专利名称：加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空镀膜机，特别涉及一种用于汽车、摩托车灯具镀膜的真空镀膜机。
背景技术：
现有的用于汽车、摩托车灯具镀膜的真空镀膜机由真空室和抽气系统构成，真空室包括室体、室体上设置的室门、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源、与蒸发源两电极连接的蒸发电源、位于室体内并与转动机构连接的工作架。因此，只能对置于工作架上的汽车、摩托车灯具真空蒸发镀铝。而汽车、摩托车灯具仅覆盖上铝膜是不符合要求的，还必须在在镀铝后喷涂一层保护膜或采用偏压方法镀一层保护膜，这样不仅导致灯具的覆膜工艺流程复杂，而且难以保证灯具的质量。
发明内容
本使用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种既能镀铝膜，又能镀保护膜的真空镀膜机。
本使用新型的技术方案是根据真空蒸发镀膜原理和真空射频等离子体放电原理，对现有真空镀膜机进行改进，在其真空室(镀膜室)的室体内增设两个射频(RF)靶，两个射频(RF)靶对称地安装在真空室的室体内，通过与其配套的安装在室体壁上的用于冷却的出水管和进水管固定，出水管或进水管兼作射频(RF)靶的电极，与射频(RF)电源连接；由于增设了射频(RF)靶，抽气系统设计为两套，一套与蒸发镀膜匹配，一套与射频等离子体镀膜匹配。
射频(RF)靶既可以是弧面板状体，又可以是平面板状体，由不锈钢与紫铜复合而成。射频(RF)靶的尺寸，根据真空室(镀膜室)或被镀基体尺寸决定，射频(RF)电源功率由真空室(镀膜室)直径和被镀基体膜的牢固度确定。
本实用新型具有以下有益效果1、由于真空室内既安装有蒸发镀膜的蒸发源，又安装有射频等离子体聚合镀膜的射频(RF)靶，因而此种真空镀膜机既能对汽车、摩托车灯具镀铝膜，又能对汽车、摩托车灯具镀等离子体聚合保护膜。
2、由于对汽车、摩托车灯具镀铝膜和保护膜可在真空镀膜机内一并完成，因而可使汽车、摩托车灯具的覆膜工艺简化、重复性好，产品质量稳定，生产规模化，成本降低。
3、射频(RF)等离子体聚合膜还可作为光学保护膜、防潮增透膜、防锈及磁记录介质的保护膜。
图1是本实用新型所提供的镀膜机的真空室(镀膜室)的一种结构图；图2是图1的A-A剖视图；图3是射频(RF)靶的一种形状构造图；图4是图3的B-B剖视图；图5是本实用新型所提供的镀膜机的一种结构示意图。
图中，1-射频(RF)电源、2-蒸发电源、3-射频(RF)靶、4-充气管、5-蒸发源、6-出水管、7-进水管、8-工件架、9-转动机构、10-室门、11-室体、12-真空计、13-进气阀、14-放气阀、15-机械泵、16-P600机械泵、17-罗茨泵、18-300扩散泵、19-900扩散泵、20-高真空阀、21-小高真空阀、22-维持阀、23-小维持阀、24-旁通阀、25-预抽阀。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型所提供的加有射频(RF)等离子体聚合的蒸发镀膜机的结构作进一步说明。
本实施例中的镀膜机为Φ850mm、高1000mm的立式单室镀膜机，极限真空3×10-4Pa，结构如图5所示，由真空室(镀膜室)和抽气系统构成。真空室(镀膜室)的结构如图1、图2所示，包括室体11、室体上设置的室门10、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源5、与蒸发源两电极连接的蒸发电源2、位于室体内并与转动机构9连接的工作架8、一端位于室体内一端位于室体外的充气管4、室体内对称地设置的两个射频(RF)靶3，射频靶通过与其配套的安装在室体壁上的出水管6和进水管7固定，出水管6兼作射频靶的电极，与射频电源1连接。射频(RF)靶3为不锈钢与紫铜复合而成的弧面或平面板状体，紫铜部分与出水管6和进水管7连接；若为弧面板状体，圆弧的半径R为400mm、弦长230mm，板长700mm，如图1、图2所示；若为平面板状体，尺寸为700mm×230mm，如图3、图4所示。射频(RF)电源的功率为1～5KW。抽气系统有两套，一套是蒸发镀铝抽气系统，一套是射频(RF)等离子体镀保护膜抽气系统；蒸发镀铝抽气系统包括通过管件与真空室(镀膜室)连接的进气阀13、放气阀14，通过管件串联连接的P600机械泵16、罗茨泵17、预抽阀25(预抽阀25通过管件与真空室的抽气口连接)，通过管件串联连接的高真空阀20、900扩散泵19、维持阀22、P600机械泵16(高真空阀20通过管件与真空室的抽气口连接)及连接在两个P600机械泵16之间的旁通阀24，如图5所示；射频(RF)等离子体镀保护膜抽气系统由机械泵15、小维持阀23、300扩散泵18和小高真空阀21通过管件串联而成，小高真空阀21通过管件与真空室的抽气口连接。
镀膜机的镀膜操作如下关上真空室(镀膜室)室门10，放气阀14关闭，维持阀22关闭，预抽阀25和旁通阀24打开，两个机械泵16对真空室(镀膜室)进行预抽，到一定真空度旁通阀24关闭，维持阀22打开，一个机械泵16和罗茨泵17继续对真空室(镀膜室)进行预抽，到5Pa时预抽阀25关闭，同时高真空阀20打开，机械泵16和900扩散泵19对真空室(镀膜室)进行高抽，真空计12到镀铝所需的真空度时，转动机构9工作，使工件架8转动，蒸发电源2向蒸发源5供电，蒸发源5对其上面铝片经过预热和蒸发，蒸发铝沉积在工件架上基体表面，蒸发镀铝结束，高真空阀20关闭，小高真空阀21打开，机械泵15和300扩散泵18对真空室(镀膜室)进行第二次抽气，同时进气阀13打开，向真空室(镀膜室)进形成保护膜的气体，真空计到所要求的真空度时，射频(RF)电源1通过出水管6耦合能量给射频(RF)靶3，真空室(镀膜室)产生等离子辉光放电，形成保护膜的气体中的成膜物质经过等离子体聚合沉积在基体所镀铝膜的表面形成保护膜，等离子体聚合镀保护膜结束，小高真空阀21关闭，工件架8转动停止，放气阀14打开，使大气进入真空室(镀膜室)，镀膜结束。
权利要求1.一种加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机，由真空室和抽气系统构成，真空室包括室体(11)、室体上设置的室门(10)、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源(5)、与蒸发源两电极连接的蒸发电源(2)、位于室体内并与转动机构(9)连接的工作架(8)、一端位于室体内一端位于室体外的充气管(4)，其特征在于真空室还包括室体内对称地设置的两个射频靶(3)，射频靶通过与其配套的安装在室体壁上的出水管(6)和进水管(7)固定，出水管(6)或进水管(7)兼作射频靶的电极，与射频电源(1)连接，抽气系统为两套，一套与蒸发镀膜匹配，一套与射频等离子体镀膜匹配。
2.根据权利要求1所述的加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机，其特征在于射频靶(3)为不锈钢与紫铜复合而成的弧面或平面板状体。
专利摘要一种加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机，由真空室(镀膜室)和抽气系统构成。真空室(镀膜室)包括室体、室门、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源、与蒸发源两电极连接的电源、位于室体内并与转动机构连接的工作架、室体内对称地设置的两个射频(RF)靶，射频靶通过与其配套的安装在室体壁上的用于冷却的出水管和进水管固定，出水管兼作射频靶的电极，与射频电源连接。此种镀膜机既能对汽车、摩托车灯具镀铝膜，又能对汽车、摩托车灯具镀等离子体聚合保护膜，有利于简化覆膜工艺，使生产规模化，稳定产品质量，所镀保护膜的产品具有防酸碱、防盐雾、防潮的性能。
文档编号C23C14/24GK2675685SQ20042003257
公开日2005年2月2日 申请日期2004年1月16日 优先权日2004年1月16日
发明者常鸿, 常飞, 常江, 陈佳 申请人:常鸿