专利名称：溅镀装置及溅镀方法
技术领域：
本发明涉及一种溅镀装置及溅镀方法。
背景技术：
目前，在对塑料或者金属外壳表面进行镀膜一般都采用物理气相沉积法(PVD)进行镀膜制程，在镀膜制程中，承载被镀工件的承载架一般都会带动被镀工件进行旋转，这样可以使得被镀工件能够被充分溅镀。优选的，一般在承载架上还会设置一个自转装置，将被镀工件固定在该自转装置上以使得在该承载架在带动被动工件进行公转的同时，该自转装置带动被镀工件进行自转，通过这样的结构能够更加完全的对被镀工件进行溅镀。在自转装置带动被镀工件进行自转的制程中，一般不但需要被镀工件能够良好的固定在自转装置上，并且还要求被镀工件在开始溅镀或者完成溅镀时能够快速的拆卸以节省整个制程的时间，尤其当需要大量的被镀工件需要在多个承载架之间进行传输时，如何使得被镀工件能够快速的从一个自转装置上拆卸并且良好的固定到另一个自转装置上关系到整个制程的效率。
发明内容
有鉴于此，提供一种能够避免上述情况出现的溅镀装置及溅镀方法实为必要。一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，该溅镀装置具有料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，该料杆的一端沿料杆径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座包括一个空心凸柱和连杆机构，该空心凸柱用来收容该料杆生长有凸杆的一端，该连杆机构具有主动杆、传动杆及被动杆，其中该传动杆铰接固定在该空心凸柱上，该主动杆位于该空心凸柱的内部，并且该主动杆及被动杆分别铰接在该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动以使得该被动杆与该凸杆相互交叉。优选的，该溅镀装置进一步包括第一腔体、第二腔体以及传动机构，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有如上所述的料杆固定架，该料杆能够在该传动机构的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。—种溅镀方法，其包括如下步骤提供一个如上所述的溅镀装置；将承载有待镀工件的料杆装设在该第一腔体内的料杆固定架上，对该第一腔体进行抽真空；对第一腔体内的待镀工件进行预热作业；将完成预热作业的待镀工件经由该第一腔体与第二腔体之间的通道逐个传送到第二腔体内并固定到第二腔体内的料杆固定架上；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道，对第二腔体内的待镀工件进行溅镀作业；开启该第一腔体与第二腔体之间的通道，将第二腔体内完成溅镀作业的待镀工件传送至第一腔体内；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道以保持该第二腔体内的真空状态，取走第一腔体内完成溅镀作业的待镀工件并放入第二批待镀工件。与现有技术相比，本发明提供的该溅镀装置在料杆固定架上设置了一个具有连杆机构的定位座，该定位座用来对承载有被镀工件的料杆进行固定，当将一端带有凸杆的料杆装入该定位座内时，通过连动关系使连杆机构中的被动杆与料杆的凸杆相互交叉，定位座通过该相互交叉的被动杆与料杆凸杆来带动料杆进行自转。更进一步的，在本发明的优选方案中，该溅镀装置具有两个腔体分别用来对待镀工件进行预热作业及溅镀作业，该两个腔体中都设置有具有上述定位座的料杆固定架，待镀工件通过机械手在两个腔体内的料杆固定架中进行传送，由于该料杆固定架中的定位座与料杆之间能够快速的进行安装及拆卸，使得本发明所提供的该溅镀装置的溅镀效率进一步得到提高。
图1是本发明实施例所提供的溅镀装置的结构示意图，其包括料杆和料杆固定
^K O图2是本发明实施例所提供的溅镀装置在进行料杆运输的状态示意图。图3是本发明实施例所提供的溅镀装置在预热或者溅镀过程中料杆固定架与料杆的转动示意图。图4是图3中IV部分的放大图。图5是图3中V部分的放大图。图6是图5的剖视图。主要元件符号说明溅镀装置第一腔体第二腔体第一旋转架料杆凸杆悬挂架料杆固定架上承载盘定位槽下承载盘定位座空心凸柱连杆机构主动杆传动杆被动杆容置槽
100 10 20
30
31
311
312
32
321 3211
322
3221
3222
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3226
3227
53228 323 40 50 60 6具体实施例方式请一并参阅图1至图6，本发明实施例提供的该溅镀装置100，其包括第一腔体10、 第二腔体20、第一旋转架30、第二旋转架40及机械手50。该第一腔体10用来对待镀工件进行预热，该第二腔体20用来对在该第一腔体10 内完成预热制程的待镀工件进行溅镀。在该第一腔体10及第二腔体20之间设置有一通道60，该第一腔体10与该第二腔体20通过该通道60相互连通，在该第一腔体10内完成预热的待镀工件经由该通道60被传送进入该第二腔体20内进行溅镀制程。在该通道60中，还设置有阀门61用来控制该通道60的开启与关闭。该第一旋转架30设置在该第一腔体10内用来承载待镀工件。该第一旋转架30 包括料杆31及料杆固定架32，其中该料杆固定架32能够在驱动力的带动下在该第一腔体 10内转动。该料杆31为柱状杆体，该料杆31的一端呈“T”型，另一端在靠近端部的部位向外生长有与该料杆31的杆体相垂直的凸杆311，该料杆31通过该结构可拆卸的装设在该料杆固定架32上。在该料杆31的杆体上，间隔分布的固定有悬挂架312，该悬挂架312用来承载被镀工件。该料杆固定架32包括两个相对设置的环状上承载盘321及下承载盘322，该两个承载盘之间设置有若干个支撑杆323，该两个环状承载盘通过该支撑杆323相互支撑固定。在该上承载盘321的外缘间隔设置有若干与该料杆31的“T”型端相对应的定位槽3211，通过该料杆31的“T”型端与该定位槽3211的相互卡合使得该料杆31能够垂直悬挂于该上承载盘321下。与该定位槽3211相对应的，在该下承载盘322相应的位置设置有定位座3221，该定位座3221包括一空心凸柱3222及连杆机构3223，该空心凸柱3222用来收容该料杆31生长有凸杆311的一端，该连杆机构3223具有主动杆32M、传动杆3225及被动杆32 ，其中该传动杆3225的中部铰接固定在该空心凸柱3222的侧壁上，该主动杆 3224位于该空心凸柱3222的内部，并且该主动杆32M及被动杆32 分别沿该空心凸柱 3222的轴线方向铰接固定在该传动杆3225的两端，当该料杆31组入该空心凸柱3222后， 该主动杆32M在受力向下运动的同时通过该传动杆3225来带动该被动杆32 向上运动以使得该被动杆32 与生长在该料杆31端部的凸杆311相互交叉，该定位座3221通过该相互交叉的被动杆32 及凸杆311来带动该料杆31进行自转。在本实施例中，在该连杆机构3223的主动杆32M设置有容置槽3227，该被动杆 32 设置有穿孔32 ，该传动杆3225的一端收容于该容置槽3227内，另一端穿设在该穿孔3228内，该主动杆32 及被动杆32 通过该容置槽与穿孔结构与该传动杆3225相互
架
穿孔
支撑杆
第二旋转
机械手
通道
阀门铰接。可以理解，该该主动杆32 及被动杆32 还可以通过螺栓或其它方式相互铰接， 只要使得该被动杆32 在该主动杆32M的带动下能够沿该空心凸柱3222的轴线方向向上运动即可。该第二旋转架40设置在该第二腔体20内，其结构与该料杆固定架32的结构相同，该第二旋转架40用来承载已经在第一腔体10内完成预热制程的待镀工件。该机械手50设置在该料杆固定架32的环中央，其用来抓取装设在该第料杆固定架32上的料杆31，并将该料杆31传送进入该第二腔体20内并装设在该第二旋转架40上。可以理解的，在本发明中，在该第一腔体10、第二腔体20内还设置有用来对待镀工件进行加热的设备以及用来对该待镀工件进行溅镀的靶材、正负电极、抽真空单元及供气单元等采用物理气相沉积法进行镀膜所必需的溅镀单元，由于本发明未涉及到对这些部件的改进，故未在图示中表示出来，但这并不代表本发明所提供的该溅镀装置100没有设置这些溅镀单元。本发明还提供了一种使用上述溅镀装置进行溅镀的溅镀方法，其包括如下步骤。(1)提供如上所述的溅镀装置100。(2)将被镀工件装设在该第一旋转架30上，启动该第一腔体10内的加热设备对被镀工件进行预热。当被镀工件在进行预热的过程中，可以启动驱动该第一旋转架30使其进行公转， 并还可以同时启动驱动料杆31的驱动装置，使该料杆31带动被镀工件进行自转。当然，该料杆31的自转与该第一旋转架30的公转方向可以相同也可以不同。优选的，该料杆31的自转方向与该第一旋转架30的公转方向相反。优选的，在对被镀工件进行加热前，对该第一腔体10进行抽真空。(3)启动机械手50，将该第一旋转架30上完成预热的待镀工件逐个传送进入第二腔体20内，并安装在第二旋转架40上。在传送过程中，该机械手50抓取料杆31后，首先会沿轴向向上行走一段距离以将料杆31从定位座3221中启出，接着将料杆31推离该第一旋转架30并经由该通道60进入该第二腔体20内，此时该第二旋转架40在驱动力的控制下使其上用来固定料杆的定位槽以及定位座正对该机械手50的前进方向，机械手50将料杆31推入该第二旋转架40的定位槽内，然后再沿轴向向下行走将料杆31放入第二旋转架40的定位座内以使该料杆31固定在该第二旋转架40上，最后机械手50松开料杆31并退回到该第一腔体10内的第一旋转架30的环中央。此时，该第一旋转架30以及该第二旋转架40在驱动力的带动下，同时旋转相同的角度，使该第一旋转架30上的下一个料杆正对该机械手50，此时机械手50再次进行相同的料杆传输动作，直至将该第一旋转架30上的料杆全部传输固定到该第二旋转架40上。(4)启动阀门61关闭该通道60以将该第一腔体10与第二腔体20相互密封隔离。优选的，在关闭通道60后可以对该第二腔体20再次进行抽真空动作。(5)在第二腔体20内对被镀工件进行溅镀作业。(6)打开通道60，启动机械手50将第二腔体内完成溅镀工作的待镀工件从该第二旋转架40上搬运到第一旋转架上。
(7)关闭通道60以保持第二腔体20的真空状态，将第一腔体10内完成溅镀作业的待镀工件取走并再次放入第二批待镀工件。(8)重复上述步骤以对第二批待镀工件进行溅镀作业。另外，本领域技术人员还可在本发明精神内做其它变化。故，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
权利要求
1.一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，该溅镀装置具有料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，其特征在于该料杆的一端沿该料杆径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座包括一个空心凸柱和连杆机构，该空心凸柱用来收容该料杆生长有凸杆的一端，该连杆机构具有主动杆、传动杆及被动杆，其中该传动杆铰接固定在该空心凸柱上，该主动杆位于该空心凸柱的内部，并且该主动杆及被动杆分别铰接在该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动以使得该被动杆与该凸杆相互交叉。
2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于该定位座在驱动力的带动下能够旋转， 并且该定位座通过该料杆与该连杆机构相互交叉的结构来带动该料杆进行旋转。
3.如权利要求1或2所述的溅镀装置，其特征在于该溅镀装置进一步包括第一腔体、 第二腔体以及传动机构，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有该料杆固定架，该料杆能够在该传动机构的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。
4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于该料杆为柱状杆体，该柱状杆体的另一端呈“T”型，在该料杆的杆体上还设置有悬挂架以用来承载待镀工件。
5.如权利要求4所述的溅镀装置，其特征在于该料杆固定架包括相对设置的环状上承载盘及下承载盘，在该上承载盘及下承载盘之间还设置有若干支撑杆以对其进行支撑固定，该定位座设置在该下承载盘上，与该定位座一一对应的，在该上承载盘的外缘部间隔设置有定位槽，该定位槽用来定位该料杆的“T”型端。
6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于该料杆固定架以及该定位座分别连接有一个驱动装置，在驱动装置的带动下，该料杆固定架发生公转，该定位座发生自转，该料杆固定架的公转方向与该定位座的自转方向相同或者相反。
7.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于该传动机构是机械手，该机械手设置在该第一腔体内并位于该料杆固定架的中央。
8.一种溅镀方法，其包括如下步骤提供一个如权利要求3至7任一项所述的溅镀装置；将承载有待镀工件的料杆装设在该第一腔体内的料杆固定架上，对该第一腔体进行抽真空；对第一腔体内的待镀工件进行预热作业；将完成预热作业的待镀工件经由该第一腔体与第二腔体之间的通道逐个传送到第二腔体内并固定到第二腔体内的料杆固定架上；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道，对第二腔体内的待镀工件进行溅镀作业；开启该第一腔体与第二腔体之间的通道，将第二腔体内完成溅镀作业的待镀工件传送至第一腔体内；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道以保持该第二腔体内的真空状态，取走第一腔体内完成溅镀作业的待镀工件并放入第二批待镀工件。
9.如权利要求8所述的溅镀方法，其特征在于在待镀工件进行预热作业或者溅镀作业的过程中，该料杆固定架与该料杆发生转动，且该料杆固定架的转动方向与料杆的转动方向相反。
全文摘要
本发明涉及一种溅镀装置，其包括用来承载装载有待镀工件的料杆的料杆固定架，其中，该料杆的一端沿径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座具有一用来收容该料杆生长有凸杆的一端的空心凸柱及连杆机构，该定位座通过该连杆机构对该料杆进行固定并带动该料杆进行自转。与现有技术相比，该溅镀装置通过连杆机构来对料杆进行固定，使得料杆能够快速的进行安装或者拆卸，从而大大提高了溅镀制程的效率。本发明还涉及一种溅镀方法。
文档编号C23C14/34GK102234769SQ20101016110
公开日2011年11月9日 申请日期2010年4月30日 优先权日2010年4月30日
发明者凌维成 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司