一种探针卡成型设备的制作方法

本发明涉及半导体设备，具体涉及一种探针卡成型设备。

背景技术：

1、探针卡是一种用于半导体行业的关键测试工具，用于在晶圆或芯片生产过程中接触测试电子器件的性能。以往探针卡的生产依靠人手工依靠冲床进行冲压成型并冲裁成成品这两个步骤来进行探针卡的生产，因此存在着生产效率低、耗费人工、产品一致性差且质量不稳定的问题。因此探针卡生产技术人员希望有一种新的装置对上述问题进行解决。

技术实现思路

1、有鉴于此，提供一种探针卡成型设备，其采用了一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求的成品探针卡模具，并使用自动化的生产技术，对探针料的供料和上料以及冲裁成成品探针卡等整个生产过程实现了自动化生产，因此其不但提高了生产效率，节省了人工，更提高了探针卡生产的质量和成品探针卡产品的一致性。

2、一种探针卡成型设备，包括具有工作平台的机架，所述探针卡成型设备还包括供料装置、引料装置和冲料装置，所述供料装置、所述引料装置和所述冲料装置依次设置于所述工作平台的相邻位置。

3、具体地，所述供料装置包括由供料电机驱动而进行转动的卷料筒，所述卷料筒通过缠绕探针料而储存探针料，所述卷料筒转动时，缠绕在所述卷料筒上的探针料被释放出而向所述探针卡成型设备供料。

4、具体地，所述引料装置包括具有送料轮的送料组件、送料电机、具有能转动的压料轮的下压组件、具有前引导轴的前引导组件，所述送料电机驱动所述送料轮旋转，所述下压组件通过所述压料轮挤压接触所述送料轮而使所述压料轮旋转，所述送料轮与所述压料轮挤压接触旋转使位于所述送料轮与所述压料轮挤压接触之间的探针料向前递送，所述前引导轴具有使探针料穿过并对探针料进行定位并校直的前导孔。

5、具体地，所述冲料装置包括用于对探针料进行冲压成型并裁切为成品探针的探针卡冲裁模具和向所述探针卡冲裁模具提供动力的动力组件，所述引料装置用于使所述供料装置提供的探针料进行校直并向所述探针卡冲裁模具中递送。

6、进一步地，所述探针卡冲裁模具包括定模机构和动模机构，所述动模机构滑动连接套接于所述定模机构上。

7、具体地，所述定模机构包括设有多个定模缓冲导向组件的底座、定模组件、多个调高垫块、成型下模块、u形夹块和用于定位引导探针料的导引块，所述定模组件固定安装于所述底座上侧中间位置，所述成型下模块与所述导引块固定安装于所述定模组件上侧，所述u形夹块滑动卡接于所述定模组件上侧，所述定模组件具有向下延伸至所述底座的落料通道，所述落料通道贴于所述u形夹块一侧设置，多个所述调高垫块分别设于所述定模组件上侧并露出于所述定模组件表面。

8、具体地，所述动模机构包括上侧连接有连接座的上盖、动模上板组件、动模下板组件、多个弹簧连接组件、多个冲模导向件、成型上模块和切刃，多个所述弹簧连接组件分别依此穿置连接于所述上盖、所述动模上板组件、所述动模下板组件，所述弹簧连接组件使所述动模上板组件与所述动模下板组件之间具有二次压缩间隙，所述成型上模块固定安装于所述动模下板组件下侧，所述切刃固定安装于所述动模上板组件并贯穿于所述动模下板组件，多个所述冲模导向件分别固定连接于所述动模上板组件并滑动贯穿并露出于所述动模下板组件。

9、具体地，多个所述调高垫块用于冲压时使所述定模组件与所述动模下板组件之间保持间隙，所述成型下模块与所述成型上模块对应设置用于将探针料冲压成形，当所述成型下模块与所述成型上模块将探针料冲压成形后，所述二次压缩间隙被压缩，所述切刃从所述动模下板组件中露出并与所述u形夹块外侧贴合滑动使冲压成型的探针料切断为成品探针卡掉入所述落料通道，所述u形夹块用于所述切刃切断探针料时夹住不被切断的探针料。

10、在一些优选实施方案中，所述冲料装置还包括调整座、放置在所述调整座上的底托和用于对所述底托进行位置调节的调整组件，所述调整座安装于所述工作平台，所述探针卡冲裁模具固定安装于所述底托，所述调整组件安装于所述调整座以对所述探针卡冲裁模具进行位置调节，所述动力组件包括动力支架、动力缸、动力护罩和动力接头，所述动力支架安装于所述工作平台，所述动力缸安装于所述动力支架，所述动力缸通过所述动力接头连接于所述连接座以向所述探针卡冲裁模具提供动力，所述动力护罩安装于所述动力支架，所述动力缸为电缸或气缸。

11、进一步地，所述调整组件包括至少两个调整螺钉，至少为两个所述调整螺钉分别设置于所述底托对应两侧以对所述底托位置进行定位调节。

12、优选地，所述供料装置还包括供料支架，所述供料支架安装于所述工作平台，所述供料电机安装于所述供料支架，所述卷料筒固定安装于所述供料电机能旋转的供料电机轴，所述卷料筒具有两侧带有挡边的板状圆柱面的料槽，所述料槽用以缠绕探针料而储存探针料。

13、优选地，所述引料装置还包括安装于所述工作平台的引料底座、安装于所述引料底座上的引料前支架和引料后支架、后引导组件，所述送料组件还包括送料轴，所述送料轮固定安装于所述送料轴，所述送料轴能旋转地贯穿安装于所述引料前支架，所述送料电机安装于所述引料后支架，所述送料电机的能旋转的送料电机轴通过联轴器与所述送料轴固定连接以使所述送料轮旋转。

14、具体地，所述下压组件还包括左导块、右导块、压料块、至少一个压料弹簧、至少一个调压螺钉、固定盖和压料轴，所述左、右导块固定安装于所述引料前支架，所述压料轮能旋转连接于所述压料轴一端，所述压料轴另一端固定连接于压料块，所述压料块滑动卡接与所述左、右导块构成的空腔中，所述压料弹簧的个数与所述调压螺钉的个数相同，所述固定盖两端分别固定安装于所述左导块或所述右导块，每个调压螺钉通过螺纹连接贯穿过所述固定盖后穿过所述压料弹簧进而螺纹连接于所述压料块，所述调压螺钉用于调整所述压料轮与所述送料轮相互之间的间隙，所述压料轮和所述送料轮为弹性构件。

15、具体地，所述前引导组件还包括前引导支架，所述前引导支架固定于所述引料前支架，所述前引导轴固定贯穿于所述前引导支架，所述后引导组件包括固定于所述引料前支架的后引导支架和固定贯穿于所述后引导支架的后引导轴，所述后引导轴具有使探针料穿过并对探针料进行定位并校直的后导孔。

16、所具体地，述后导孔和所述前导孔基本同轴并对应于所述导引块引导探针料部位，所述探针料递送时，依次穿过所述后导孔和所述前导孔并定位引导于所述导引块。

17、优选地，所述后导孔直径大于所述前导孔。

18、具体地，所述送料电机为伺服电机。

19、在一些具体实施方案中，所述探针卡成型设备还包括具有安装杆的触摸屏，所述触摸屏安装于所述工作平台，所述触摸屏用于输入并显示所述探针卡成型设备的控制指令和设备信息。

20、在一些优选实施方案中，所述探针卡成型设备还包括调速器，所述调速器安装于所述工作平台，所述调速器用于对供料电机转速进行调节。

21、上述探针卡成型设备，其采用了一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求的成品探针卡模具，由供料电机驱动卷料筒转动进行供料，由送料电机驱动引料装置进行上料，大量使用自动化的生产技术，使探针料的供料和上料以及冲裁为成品探针卡等整个生产过程实现了自动化生产，提高了生产效率，节省了人工，又因为全程采用自动化生产，减少了因为人手工操作而产生的人为误差，因此更提高了探针卡生产的质量和成品探针卡产品的一致性，对比传统技术需要30个人工单位时间完成的工作量，而采用该探针卡成型设备，仅需一名员工操作设备便可完成。因此达到了减少人工成本，极大地提高了生产效率和质量的效果，具有广泛的应用前景。