较高的温度下。由于用于间距测量或间距调节的电子构件对温度和温度波动非常敏感，因此在电子电路附近布置内冷却通道能够确保间距测量的高精度和/或减少或避免热漂移。因此确保电容式间距测量的高干扰可靠性和同时确保间距测量的高精度。

10、间距传感器单元能够是间距传感器模块或者说用于可拆卸地紧固在激光加工头上的传感器插件。换句话说，间距传感器单元能够模块化地作为传感器插件集成到激光加工头上。间距传感器单元能够是用于布置在激光加工头的加工激光束出口侧端部(即下端部)的间距传感器单元；尤其是，它能够是用于布置在激光加工头的加工激光束出口侧端部的间距传感器模块或间距传感器插件。间距传感器单元能够集成到激光加工头中。间距传感器单元的壳体能够是激光加工头的壳体的一部分。间距传感器单元的喷嘴电极能够是加工激光束的从其中出来以撞击工件的部件。

11、间距传感器单元能够包括用于保持喷嘴电极的电绝缘的保持元件。例如，电绝缘的保持元件能够是陶瓷件或能够具有绝缘部，例如绝缘涂层或至少一个塑料环形式的绝缘部。电绝缘的保持元件能够电绝缘地支承或保持喷嘴电极。例如，电绝缘的保持元件能够由陶瓷成型并能够具有低导热性。保持元件优选地设置用于可松脱地保持(导电的)喷嘴电极。

12、内冷却通道能够邻近喷嘴电极和/或电绝缘的保持元件地布置，以冷却它们。通过内冷却通道，从间距传感器单元来的热量在下述地点排出，该地点在喷嘴电极附近区域中会产生大的热负荷(尤其是由于工件的辐射)。

13、喷嘴电极尤其是那个用于电容式测量到导电工件的间距的喷嘴电极。它也可称为传感器电极和/或喷嘴。喷嘴电极能够与导电工件形成具有测量电容的电容器，测量电容的值取决于喷嘴电极的几何形状和相互间距。例如，喷嘴电极能够包括或能够是铜喷嘴。喷嘴电极例如借助电绝缘的保持元件紧固在壳体上。喷嘴电极优选能够直接紧固在电绝缘的保持元件上，例如通过拧紧(如拧入)或借助于紧固环。电绝缘的保持元件能够将喷嘴电极保持在间距传感器单元或壳体的工件侧端部或下端部。喷嘴电极具有用于加工激光束的射束路径的通道开口。该通道开口是间距传感器单元的中心通道开口的一部分。喷嘴电极能够形成或具有用于加工激光束的出口开口。

14、电子电路能够是间距传感装置的电子电路，或者能够是设置用于间距测量和/或间距调节的电子电路。电子电路能够包括电路板(导体板)。电子电路能够包括电子构件。电子电路尤其能够是用于处理喷嘴电极的电信号和/或用于产生间距信号的电子电路。例如，电子电路能够设置用于与喷嘴电极和工件形成的测量电容器一起构成振荡电路。例如，电子电路能够设置用于增强喷嘴电极或振荡电路的电信号。电子电路位于间距传感器单元内。这有利于减少信号传输所需的布线，并有利于将相关干扰影响最小化。能够设置管线用于将喷嘴电极与电子电路连接。在优选实施方式中，用于连接喷嘴电极和电子电路的管线穿过电绝缘的保持元件和/或从内冷却通道旁延伸至电子电路。例如，管线能够从喷嘴电极延伸到电子电路。

15、冷却通道系统能够具有至少两个接口，即至少一个入口和至少一个出口。冷却通道系统优选设置用于引导至少一股冷却流体流，尤其是冷却水流或冷却气流，从至少一个入口流向至少一个出口。冷却通道系统包括用于冷却电子电路的内冷却通道和用于冷却间距传感器单元的外面或壳体表面或罩壳区域的外冷却通道。内冷却通道能够布置用于冷却电子电路和电绝缘的保持元件。内冷却通道优选能够位于电绝缘的保持元件和电子电路之间。外冷却通道能够优选位于间距传感器单元的罩壳区域中。间距传感器单元的罩壳区域能够是壳体内的间距传感器单元的外部区域，即与壳体的外面邻接的区域。因此，外冷却通道能够将热能从罩壳区域以及间距传感器单元的基座(根据一个实施方式)带走。内冷却通道和外冷却通道都至少部分地分别环绕着中心通道开口。例如，它们分别围绕中心通道开口的至少一半周缘(180°)延伸地构造，优选围绕至少270°的周缘延伸。内冷却通道和外冷却通道能够分别在垂直于中心轴线的平面上延伸。优选地，内冷却通道和/或外冷却通道分别围绕中心通道开口呈圆弧形、环形、部分环形、蜗旋形和/或螺旋形地延伸。

16、内冷却通道和外冷却通道尤其能够以围绕中心通道开口的具有不同半径的圆弧形延伸地构造。换句话说，外冷却通道比内冷却通道更远离中心轴线。外冷却通道和内冷却通道优选在垂直于中心轴线的方向上或横向于加工激光束的射束路径的方向地在空间上彼此分开地布置，尤其在径向方向上在空间上彼此分开地布置。外冷却通道和内冷却通道优选布置在不同的径向区域中和/或与中心轴线或加工激光束的射束路径有不同径向间距。

17、外冷却通道和内冷却通道能够在沿中心轴线的轴向方向上相互间隔。内冷却通道和外冷却通道能够布置为在空间上彼此分开，尤其是它们在垂直于中心轴线的两个不同平面上延伸。

18、内冷却通道和外冷却通道优选地串联连接，即它们设置为串联地被穿流。间距传感器单元能够包括用于将冷却流体引入到冷却通道系统的入口和用于将冷却流体从冷却通道系统引出的出口。入口能够与外冷却通道和/或与内冷却通道连接。入口、外冷却通道、内冷却通道和出口该能够按此顺序串联地布置，即冷却流体流沿着这个方向进行。替代地，入口、内冷却通道、外冷却通道和出水口也可以按此顺序串联地布置。

19、在一个实施例中，内冷却通道和/或外冷却通道能够包括相互串联的部分区段。因此，冷却流体(例如冷却水或气体)能够按这个顺序流经外冷却通道的第一部分区段、内冷却通道和然后外冷却通道的第二部分区段。

20、在优选的实施方式中，冷却通道系统具有至少一个连接通道，该连接通道将内冷却通道和外冷却通道连接。换句话说，外冷却通道和内冷却通道之间能够布置有连接通道。这简化了冷却通道系统的外部连接并且实现了冷却装置，尤其是水冷却装置的紧凑的结构。连接通道能够至少部分地沿轴向方向延伸，即其平行于中心轴线延伸。附加地或替代地，连接通道能够至少部分沿径向方向延伸，即在垂直于中心轴线的平面中延伸。连接通道也能够对角地或倾斜地(例如相对于轴向方向或中心轴线和/或径向方向)延伸。

21、电子电路能够沿轴向和/或径向方向布置在外冷却通道和内冷却通道之间。壳体能够具有空腔，电子电路布置在所述空腔中。空腔能够位于冷却通道系统之外，即不与冷却通道系统相连。替代地，空腔也能够是冷却通道系统的一部分，尤其与内冷却通道相连或是内冷却通道的一部分。空腔能够位于内冷却通道和外冷却通道之间。例如，空腔能够是环形空腔。

22、在实施方式中，至少一个连接通道包括经过电子电路旁延伸的通道区段。连接通道尤其能够包括沿轴向方向延伸并沿径向方向布置在电子电路和中心通道开口之间的通道区段。例如，内冷却通道和外冷却通道能够布置在电子电路的两侧(即轴向方向上)。通道部分优选地沿中心轴线经过电子电路旁延伸。例如，至少一个连接通道能够沿中心轴线围绕中心通道开口在周向方向上直地、倾斜地和/或螺旋形地延伸。例如，至少一个连接通道能够包括至少一个沿径向方向延伸的第一通道区段和/或至少一个沿轴向方向(即平行于中心轴线)延伸的第二通道区段。例如，第一通道区段能够与空腔重叠。

23、在具体实施方式中，壳体能够包括套筒，所述套筒形成通道开头口的壁的一部分，其中，至少一个连接通道具有下述通道区段，所述通道区段在套筒内经过电子电路旁延伸。该通道部分能够包括多个彼此平行连接的子连接通道区段。这实现了套管的特别窄和节省空间的结构。然后，冷却流体流在子连接通道区段之间分配。套筒也能够称为流体分配器。例如，电子电路能够布置在套筒径向外部和/或套筒旁。由此实现紧凑的结构。通道区段也能够称为连接通道区段。

24、间距传感器单元优选包括入口(用于供应冷却流体，例如冷却水)和出口(用于排放冷却流体，例如冷却水)，它们与冷却通道系统相连。它们能够分别包括流体接口，并布置在间距传感器单元的壳体的外部。在优选实施方式中，外冷却通道和内冷却通道与间距传感器单元的共用入口和/或共用出口相连。也就是说，入口是内冷却通道和外冷却通道的共同入口，和/或出口是内冷却通道和外冷却通道的共同出口。根据具体实施方式，内冷却通道和外冷却通道能够串联或并联地连接。串联连接实现通过冷却流体的特别有效率的吸热和限定的热导出。

25、优选内冷却通道和外冷却通道中的一个与入口相连，内冷却通道和外冷却通道中的另一个与出口相连。内冷却通道和外冷却通道能够通过至少一个连接通道串联连接。因此，从外部看，间距传感器单元只需要一个入口和一个出口，而在间距传感器单元或壳体内部，空间上分开的内冷却通道和外冷却通道与连接通道能够形成3d流体导向，并实现两个重要冷却区域直接冷却，即罩壳区域和靠近电子电路(和电绝缘的保持元件)的内部区域。因此，高度集成且节省空间的冷却装置，尤其水冷装置直接提供在间距传感器单元内，这实现了对电子电路(如间距电子元件)的直接冷却，它考虑到了上述不同的热源，同时构造紧凑或者说只需小的安装空间。

26、在实施方式中，冷却通道系统包括至少一个第二连接通道，所述第二连接通道将入口或出口连接到内冷却通道和外冷却通道之一。第二连接通道也可称为接头通道。在实施方式中，入口和出口布置在同一高度(在轴向方向上，即相对中心轴线)。这简化了冷却通道系统与冷却系统的外部连接。

27、内冷却通道和至少一个连接通道和/或至少一个第二连接通道或接头通道实现了将冷却流体环形导入内部，例如距离间距传感装置或电子电路仅几毫米远的地方，并有针对性地冷却该区域，特别是防止间距传感器单元(传感器插件)内迷走的激光辐射或喷嘴处的激光束条纹加热。另一方面实现了，流体还在外部罩壳区域中“从外部”(即靠近壳体的外壁)环形冷却例如整个间距传感器单元的下部区域，并在此主要抵御来自加工过程的反射激光辐射和热辐射，以及来自加热金属板或工件的反射热辐射。这两个区域在间距传感器单元内相互连接，并串联在一起，这样整个冷却通道系统就形成了回路，只需要两个接头，用于供应和排放冷却流体，尤其是气体或冷却水。总之，因此实现了紧凑的结构。

28、壳体的其中和/或其之间构造有冷却通道的部分优选地由金属，尤其是不锈钢制成。如果使用优质不锈钢，能够减少甚至避免电化学腐蚀。

29、在优选的实施方式中，间距传感器单元或壳体包括金属底座，在金属底座上构造接收部和/或用于电绝缘的保持元件的贴靠面。电子电路能够布置在金属底座的与接收部对置的一侧。例如，底座能够由不锈钢制成。优选地，金属底座在电绝缘的保持元件和内冷却通道之间形成直接热桥，和/或在电子电路和内冷却通道之间形成直接热桥。优选地，金属底座将电子电路和电绝缘的保持元件互相连接。在这种情况下，金属底座能够在电子电路和电绝缘的保持元件之间形成直接热桥。金属底座实现了通过热传导将热量从电子电路和/或电绝缘的保持元件传导至冷却通道中导向的冷却流体。由此产生下述优点，既能够保护电路免受过多热量的影响，又能够防止电绝缘的保持元件过热，从而确保对工件进行稳定的电容式间距测量。电绝缘的保持元件优选由间距传感器单元的金属底座上的环形盖保持。

30、内冷却通道优选构造在金属底座的内部和/或一侧(优选顶侧)和/或在金属底座与间距传感器单元的邻接到其上的基座之间延伸。底座能够吸收电路和/或电绝缘的保持元件的热能，而内冷却通道则能够带走金属底座的热能，并且必要时还能够带走邻接到其上的基座的热能。

31、在优选的实施方式中，外冷却通道在间距传感器单元的基座和间距传感器单元的罩壳之间延伸。由此，外冷却通道能够接收来自基座和罩壳的热能。所述罩壳也能够称为壳体罩壳。基座和罩壳也能够分别称为间距传感器单元的冷却体的内部和外部。

32、在实施方式中，外冷却通道包括互相并联地连接或互相串联地连接的至少两个外部子通道。子通道能够彼此平行并在中心通道开口周围的轴向方向上间隔开地延伸。子通道能够在垂直于中心轴线的不同平面(即与中心轴线垂直相交的平面)上延伸。优选地，外部子通道分别围绕中心通道开口的至少一半周缘延伸地构造，特别优选地围绕至少270°的周缘延伸。优选，外部子通道(在加工激光束的射束路径方向上)在间距传感器单元的包罩区域内叠置地布置。通过这种方式能够沿加工激光束的射束路径增加或最大化间距传感器单元的爆照区域中冷却流体穿流的体积。

33、间距传感器单元或壳体能够包括基本上柱形的第一部分和布置在第一部分与喷嘴电极之间的第二部分或头部部分。头部部分能够具有比第一部分较小半径的柱形形状，或者朝向喷嘴电极的方向聚拢。所述头部部分也能够阶梯状地向喷嘴电极的方向逐渐变细。外冷却通道能够布置在第一部分中，和/或内冷却通道能够布置在头部部分中。入口和/或出口能够布置在第一部分上或者构造在第一部分中。这样的结构特别有利，因为它在间距传感器单元或激光加工头的尖端或下端部的区域中仅占用宽度上小的安装空间，而且锥形聚拢的头部部件实现例如靠近工件使激光加工头倾斜的布置。尤其，头部部件能够向尖端或喷嘴电极或激光加工头的下端部锥形聚拢。头部部件也可称为间距传感器单元的子部件。

34、电子电路能够布置在内冷却通道和外冷却通道之间的轴向方向上。电子电路能够布置在头部部件中。在实施方式中，电子电路能够布置在内冷却通道和外冷却通道之间的高度区域(在轴向方向上，即相对于中心轴线)。因此，外冷却通道和内冷却通道能够在轴向方向上在空间上相互分离。该高度区域优选地位于罩壳区域的下方和间距传感器单元的头部部件的内部。

35、喷嘴电极优选位于电绝缘的保持元件的下方，相对于中心轴线，而金属底座、内冷却通道、电路、至少一个连接通道、外冷却通道和基座(如适用)能够布置在电绝缘的保持元件的上方。

36、在优选的实施方式中，内冷却通道的径向内侧由通道开口的周向壁限界。这实现了冷却通道系统的特别紧凑的结构。内冷却通道与中心通道开口之间的小的间距的另一优点是，内冷却通道在紧凑结构中能够同时布置在电绝缘的保持元件附近，并且因此通过热传导带走更多的热能。

37、在实施方式中，冷却通道系统能够包括与内冷却通道平行连接的旁通通道(umgehungskanal)。冷却流体流能够在旁通通道和内冷却通道之间分配。在考虑外冷却通道和内冷却通道的通道横截面的情况下，这有利于匹配它们的穿流量。

38、在实施方式中，间距传感器单元包括间距传感器电子装置，用于对导电工件的间距进行电容测量，其中，间距传感器电子装置包括电子电路。间距传感器电子装置也可称为间距传感装置。电子电路能够是所述间距传感器电子装置或其一部分。间距传感器电子装置优选地设置为通过电容测量来确定喷嘴电极到工件的间距。间距传感器电子装置能够是用于间距调节的间距传感装置。间距传感器电子装置能够包括间距调节装置，即用于调节喷嘴电极(或间距传感器单元或激光加工头)与导电工件之间的间距的调节装置。

39、所述任务还能够通过带有间距传感器单元的激光加工头解决。激光加工头尤其能够是激光焊接头、激光切割头或光纤激光切割头。加工激光束例如能够通过光纤，例如从外部激光器(如光纤激光器)传输到所述激光加工头。