专利名称：微波渗碳炉的制作方法
技术领域：
该技术是一种新型的热处理渗碳炉，特别是采用微波加热的一种渗碳炉。
背景技术：
目前我国的渗碳炉一般采用传统方式，大部分在炉内通入丙烷或乙烯然后通过电阻加热的方式进行升温。通常温度在880℃～930℃，由于电阻炉升温速度慢且丙烷和乙烯加热分解的游离碳原子少，渗碳时间一般深度在1mm要8小时以上，故效率低下。
发明内容
本发明是将电阻加热元件改为微波加热的方式，即在等离子电源下向炉内通入隋性气体氩气作为介质。通过点火装置，激发等离子使炉内迅速升温，当工件达到930℃时，向炉内冲入乙炔气体，调节微波功率把温度保持在固定水平。由于乙炔在等离子内易裂解，且有高于其他渗碳气体一倍的游离碳原子，故渗碳速度大大加快，加上微波升温速度的加快，故该设备大大提高了生产功率。
具体方法用普通真空渗碳炉，将加热室改造为微波加热的方式，加热部分由离子发生器，等离子发生电源，坩埚等组成，靠控制微波能量来控制渗碳所需的温度。炉体外部有一套冲气系统并配有流量计进行流量控制和脉充频率控制。依据工件渗碳层的深度来控制乙炔的量及脉充次数。从而来达到所需渗碳层深度的目的。
权利要求
1.利用微波技术进行工件加热，来对工件进行渗碳。
2.工件装入加热室后通入隋性气体氩气作为介质，通过点火装置激发等离子使炉内温度迅速升高，然后再往炉内通入乙炔气体进行渗碳。
全文摘要
本发明的主要目的是利用微波快速升温和乙炔在等离子内易裂解的原理，将原来传统电阻加热方式作改变使升温速度和渗碳速度加快，从而来提高生产的功效。具体办法是在原真空炉的基础上将加热室改为微波加热的方式，气体采用能比其他气体裂解多一倍的游离子碳的乙炔作为渗碳气体，通过控制乙炔的流量和微波能量，从而精确地控制渗碳层的深度。
文档编号C23C8/36GK101078099SQ20071002466
公开日2007年11月28日 申请日期2007年6月27日 优先权日2007年6月27日
发明者李荣华 申请人:吴江市天地人真空炉业有限公司