一种焊线系统保护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种焊线系统保护装置。
【背景技术】
[0002]空气中含有水分，及腐蚀性，粘性的硫化物等。这样的空气与设备焊线系统接触后会产生污染，腐蚀，氧化等问题。造成不良品的增多，及设备零部件的损坏。在大规模生产的半导体企业，这种污染引发的不良每月累计会有几万个，零部件寿命平均缩短30%，造成很大的损失。
【发明内容】
[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种焊线系统保护装置，解决上述现有技术中焊线系统因杂质受损的问题。
[0004]为实现上述目标及其他相关目标，本实用新型提供一种焊线系统保护装置，包括:罩设于焊线系统外的焊线系统保护罩；气源供应端，用于送出用于焊线的气体；过滤器，连通所述气源供应端，过滤气源供应端送来气体中的异物质；流量控制器，连接在所述过滤器及焊线系统保护罩之间，用于控制将过滤器输出的过滤后气体送入焊线系统保护罩，以供焊线使用。
[0005]可选的，所述焊线系统保护罩上设有出气微孔。
[0006]可选的，所述出气微孔为可开闭的。
[0007]可选的，所述气体为压缩空气或氮气。
[0008]可选的，所述异物质包括:硫化物及水。
[0009]如上所述，本实用新型提供一种焊线系统保护装置，包括:罩设于焊线系统外的焊线系统保护罩；气源供应端，用于送出用于焊线的气体；过滤器，连通所述气源供应端，过滤气源供应端送来气体中的异物质；流量控制器，连接在所述过滤器及焊线系统保护罩之间，用于控制将过滤器输出的过滤后气体送入焊线系统保护罩，以供焊线使用；从而避免外界空气流入导致异物质增多，并可以有效的保金线氧化导致不良。
【附图说明】
[0010]图1显示为本实用新型的焊线系统保护装置的一实施例的结构示意图。
[0011]元件标号说明:1-气源供应端，2-过滤器，3-流量控制器，4-焊线系统保护罩，5-出气微孔。
【具体实施方式】
[0012]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0013]如图1所示，本实用新型提供一种焊线系统保护装置，包括:气源供应端1、过滤器
2、流量控制器3、及罩设于焊线系统外的焊线系统保护罩4等。
[0014]所述气源供应端1，例如可连接气泵，用于送出用于焊线的气体；在一实施例中，所述气体为压缩空气(CDA)或氮气。
[0015]所述过滤器2，连通所述气源供应端I，所述气体通过过滤器2之后，过滤器2可将其中的异物质滤除；所述过滤器2可包括滤网、加热等装置，主要为了清除水及硫化物。
[0016]所述流量控制器3，连接在所述过滤器2及焊线系统保护罩4之间，用于控制将过滤器2输出的过滤后气体送入焊线系统保护罩4，以供焊线使用。
[0017]所述焊线系统保护罩4，是罩设于焊线系统外的，其形状例如为圆柱形、立方体形等皆可；在一实施例中，所述焊线系统保护罩4上设有出气微孔5，用于排出多余废气；优选的，所述出气微孔5为可开闭的，通过窗口开闭方式等皆可实现。
[0018]综上所述，本实用新型提供一种焊线系统保护装置，包括:罩设于焊线系统外的焊线系统保护罩；气源供应端，用于送出用于焊线的气体；过滤器，连通所述气源供应端，过滤气源供应端送来气体中的异物质；流量控制器，连接在所述过滤器及焊线系统保护罩之间，用于控制将过滤器输出的过滤后气体送入焊线系统保护罩，以供焊线使用；从而避免外界空气流入导致异物质增多，并可以有效的保金线氧化导致不良。
[0019]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种焊线系统保护装置，其特征在于，包括: 罩设于焊线系统外的焊线系统保护罩； 气源供应端，用于送出用于焊线的气体； 过滤器，连通所述气源供应端，过滤气源供应端送来气体中的异物质； 流量控制器，连接在所述过滤器及焊线系统保护罩之间，用于控制将过滤器输出的过滤后气体送入焊线系统保护罩，以供焊线使用。
2.根据权利要求1所述的焊线系统保护装置，其特征在于，所述焊线系统保护罩上设有出气微孔。
3.根据权利要求2所述的焊线系统保护装置，其特征在于，所述出气微孔为可开闭的。
4.根据权利要求1所述的焊线系统保护装置，其特征在于，所述气体为压缩空气或氮气。
5.根据权利要求1所述的焊线系统保护装置，其特征在于，所述异物质包括:硫化物及水。
【专利摘要】本实用新型提供一种焊线系统保护装置，包括：罩设于焊线系统外的焊线系统保护罩；气源供应端，用于送出用于焊线的气体；过滤器，连通所述气源供应端，过滤气源供应端送来气体中的异物质；流量控制器，连接在所述过滤器及焊线系统保护罩之间，用于控制将过滤器输出的过滤后气体送入焊线系统保护罩，以供焊线使用；从而避免外界空气流入导致异物质增多，并可以有效的保金线氧化导致不良。
【IPC分类】B23K37-00
【公开号】CN204487023
【申请号】CN201420782565
【发明人】朱建纲
【申请人】海太半导体（无锡）有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2014年12月12日