1.一种用于激光加工头的电容式间距测量的间距传感器单元(100)，其包括：
2.根据权利要求1所述的间距传感器单元(100)，其中，所述外冷却通道(24)和所述内冷却通道(40)在沿所述中心轴线(11)的轴向方向上相互间隔。
3.根据权利要求1或2所述的间距传感器单元(100)，其中，所述冷却通道系统(400)包括至少一个连接通道(28)，所述连接通道将所述内冷却通道(40)和所述外冷却通道(24)相互连接，并沿轴向方向和/或径向方向延伸。
4.根据权利要求3所述的间距传感器单元(100)，其中，所述连接通道(28)的通道区段(28.2)沿轴向方向延伸，并沿径向方向布置在所述电子电路(60)和所述中心通道开口(10)之间。
5.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述电子电路(60)沿轴向方向和/或径向方向布置在所述外冷却通道(24)和所述内冷却通道(40)之间。
6.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其还包括用于将冷却流体引入到所述冷却通道系统的入口(20)和用于将冷却流体从所述冷却通道系统排出的出口(22)，
7.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述间距传感器单元(100)包括：基本上柱形的第一部分(310)，在所述第一部分中布置有所述外冷却通道(24)；和布置在所述第一部分(310)与所述喷嘴电极(12)之间的头部部件(320)，所述头部部件具有比所述第一部分(310)小的半径，并且在所述头部部件中布置有所述内冷却通道(40)。
8.根据权利要求7和权利要求6组合所述的间距传感器单元(100)，其中，所述入口(20)和/或所述出口(22)布置在所述第一部分(310)上。
9.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其还包括用于将所述喷嘴电极(12)紧固在所述壳体(110)上的电绝缘的保持元件(56)；
10.根据权利要求9所述的间距传感器单元(100)，其中，所述内冷却通道(40)构造在所述金属底座(54)中。
11.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述外冷却通道(24)包括至少两个相互并联或串联的外子通道(25)，所述外子通道彼此平行地并且在轴向方向上相互间隔开地围绕所述中心通道开口(10)延伸。
12.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述壳体(110)具有空腔(51)，所述电子电路(60)布置在所述空腔中，并且
13.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述内冷却通道(40)圆弧形地围绕所述中心通道开口(10)和/或在垂直于所述中心轴线(11)的平面中延伸，和/或，其中，所述外冷却通道(28)圆弧形地围绕所述中心通道开口(10)和/或在垂直于所述中心轴线(11)的平面中延伸。
14.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，第一连接通道(28)将所述外冷却通道(28)和所述内冷却通道(40)相互连接，而第二连接通道(30)将所述内冷却通道(40)与流体接头(20、22)连接，并且
15.一种用于以加工激光束(2)加工工件的激光加工头(600)，其包括：根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)。