专利名称：金属材质图案的制法的制作方法
金属材质图案的制法
技术领域：
本发明涉及一种图案的制法，特别是涉及一种利用金属纳米粒子的特性以在视觉 上呈现特殊的色彩效果的金属材质图案的制法。
背景技术：
现有印制图案方法的选用，多是以待印刷基材的材质，及预定呈现的色彩来考虑 使用何种印刷方法，例如，印刷在纸张上时，会使用墨水、激光碳粉等印刷材料，并透过喷 涂、网印等方法完成图案的印制。然而，当待印刷的基材不是纸张，而是其它材质时，就必须 使用油性印刷材料，才能稳定地附着在该基材上。此外，如果预定要呈现的色彩不属于单纯 的原色色彩时，则需要将几种色彩依不同比例调配才能呈现更多样的颜色。因此，为了能在不同材质的待印刷基材上，稳定地呈现出各种色彩的图案，实有必 要持续开发新的图案制造方法，而现有已知的纳米科技，就是可能发展的其中一项重点。由 于纳米材料在应用上可使产品具有轻薄短小、省能源、高容量密度、高精细、高性能与低公 害等特性，带给传统产业升级、高科技产业持续发展和永续发展的推动力，使纳米材料成为 纳米科技发展的基石，因此，材料、物理、化学、化工及生物各领域皆有研究人员投入纳米科 技的研发。纳米材料依类型主要可分为纳米粒子、纳米纤维、纳米薄膜与纳米块体四种。其 中，由于纳米粒子开发时间较长也较成熟，且纳米薄膜和纳米块体都是来自于纳米粒子，使 纳米粒子的制备显得更为重要。目前制造纳米粒子的方法主要分为化学与物理二种制造方 法(1)化学方法主要是使用化学还原法，以化学还原金属离子，再借由添加适当保 护剂使被还原的金属粒子均勻地分散于溶液中，并借此防止金属粒子间产生聚集。待成功 在该溶液中形成受保护剂包覆的纳米粒子后，再提供一个基板，该基板的其中一表面已经 以一种特定有机分子官能化修饰，借此，该基板表面可利用静电荷吸引力及化学键结力，与 纳米粒子产生键结，形成自组成(self-assembly)的超微结构。由于化学方法需使用到甲 苯溶液及有机硫醇分子等有机物，其中，甲苯溶液的蒸气还会造成癌症病变，因此，这些有 机物不但容易成为污染源而有较不环保的缺失，还具有容易危害人体健康的毒性。(2)物理方法目前主要是利用高温锻烧、电子束局部轰击、重离子束局部轰击与 脉冲激光、纳米微影技术等五种主要方法，其中前面四项主要利用一种使薄膜受热破裂形 成不连续面，再形成熔融态，以借由表面张力的物理效应，达成聚合成球形纳米粒子的结 果。最后一种方法则是事先在基板表面覆盖一层特殊数组的光罩，例如，利用某一特定尺寸 的纳米级硅球紧密排列成六方紧密堆积，利用硅球间的空隙，沉积一层金属薄膜，就能够在 该基板上得到具有规则排列的三角形纳米粒子数组。但前述五种方法分别具有下列缺点(i)高温锻烧(High temperature annealing)进行时，必须有一段升温与降温的 时间，导致耗时较久而效率不佳，且由于升温与降温需要较长的时间，使所形成的纳米粒子 表面的形貌不易均勻，且容易聚集成较大粒径的粒子。
(ii)电子束局部轰击(e-beam irradiation)需要使用昂贵的仪器设备-电子 枪，此外，电子枪每次作用范围有限，导致一次处理的表面有限，而无法在基材上大面积地 制造纳米粒子，同样有制造效率较差的缺失。
(iii)重离子束局部轰击(heavy ion irradiation)与电子束轰击一样，需要使 用昂贵的仪器设备，且每次只能局部处理而无法大面积制造纳米粒子，同样有制造效率不 佳的缺失，目前的应用层面仍局限在学术研究。(iv)脉冲激光(pulsed laser irradiation)每次只能处理小范围，虽然可借由 不断来回移动达到处理较大面积的效果，但相对需耗费较多时间，且可处理面积仍然有限， 使本法同样有制造效率不佳的缺点。(ν)纳米微影技术(Nanolithography)虽然此法可以在基板上大量制造纳米粒 子数组，但步骤却很繁琐，非常耗时且过程中也需要利用有机溶剂洗涤，而有制造效率较差 与较不环保的缺失。因此，开发新的纳米粒子制造方法用以改善现有制法的效率，除了能达到降低成 本的目的外，还能借由已降低成本的新开发制法，加上纳米粒子特性的运用，达到现有已知 的印刷方法无法达到的效果。
发明内容本发明的目的是在提供一种能够在基材上制出排列成预定图案的金属纳米粒子， 以在视觉上呈现出特定的色彩效果的金属材质图案的制法。本发明的金属材质图案的制法，包含下列步骤(i)提供一玻璃化转变温度(简称为Tg)大于等于120°C的基材，并在该基材的一 表面区别出一个预定图案及一个环绕该预定图案的背景区；(ii)在该预定图案与背景区的其中一方沉积形成至少一层预定厚度的金属层，且 该金属层是由一个选自以下组中的材料所制成惰性金属，及惰性金属所形成的合金；(iii)将表面已形成有该金属层的基材置于一个腔室中，并对该腔室抽真空，及提 供一气体；及(iv)在一段预定的时间长度内，持续对该腔室提供一个微波能量，使该气体形成 一个微波电浆，并作用至该基材上的金属层，使该金属层熔融并形成多个相间隔且具有预 定粒径的金属纳米粒子。本发明的有益效果在于借由在具有预定透光率的基材上先沉积形成预定图案 的金属层，再以特定的气体搭配该微波能量形成微波电浆，并作用至该金属层，则当该金属 层接受到高能量时，会逐渐熔融导致薄膜结构破裂，并借由表面张力作用而倾向形成最小 表面积的状态，进而分别自发地聚集与凝聚成球体形的纳米粒子，借此，使本发明可以相对 较简单的方法在较短的时间内就制出大量具有预定粒径，且排列成预定图案的金属纳米粒 子，除了有方便制造与制造效率佳的优点外，还能透过金属纳米粒子的材质与粒径特性控 制所呈现出的图案颜色，进而在视觉上造成特定的色彩效果。
图1是一个流程图，说明本发明金属材质图案的制法的一个较佳实施例；
图2是一个示意图，说明该较佳实施例使用一个光罩在一个基材上形成一个预定 的金属材质图案的过程；图3是一个示意图，说明透过该光罩沉积在该基材的金属层经过微波作用形成多 个金属纳米粒子的情形；图4是一个实验结果比对图，说明不同厚度的金属层所制出的金属纳米粒子在基 材上呈现不同颜色；图5是一个实验结果示意图，说明搭配光罩使用时，所制出的金属纳米粒子在基 材上排列出不同图案并呈现不同颜色；图6是一个实验结果比对图，说明不同合金比例的金属层所制出的金属纳米粒子 在基材上呈现不同颜色。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明参阅图1、图2与图3，本发明金属材质图案的制法的较佳实施例包含下列步骤步骤101是提供一玻璃化转变温度大于等于120°C的基材2，并利用一具有一预定 图案40的光罩4遮蔽该基材2的一表面，使该基材2的表面区别出一预定图案21及一环 绕该预定图案21的背景区22。其中，该基材的材质不应受限，凡是玻璃化转变温度大于等于120°C的材质皆适于 制成该基材2，例如，该基材2可为陶瓷材质。较佳地，该基材2为可透光的材质所制成，且 为一选自以下组中的材质所制成玻璃、石英玻璃、云母片(Mica)、蓝宝石(Sapphire)及透 明陶瓷。在本实施例中，所用基材2的透光率是大于等于85%。步骤102是在该基材2的预定图案21与背景区22的其中一方沉积形成一层预定 厚度的金属层3，且该金属层3是由一选自以下组中的材料所制成惰性金属，及惰性金属 所形成的合金。较佳地，该金属层3是由一选自以下组中的金属类材质所制成金、银，及金的合
^^ ο随着所用的光罩型式不同，使该金属层3可以沉积在该基材2的预定图案21上， 也可以沉积在该基材2的背景区22上。当该光罩4上的预定图案40为一镂空的图案时， 借由该光罩4镂空的预定图案40，可以在该基材2表面的预定图案21上沉积形成该金属层 3。当该光罩4上的预定图案40为一实心的图案时，则借由该光罩4实心的预定图案40遮 蔽，可以在该基材2表面上的背景区22上沉积形成该金属层3，借此，同样能达到呈现出图 案的效果。在该较佳实施例中，是以溅镀(sputter coating)方式配合一膜厚控制器 (F. Τ. M)在该基材2表面镀上具有预定厚度的该金属层3，并根据所用光罩4的预定图案40 为镂空型式或为实心型式，分别在该基材2表面的预定图案21上或背景区22上沉积形成 金属层3，达到呈现出图案的效果。其中，在该基材2上溅镀该金属层3的技术为现有技术， 在此不再赘述。在本实施例中，该光罩4的预定图案40为镂空型式，因此，自该金属靶材飞 溅出的金属材是沿该预定图案40沉积形成在该基材2表面，进而在该基材2上形成该预定 图案的金属层3。
较佳地，该金属层3的厚度为Inm 20nm。借由控制该金属层3的厚度，可以有效 地控制最后所形成的纳米粒子的粒径范围。步骤103是移除该光罩4，并将表面已形成有该金属层3的基材2置于一腔室(图 未示)中，并对该腔室抽真空，及提供一气体至该腔室中。在本实施例中，是使该腔室的压力降低并维持在0. 2tor 6. Otor的范围。其中，所提供的气体可为一选自以下组中的气 体氩气、氮气及氧气。步骤104是在一预定的时间长度内，持续对该腔室提供一微波能量，使该气体形 成该微波电浆，并作用至该基材2上的金属层3，使该金属层3熔融并形成多个相间隔且具 有预定粒径的金属纳米粒子31。所述纳米粒子31的粒径会随着该金属层3的厚度的增加 而增加，在该实施例中，是借由控制该金属层3的厚度，将所述纳米粒子31的粒径控制在 3nm 200nm，但所述纳米粒子31的粒径不应受限，且是随着该金属层3的厚度增加而增 加。此外，该微波能量的作用时间也会随着该金属层3的厚度或总面积而改变，当该 金属层3的厚度越厚或总面积越大时，需要较多的能量才能达到熔融态，使该微波能量的 作用时间也相对增长。其中，是使用一发射微波单元对该腔室提供微波能量，且该发射微波 单元的输出功率较佳为700W 1500W。在本实施例中，所设定的输出功率实质上为1100W， 且使用时实质上是将该发射微波单元的频率设定为2450MHz。借由前述制法能够有效在该基材2上制出不同材质与不同粒径的金属纳米粒子 31，由于金属本身的外层电子属于d-d跃迁，因此具有吸收光谱位于可见光范围的特性，并 能借由控制所述金属纳米粒子的粒径大小或改变其材质，造成光学特性的改变，进而在视 觉上呈现出不同的颜色。值得说明的是，当要制出合金材质的金属纳米粒子31时，也可以依合金类型，先 在该基材2上形成多层分别含有不同金属材质的金属层3，经微波电浆处理后，就能使所述 金属层3互相熔合，并形成合金材质的金属纳米粒子31，所述金属层3分别是由一选自以下 组中的材质所制成金、银，及金的合金。例如，要形成金银合金材质的纳米粒子时，可在该 基材2上分别形成一层银材的金属层3及一层金材的金属层3，再借由微波电浆使该二层 金属层3熔融，进而使二者相混合为金银合金，再透过表面张力的物理效应，自发地形成所 述球体形的金属纳米粒子31。其中，所述金属层3的总厚度较佳仍是控制在Inm 20nm， 而每一层金属层3的厚度范围则可依所用溅镀机配备的膜厚控制机规格，设定在0. Inm 19. 9nm。借由控制每一层金属层3的材质种类与厚度，可形成具有不同合金比例的金属纳 米粒子31。<实施例一(不同金纳米粒子粒径呈现不同颜色)>(1)准备8片相同大小的玻璃基材，将所述基材分别放入丙酮、乙醇、去离子水中， 并在超声波下各震荡5分钟，以去除所述基材表面的一些粉尘污染物。再用氮气将所有基 材的表面吹干，随后再将所述基材分别浸泡在一食人鱼溶液(piranha solution，为H2SO4 与H2O2依3 1的比例混合，且温度80°C的混合液)中30分钟，以去除所述基材表面的一 些有机残留物，接着，用大量去离子水润洗后，再以氮气将所述基材完全吹干。将经前述程序处理干净的8片基材，分别放入一台溅镀机(sputter coater)中， 利用膜厚控制器控制溅镀在该基材的金属层的厚度至所需要的尺寸，在此是在这8片基材上分别镀上lnm、2nm、3nm、4nm、5nm、6nm、7nm、8nm的金属层，并选用金(Au)作为靶材。(2)制造金属纳米粒子将所述结合有金属层的基材分别放入一配备有一发射微 波单元的腔室中，利用一抽气单元的一真空抽气马达对该腔室抽气，使该腔室内的压力降 低并维持在0. 3torr，并透过一供气单元(图未示)将氩气输入该腔室内，再启动一发射微 波单元(图未示)提供微波能量作用于该腔室，借由微波能量使该氩气形成微波电浆，高 能量的微波电浆与该金属层相接触后，使该金属层逐渐熔融进而形成多不相间隔的纳米粒 子。其中，依该金属层的厚度不同，该微波能量的作用时间也需相对调整，因此，该金属层的 厚度分别为lnm、2nm、3nm、4nm、5nm、6nm、7nm&8nm时，所对应的该微波能量的作用时间分 别为30秒、45秒、50秒、55秒、60秒、65秒、70秒及75秒。(3)结果前述8片复合组件依其金属层的厚度由薄而厚，分别标记为试样(I1)、(I2)、(I3)、 (I4)、(I5)、(I6)、(I7)、(I8)，并利用扫描式电子显微镜针对所选定相同范围内的金属纳米粒 子，分别量测其粒径，并计算每个基材上的所述金属纳米粒子的粒径平均值，可得到如下表 1所示的结果，另外，如图1所示，借由控制该金属层的厚度以改变所制出的金属纳米粒子 的粒径，显示随着金属纳米粒子的粒径不同，在可见光下所述金属纳米粒子的吸收波长的 峰值也不同，并会呈现出不同颜色。
金膜厚粒径大小吸收波长
项目呈现颜色
(金属层厚度)(金属纳米粒子粒径) 的峰值
~Inm8±3nm532nm淡粉红
~2nm13 + 5nm536nmWE
““^3nm17±7nm542nm深粉红
~~^4nm23 + llnm546nm粉紫色
~~^5nm36±13nm550nm淡紫色
~~^6nm47 + 15nm558nm深紫色
~~a7Txm55 + 19nm568nm淡蓝色
~8nm70 + 24nm586nm深蓝色由以上的实验结果显示，可利用改变所述金属纳米粒子的粒径，控制所要呈现的 颜色，当配合光罩使用时，就能在基材上形成具有特定颜色的预定图案。〈实施例二(不同厚度金属层形成的文字图案)>同 < 实施例一 > 的制法，准备1片干净的基材，以4片具有不同镂空图案的光罩， 依序迭置在该基材上，当以金为靶材在该基材上沉积形成金属层时，由最上层开始，每镀完预先设定的厚度后，依序将所述光罩移除，借此，使最下层到最上层的光罩相对形成具有不 同厚度的一个第一、一个第二、一个第三及一个第四图案的金属层，且该第一图案的金属层 厚度为lnm，该第二图案的金属层厚度为2nm，该第三图案的金属层厚度为3nm，及该第四图 案的金属层厚度为4nm，将已形成有所述不同厚度与图案金属层的基材放入一个腔室中，先 进行抽真空后再提供氩气，使腔室内的压力维持在0. 4torr，并提供微波能量作用60秒，就 能依所述金属层的厚度不同分别在该基材上熔融为具有预定粒径，且排列成该第一、第二、 第三及第四图案的金属纳米粒子，如图5所示，分别以(III1)、(III2)、(III3)、(III4)代表 该第一、第二、第三及第四图案，在一般可见光下，可在该基材上看到随着金属层厚度改变 而呈现不同颜色的该第一、第二、第三及第四图案，随着所对应金属层厚度增加，会使所述 图案分别呈现浅粉色、 粉红色、深粉色与粉紫色，显示本发明除了利用微波作用制出金属纳 米粒子外，还能进一步利用该光罩上预定图案的设计，及所沉积的金属层厚度，控制所述金 属纳米粒子的排列方式与粒径大小，进而在该基材上呈现出不同颜色的图案，及产生特定 的视觉效果。<实施例三(利用合金比例控制金属纳米粒子的颜色)>同 < 实施例一 > 的制法，不同的是在该基材上形成有二层金属层，且是分别以银 为靶材进行溅镀先在该基材形成第一层金属层，再以金为靶材进行溅镀，以在该第一层金 属层上再形成第二层金属层，借此形成二层不同金属材质的金属层，其中，进行金属层溅 镀时使用的溅镀机所搭载的膜厚控制器的分辨率可达0. lnm，该控制器整体控制范围为 0. Inm 999nm，因此，每一金属层的厚度最小可控制在0. lnm，在此是分别改变金、银材质 的金属层的厚度比例，并使该二层金属层的总厚度维持在4nm，分别准备5片干净的基材， 并在所述基材上分别形成总厚度为4nm的二层金属层，且这二层金属层的厚度比例分别为 (II1)金 / 银=0. 5nm/3. 5nm, (II2)金 / 银=1. Onm/3. Onm, (II3)金 / 银=2. Onm/2. Onm, (II4)金/银=3.0歷/1.0歷，(II5)金/银=3. 5nm/0. 5nm，微波作用的时间皆设定为20 秒。经微波电浆处理后，形成金银合金型式的金属纳米粒子，如图6所示，分别为不同比例 的金银合金所形成的金属纳米粒子在可见光下所呈现的颜色，显示随着银在合金中的比例 减少，所呈现的颜色会从黄色逐渐转变为红紫色，其中，(H1) (II5)的颜色实质上分别为 黄色、深黄色、橘黄色、红色及红紫色。因此，除了借由改变所形成的金属纳米粒子的粒径来 呈现不同颜色外，还可以利用不同的合金种类与比例，使所形成的金属纳米粒子呈现不同 颜色，当搭配设计有预定图案的光罩使用时，同样能在基材上形成具有特定颜色的预定图 案。值得一提的是，实验结果也显示，微波处理后，所述金属纳米粒子能稳定地结合与 黏附在该基材上，不易自该基材上脱落，即使不在所述纳米粒子上覆设保护层，所述纳米粒 子仍不易因为触摸该基材表面或静电力而自该基材脱落，例如，当以金为原料时，经微波能 量作用后所形成的金纳米粒子能稳定的结合在该基材上，且随着微波作用时间越久，所形 成的金纳米粒子与基材的结合力也会更强。形成这种现象的主要原因可能是在高温微波电 浆的作用下，金属层所形成的所述纳米粒子的底层某部分会嵌入于基材内，所以能与该基 材形成紧密的结合。由以上说明可知，本发明金属材质图案的制法可获致下述的功效及优点，所以确 实能够达到本发明的目的
一、借由控制该反应腔体31内的压力，并提供微波能量使所提供的特定气体转化 为高能量的微波电浆，就能在极短的时间内，使与该微波电浆接触的金属层3熔融而形成 具有预定粒径大小的金属纳米粒子31，当所述纳米粒子31粒径不同时，可呈现不同的颜 色，配合设计有预定图案40的光罩使用时，就能在该基材2上形成具有特定颜色的预定图 案，使本发明能快速且大量地在短时间内在制造金属纳米粒子31，进而利用所述纳米粒子 31形成具有特定色彩的金属材质图案，而具有制造效率较高且可供商业化制造生产的实用 价值。
二、经本发明制法所制出的金属纳米粒子31，不需再透过其它程序也能与与基材 2形成紧密的结合，使本发明所制出的金属纳米粒子31不易自基材2上脱落，进而使所述金 属纳米粒子31所排列形成的金属材质图案不易受损，而具有较佳的稳定性与可靠性。三、本发明除了能够借由改变金属纳米粒子31的粒径大小控制所呈现的颜色外， 还能透过改变金属纳米粒子31的金属材质种类与合金比例而呈现出不同颜色，因此，可借 由改变纳米粒子31的粒径与材质种类，变化出多种色彩组合，而具有极广泛的应用范围。
权利要求
一种金属材质图案的制法；其特征在于该制法包含下列步骤(i)提供一玻璃化转变温度大于等于120℃的基材，并在该基材一表面区别出一个预定图案及一个环绕该预定图案的背景区；(ii)在该预定图案与背景区的其中一方，沉积形成至少一层预定厚度的金属层，且该金属层是由一个选自以下组中的材料所制成惰性金属，及惰性金属所形成的合金；(iii)将表面已形成有该金属层的基材置于一个腔室中，并对该腔室抽真空，及提供一气体；及(iv)在一段预定的时间长度内，持续对该腔室提供一个微波能量，使该气体形成一微波电浆，并作用至该基材上的金属层，使该金属层熔融并形成多个相间隔且具有预定粒径的金属纳米粒子。
2.如权利要求1所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(i)中，是利用一个 具有一个预定图案的光罩遮蔽该基材的表面，使该基材的表面区别出该预定图案及环绕该 预定图案的该背景区。
3.如权利要求2所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(i)中，该光罩上的 该预定图案为一种镂空的图案，所以，在步骤(ii)中，是借由该光罩镂空的预定图案，在该 基材表面的预定图案内沉积形成该金属层。
4.如权利要求2所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(i)中，该光罩的预 定图案为一种实心的图案，所以，在步骤(ii)中，是借由该光罩实心的预定图案遮蔽，在该 基材表面的背景区沉积形成该金属层。
5.如权利要求3所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(i)中，该基材为陶 瓷材料。
6.如权利要求3所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(i)中，该基材为透 光材质所制成，且其透光率是大于等于85%。
7.如权利要求6所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(i)中，该基材为一 个选自以下组中的材质所制成玻璃、石英玻璃、云母片、蓝宝石及透明陶瓷。
8.如权利要求3所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(ii)中，该金属层 是由一个选自以下组中的材质所制成金、银，及金的合金。
9.如权利要求8所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(ii)中，该金属层 的厚度为Inm 20nm。
10.如权利要求9所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(iii)中，是使该 腔室中的压力降低并维持在0. 2torr 6. Otorr的范围。
11.如权利要求10所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(iv)中，所形成 的所述金属纳米粒子的粒径为3nm 200nm。
12.如权利要求11所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(iii)中，所提供 的气体为一选自以下组中的气体氩气、氮气及氧气。
13.如权利要求6所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(ii)中，在该基材 上形成有多层不同材质的金属层。
14.如权利要求13所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(ii)中，所述金 属层分别是由一选自以下组中的材质所制成金、银，及金的合金。
15.如权利要求14所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(ii)中，所述金 属层的总厚度为Inm 20nm。
16.如权利要求15所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(ii)中，每一层 金属层的厚度范围为0. Inm 19. 9nm。
17.如权利要求16所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(iii)中，是使该 腔室中的压力降低并维持在0. 2torr 6. Otorr的范围。
18.如权利要求17所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(iv)中，是使 用一发射微波单元对该腔室提供该微波能量，且该发射微波单元的频率实质上是设定为 2450MHz ο
19.如权利要求18所述的金属材质图案的制法，其特征在于在步骤(iv)中，所述金 属纳米粒子的吸收波长的峰值为400nm 650nm。
全文摘要
一种金属材质图案的制法，包含下列步骤提供一玻璃化转变温度大于等于120℃的基材，并在该基材的一表面区别出一个预定图案及一个环绕该预定图案的背景区，以于该预定图案与该背景区的其中一方，沉积形成至少一层预定厚度的金属层，再将表面已形成该金属层的基材置于一个腔室中，并对该腔室抽真空，及提供一气体，再于一段预定时间内持续对该腔室提供一微波能量，使该气体形成一微波电浆，并作用至该金属层，使该金属层熔融并形成多个相间隔且具预定粒径的金属纳米粒子。借此，能利用金属纳米粒子在该基材上排列图案而在视觉上呈现特殊的色彩效果。
文档编号C23C26/00GK101805904SQ20091000737
公开日2010年8月18日 申请日期2009年2月17日 优先权日2009年2月17日
发明者林宽锯, 许纯渊 申请人:林宽锯