专利名称：用于电子束蒸发薄膜的样品夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及固定夹具技术领域，特别是一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具。
背景技术：
五十年代末发展了电子束蒸发技术，特别是六十年代初引入光学薄膜制备技术以 来，电子束蒸发技术已在半导体集成电路和半导体光电器件的研制中得到广泛的应用。电 子束蒸发是继电阻加热蒸发后发展起来的一种真空镀膜技术。它的特点是电子束直接加 热蒸发物，而避免了常规电阻加热蒸发时钨丝加热蒸发物而产生的钠离子对蒸发膜层的污 染，并且热能得到充分利用。它是利用高电压(6KV 10KV)加速并聚焦的电子束直接打到 蒸发源表面，当功率达10KW时，可使熔点在300(TC左右的难熔金属(或非金属)熔化，并 蒸发到样品(如硅、玻璃)表面上形成薄膜，电子束蒸发控制灵活，容易获得均匀膜层，它的 蒸镀质量往往比常规方法高。可方便地蒸发难熔金属(如Pd、Pt)或者绝缘介质(如Si02、 Si3N4、Al203)等薄膜。而难熔金属膜往往用其它方法难以获得。由于电子束蒸发具有以上 这些特点，因此在半导体集成电路和半导体光电器件研制中获得了广泛应用。
现在较为常见的用于固定样品的方法是样品平放在一圆形样品托上，然后用三 个不锈钢片按住样品边缘，不锈钢片的另一端用螺丝固定在样品托上。这种方式的特点是 样品装卸比较方便，适合大面积的样品。但他的缺点在于首先，固定不锈钢片的螺丝不能 随便移动，而不锈钢片的长度也是固定的，它只能绕螺丝旋转，这就极大的限制了样品的尺 寸；其次，样品被钢片压住的部分必然浪费；再次，如果样品太薄，用钢片压往往由于受力 不均匀而碎裂；最后，在实际电子束蒸发时，有时镀膜面的背面有特殊的器件结构，不希望 它直接接触到样片托。综合以上考虑，本发明设计了这种可适应于各种大小样品的多功能 夹具。
发明内容
( — )要解决的技术问题 有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种大小可调的用于电子束蒸发薄膜的样 品夹具，以固定不同大小的样品，只要样品有一边整齐就可以固定牢靠，可以适用于尺寸变 化大，边缘不规则的薄样品，而且装卸方便。
( 二 )技术方案 为达到上述目的，本发明提供了一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，包括 —挡片2，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽3，用以固定样品
一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔l，用以将挡片2固定在样品托4上； —样品托4，该样品托4具有一供挡片2滑动的凹槽8，且该样品托4中间有一方
形通孔7，该方形通孔7两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔5，以便于用螺丝将挡片2和
样品托4固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽3和样品托4之间。 上述方案中，所述挡片2由不锈钢材料制作而成。
上述方案中，所述凹槽3的宽度大于样品的厚度。 上述方案中，所述凹槽3的宽度为lmm，深度为lmm。 上述方案中，所述样品托4为圆形。 上述方案中，所述两个矩形通孔5的间距与挡片2两螺纹孔1的间距相同。 上述方案中，该样品夹具在凹槽8的内侧进一步包含有一台阶6，该台阶6的高度 与凹槽3的下沿高度相同，用以保证样品被水平夹在挡片凹槽3和样品托4之间。
(三)有益效果 本发明提供的这种大小可调的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，与现有的技术相 比具有如下优点 1、可以固定面积较小的样品，且装卸方便； 2、可以有效减小镀膜过程中因夹具遮挡而浪费的样品面积； 3、可适用于不同尺寸的样品； 4、可适用于样品边缘不规则的样品； 5、在蒸镀过程中样品的非镀膜面不接触到样品托，避免了对样品的污染。
图1是本发明提供的样品夹具中挡片的示意图； 图2是本发明提供的样品夹具中样品托的示意图； 图3是本发明提供的样品夹具的立体分解图； 图4是不规则样品的示意图； 图5是装样品后夹的示意图。
具体实施例方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照 附图，对本发明进一步详细说明。 请参阅图1至图5所示， 一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，包括一挡片2，该挡 片主体为长方体，材料为不锈钢，在该长方体挡片的一侧面开有一方形凹槽3，凹槽3的宽 度大于样品的厚度，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔l，用以将挡 片2固定在样品托4上；一样品托4，该样品托4为圆形，具有一供挡片滑动的凹槽8，该样 品托4中间有一方形通孔7，该方形通孔7两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔5，以便于 用螺丝把挡片和样品托固定。该两个矩形通孔5的间距与挡片2两螺纹孔1的间距相同， 样品被夹在挡片的凹槽3和样品托之间；在凹槽8的内侧有一台阶6，台阶6的高度与凹槽 3的下沿高度相同，用以保证样品被水平夹在挡片凹槽3和样品托之间。
本固定夹具的工作过程为 1、拧松螺丝9，使挡片2与样品托台阶6的距离略小于样品(10)高度(图l所 示)； 2、将样品(10)镀膜面朝下(镀膜材料由下向上蒸发)，样品(10)底边放入挡片凹 槽3内； 3、缓缓向外移动挡片2，使样品(10)的另一端(尖端)落到样品托4的台阶6上；
4、旋紧两边的螺丝9，样品固定完成。
5、镀膜结束后，松开螺丝9，取出样品(10)。 以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详 细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡 在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保 护范围之内。
权利要求
一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，包括一挡片(2)，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽(3)，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔(1)，用以将挡片(2)固定在样品托(4)上；一样品托(4)，该样品托(4)具有一供挡片(2)滑动的凹槽(8)，且该样品托(4)中间有一方形通孔(7)，该方形通孔(7)两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔(5)，以便于用螺丝将挡片(2)和样品托(4)固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽(3)和样品托(4)之间。
2. 根据权利要求l所述的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，所述挡片(2) 由不锈钢材料制作而成。
3. 根据权利要求l所述的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，所述凹槽(3) 的宽度大于样品的厚度。
4. 根据权利要求l所述的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，所述凹槽(3) 的宽度为lmm，深度为lmm。
5. 根据权利要求1所述的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，所述样品托 (4)为圆形。
6. 根据权利要求1所述的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，所述两个矩 形通孔(5)的间距与挡片(2)两螺纹孔(1)的间距相同。
7. 根据权利要求1所述的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，该样品夹具 在凹槽(8)的内侧进一步包含有一台阶(6)，该台阶(6)的高度与凹槽(3)的下沿高度相 同，用以保证样品被水平夹在挡片凹槽(3)和样品托(4)之间。
全文摘要
本发明公开了一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，包括一挡片，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔，用以将挡片固定在样品托上；一样品托，该样品托具有一供挡片滑动的凹槽，且该样品托中间有一方形通孔，该方形通孔两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔，以便于用螺丝将挡片和样品托固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽和样品托之间。本发明提供的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，能够固定不同大小的样品，只要样品有一边整齐就可以固定牢靠，可以适用于尺寸变化大，边缘不规则的薄样品，而且装卸方便。
文档编号C23C14/30GK101748368SQ20081024035
公开日2010年6月23日 申请日期2008年12月17日 优先权日2008年12月17日
发明者刘万峰, 刘峰奇, 王利军, 王占国 申请人:中国科学院半导体研究所