一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器。
【背景技术】
[0002]等离子体(plasma)又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。而现有的等离子体反应器结构复杂，价格高昂，而且操作麻烦，导致企业、学校等单位经费紧张，更要对操作人员进行培训，费时耗力。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是针对以上不足之处，提供了一种结构简单、成本低、工作稳定的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器。
[0004]本实用新型解决技术问题所采用的方案是，一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，包括两端用橡胶塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上部设置有上电极，所述石英玻璃管的下部设置有下电极，所述石英玻璃管的上端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有通入氩气的第一支管和通入反应气体的第二支管，所述石英玻璃管的底部设置有抽气管，所述石英玻璃管的底部还设置有可在石英玻璃管内上下移动的用于盛放待改性样品的金属升降台。
[0005]进一步的，所述上电极包括设置于石英玻璃管内的金属电极，所述金属电极电性连接有一射频电源，所述射频电源与金属电极之间设置有用于调节阻抗的匹配器，所述匹配器上设置有显示电容值的显示屏，所述石英玻璃管位于上端的橡胶塞上设置有绝缘法
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[0006]进一步的，所述第一支管和第二支管上沿其进气方向上均依次设置有流量计、针阀和气体混合室。
[0007]进一步的，所述抽气管上设置用于抽气的机械栗和真空计。
[0008]进一步的，所述金属升降台包括用于盛放待改性样品的金属样品台，所述金属样品台向下竖直设置有金属螺纹杆，所述金属螺纹杆穿设于橡胶塞上，所述橡胶塞上位于金属螺纹杆的周侧设置有用于调节金属螺纹杆的金属螺帽，所述金属螺纹杆的下部连接有无螺纹的金属竖杆，所述金属竖杆通过金属旋紧螺帽固定连接有一金属套筒，所述金属套筒的下部设置有金属底座。
[0009]进一步的，所述石英玻璃管的下部内表面设置有金属薄纸，所述金属薄纸与金属升降台组成下电极。
[0010]进一步的，所述石英玻璃管的周侧设置有铁夹，所述铁夹的一端固连有用于固定支撑石英玻璃管的铁架台，所述石英玻璃管内位于石英玻璃管的顶部还设置有气体导流栅。
[0011]进一步的，所述石英玻璃管的旁侧设置有对石英玻璃管进行降温冷却的水冷系统，所述水冷系统包括环设于石英玻璃管周侧的冷却水管，所述冷却水管内设置有冷却水。
[0012]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:该低真空低温射频容性耦合等离子体反应器结构简单，制作成本低廉，操作极其方便。
【附图说明】
[0013]下面结合附图对本实用新型专利进一步说明。
[0014]图I为该实用新型的结构示意图。
[0015]图中：
[0016]I-石英玻璃管，11-橡胶塞，12-气体导流栅，2-进气总管，21-第一支管，22-第二支管，23-针阀，24-流量计，25-气体混合室，3-抽气管，31-机械栗，32-真空计，4-上电极，41-射频电源，42-匹配器，43-绝缘法兰，44-金属电极，5-金属升降台，51-金属样品台，52-金属螺纹杆，53-金属螺帽，54-金属竖杆，55-金属旋紧螺帽，56-金属套筒，57-金属底座，58-金属薄纸，6-铁架台，61-铁夹，7-水冷系统，71-冷却水管，8-待改性样品，9-下电极，91-金属薄纸。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进一步说明。
[0018]如图I所示，一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，包括两端用橡胶塞11封住的石英玻璃管I，所述石英玻璃管I的上部设置有上电极4，所述石英玻璃管I的下部设置有下电极9，所述石英玻璃管I的上端连接有进气总管2，所述进气总管2分别连接有通入氩气的第一支管21和通入反应气体的第二支管22，所述石英玻璃管I的底部设置有抽气管3，所述石英玻璃管I的底部还设置有可在石英玻璃管I内上下移动的用于盛放待改性样品8的金属升降台5。
[0019]在本实施例中，所述上电极4包括设置于石英玻璃管I内的金属电极44，所述金属电极44电性连接有一射频电源41，所述射频电源41与金属电极44之间还设置有用于调节阻抗的匹配器42，所述匹配器42上设置有显示电容值的显示屏，所述石英玻璃管I位于上端的橡胶塞11上设置有绝缘法兰43。
[0020]在本实施例中，所述第一支管21和第二支管22上沿其进气方向上均依次设置有流量计24、针阀23和气体混合室25。
[0021]在本实施例中，所述抽气管3上设置用于抽气的机械栗31和真空计32。
[0022]在本实施例中，所述金属升降台5包括用于盛放待改性样品8的金属样品台51，所述金属样品台51向下竖直设置有金属螺纹杆52，所述金属螺纹杆52穿设于橡胶塞11上，所述橡胶塞11上位于金属螺纹杆52的周侧设置有用于调节金属螺纹杆52的金属螺帽53，所述金属螺纹杆52的下部连接有无螺纹的金属竖杆54，所述金属竖杆54通过金属旋紧螺帽55固定连接有一金属套筒56，所述金属套筒56的下部设置有金属底座57。
[0023]在本实施例中，所述石英玻璃管I的下部内表面设置有金属薄纸91，所述金属薄纸91与金属升降台5组成下电极9。
[0024]在本实施例中，所述石英玻璃管I的周侧设置有铁夹61，所述铁夹61的一端固连有用于固定支撑石英玻璃管I的铁架台6，所述石英玻璃管I内位于石英玻璃管I的顶部还设置有气体导流栅12。
[0025]在本实施例中，所述石英玻璃管I的旁侧设置有对石英玻璃管I进行降温冷却的水冷系统7，所述水冷系统7包括环设于石英玻璃管I周侧的冷却水管71，所述冷却水管71内设置有冷却水。
[0026]具体实施过程:使用时，开启水冷系统7，开启机械栗31抽石英玻璃管I内气压至IX 10—3 Pa左右，然后通过第一支管21通入氩气，通过控制流量计24和针阀23使石英玻璃管I内气压达到1-10 Pa之间，打开射频电源41，把射频电源41电压调至100-500 V之间，慢慢调节匹配器42的两个电容，通过两个电极耦合到反应器中能量最大化时，使气体放电;待气体放电达到稳定后，再通过第二支管22充入反应气体，通过控制流量计24和针阀23使氩气与反应气体的比例，调节到9:1至1:9范围之间的任一实验所需数值，最终在发生器中产生由大量正负带电粒子和中性粒子组成的所需低温等离子体;在金属升降台5的样品台上放置待改性样品8，通过调整金属样品台51的高度，找到一个改性样品反应最佳的高度。
[0027]上列较佳实施例，对本实用新型的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:包括两端用橡胶塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上部设置有上电极，所述石英玻璃管的下部设置有下电极，所述石英玻璃管的上端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有通入氩气的第一支管和通入反应气体的第二支管，所述石英玻璃管的底部设置有抽气管，所述石英玻璃管的底部还设置有可在石英玻璃管内上下移动的用于盛放待改性样品的金属升降台。2.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述上电极包括设置于石英玻璃管内的金属电极，所述金属电极电性连接有一射频电源，所述射频电源与金属电极之间设置有用于调节阻抗的匹配器，所述匹配器上设置有显示电容值的显示屏，所述石英玻璃管位于上端的橡胶塞上设置有绝缘法兰。3.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述第一支管和第二支管上沿其进气方向上均依次设置有流量计、针阀和气体混合室。4.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述抽气管上设置用于抽气的机械栗和真空计。5.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述金属升降台包括用于盛放待改性样品的金属样品台，所述金属样品台向下竖直设置有金属螺纹杆，所述金属螺纹杆穿设于橡胶塞上，所述橡胶塞上位于金属螺纹杆的周侧设置有用于调节金属螺纹杆的金属螺帽，所述金属螺纹杆的下部连接有无螺纹的金属竖杆，所述金属竖杆通过金属旋紧螺帽固定连接有一金属套筒，所述金属套筒的下部设置有金属底座。6.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述石英玻璃管的下部内表面设置有金属薄纸，所述金属薄纸与金属升降台组成下电极。7.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述石英玻璃管的周侧设置有铁夹，所述铁夹的一端固连有用于固定支撑石英玻璃管的铁架台，所述石英玻璃管内位于石英玻璃管的顶部还设置有气体导流栅。8.根据权利要求I所述的低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，其特征在于:所述石英玻璃管的旁侧设置有对石英玻璃管进行降温冷却的水冷系统，所述水冷系统包括环设于石英玻璃管周侧的冷却水管，所述冷却水管内设置有冷却水。
【专利摘要】本实用新型涉及一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器，包括两端用橡胶塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上部设置有上电极，所述石英玻璃管的下部设置有下电极，所述石英玻璃管的上端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有通入氩气的第一支管和通入反应气体的第二支管，所述石英玻璃管的底部设置有抽气管，所述石英玻璃管的底部还设置有可在石英玻璃管内上下移动的用于盛放待改性样品的金属升降台。该低真空低温射频容性耦合等离子体反应器能够实现对样品进行改性，结构简单，成本低，工作稳定。
【IPC分类】H05H1/24
【公开号】CN205160893
【申请号】CN201520949108
【发明人】高松华, 高立华, 陈礼炜
【申请人】三明学院
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月25日