专利名称：自动限位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种自动限位装置。
背景技术：
在很多生产工艺中会涉及到产品、部件的定位问题，例如等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积非金属薄膜。玻璃在工艺腔内沉积薄膜，正常情况下，玻璃边缘与镀膜区边界的距离是相等的(约2mm 5mm)，如果玻璃进入工艺腔时位置偏离，会出现镀膜区边界与玻璃边缘的距离不等，导致后续工序的不良。现有技术大多采用在腔室外面安装机械传动装置，如气动卡子。这些机械传动装置的原理都是主动对玻璃施加力的作用，让玻璃位置得到校正。其优点是动作快、时间短； 缺点是经常出现气缸漏气、机械故障等现象，导致动作不一致，气缸需要经常更换，成本校
尚ο
实用新型内容为了克服上述的缺陷，本实用新型提供一种稳定性更好的自动限位装置。为达到上述目的，本实用新型是通过以下措施实现的自动限位装置包括一个或复数个限位块；所述限位块设有承重部，所述承重部一侧边缘连接缓冲部，相对侧边缘连接校正部；缓冲部的斜面与承重部的平面之间成钝角，校正部的斜面与承重部的平面之间成钝角；所述限位块上设有固定部。特别是，所述缓冲部为缓冲斜面或缓冲弹簧片。特别是，所述校正部为校正斜面或校正弹簧片。特别是，在所述校正部上设有竖面，所述竖面上边缘连接校正部，所述竖面下边缘连接承重部。特别是，还包括一个或复数个支柱，所述支柱位于被限位物体所在区域内。特别是，所述支柱包括柱状套筒，所述套筒内设置一个或复数个滚珠，位于所述套筒内上端的滚珠的上端部分凸出于所述套筒上端面开口。本实用新型自动限位装置的限位块设有依次连接的校正部、承重部和缓冲部，利用校正部的推力和缓冲部的过渡作用可以将放置位置有偏差的被限位物体调整至正确位置。竖面的设置有利于被限位物体的更准确定位。支柱的使用有利于被限位物体的稳定放置。在被限位物体的边缘设置多个限位块且在被限位物体的下方对称设置支柱可以令本实用新型自动限位装置的限位作用更好。本实用新型自动限位装置结构合理，使用方便，限位效果好，可长期稳定使用。
图1为本实用新型第一优选实施例使用状态示意图。图2为图1所示限位块侧视图。[0015]图3为本实用新型第二优选实施例使用状态示意图。图4为图3所示限位块结构示意图。图5为图4所示限位块侧视图。图6为本实用新型第三优选实施例使用状态示意图。图7为图6所示立柱主视图。图8为图6所示实施例立体示意图。图9为图8所示实施例俯视图。
具体实施方式
下面结合说明书附图和实施例对本实用新型做详细描述。实施例一如图1所示，本实用新型自动限位装置包括一个或复数个限位块2，所使用限位块2的数量根据具体的使用条件来确定。当被限位物体1需要在一个方向上限位时，可使用两个沿所需限位方向相对放置的限位块2;如果此时被限位物体1在某一端已经被其他物体限位，则沿所需限位方向只使用一个限位块2即可。当被限位物体1需要在多个方向上限位时，可沿所需限位方向设置多组两两相对放置的限位块2 ；如果被限位物体1在某一端或几端已经被其他物体限位，则沿所需限位方向再按需要使用若干限位块2即可。如图2所示，限位块的承重部为水平台阶22，校正部为校正弹簧片21，缓冲部为缓冲斜面23。使用时被限位物体的边缘放置在水平台阶22上。水平台阶22的一侧边缘连接缓冲斜面23，缓冲斜面23与水平台阶22之间夹角成钝角且两者之间平滑相接，使被限位物体可以平滑地沿着缓冲斜面23移动。限位块2上设有固定部对，使限位块可以稳定地设置在指定地点。在水平台阶22上与连接缓冲斜面23的边缘相对侧边缘连接校正弹簧片21的一端，校正弹簧片21的另一端通过调节螺丝25固定在限位块2上，调节螺丝25可根据需要调节校正弹簧片21使其呈一定弧度的弯曲。校正弹簧片21的弯曲和倔强系数比较小的特点使其能够在所需限位方向上给被限位物体一个合适的力。当被限位物体1被放置在本实用新型自动限位装置上的位置有偏差时，校正弹簧片21可施加水平弹力将被限位物体1向对面方向推；被限位物体1的相对侧边缘此时处在缓冲斜面23上，在弹力的作用下被限位物体1沿缓冲斜面23向上滑移，最终达到该侧的水平台阶22上，该侧校正弹簧片21可以保证被限位物体1不会因为惯性而偏离指定位置。实施例二 如图3 图5所示，作为结构的优化，在实施例一限位块2的校正部上设置竖面沈，竖面沈的下边缘连接承重部。限位块的承重部为水平台阶22，校正部为校正弹簧片21，缓冲部为缓冲斜面23。 校正弹簧片21上设置竖面沈，竖面沈上边缘连接校正弹簧片21，竖面沈的下边缘连接水平台阶22。该限位块的使用方法与实施例一限位块的使用方法基本相同，被限位物体1的边缘放置在水平台阶22上。水平台阶22的一侧边缘连接缓冲斜面23，缓冲斜面23与水平台阶22之间夹角成钝角且两者之间平滑相接，使被限位物体1可以平滑地沿着缓冲斜面23 移动。当被限位物体1放置位置有偏差时，被限位物体1在校正弹簧片21的弹力作用下移动，沿着对面的缓冲斜面23移动到该侧的水平台阶22上，受到竖面沈的阻挡而停止运动。校正弹簧片21与竖面沈平滑连接，这样可保证被限位物体1在受到校正弹簧片21水平弹力后平稳地落在水平台阶22上。竖面沈的高度根据具体情况而定，既要起到对被限位物体1的限位作用，又不能因为落差大而对被限位物体1造成损伤。增加竖面26的一个优点是使被限位物体1定位更加准确，解决了长期使用后校正弹簧片21的限位精确度下降的问题。限位块2上设有固定部M，使限位块可以稳定地设置在指定地点，使被限位物体1 的位置更加准确。实施例三如图6所示，本实用新型自动限位装置除了限位块2还包括一个或复数个支柱3，使用支柱3可以在被限位物体1面积比较大时对其起到更好的支撑作用。也可以避免放置位置过于偏时被限位物体1直接掉落出本实用新型自动限位装置的范围。如图7所示，支柱的优选结构包括柱状套筒32和设置在套筒32内的一个或复数个滚珠31。套筒32的上端设有开口 33，位于套筒32内上端的滚珠31的上端部分凸出于套筒32上端面开口 33。当被限位物体1在校正弹簧片和缓冲斜面的共同作用下调整位置时，滚珠31可在套筒32内平滑地滚动，使被限位物体1的位置调节更加平缓。限位块和支柱的使用数量可根据具体的工艺而定，例如在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积非金属薄膜工艺中，如图8和图9所示，自动限位装置包括设置在底座 4上的4个限位块2，限位块2两两相对设置，两组限位块的限位方向相互垂直，使作为被限位物体1的玻璃板定位准确。4个限位块2围成的范围内设置有6个支柱3，支柱3相对中心位置对称设置。支柱3支撑玻璃板使其更加稳定。以上，仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求所界定的保护范围为准。
权利要求1.一种自动限位装置，其特征在于包括一个或复数个限位块；所述限位块设有承重部，所述承重部一侧边缘连接缓冲部，相对侧边缘连接校正部；缓冲部的斜面与承重部的平面之间成钝角，校正部的斜面与承重部的平面之间成钝角；所述限位块上设有固定部。
2.根据权利要求1所述的自动限位装置，其特征在于所述缓冲部为缓冲斜面或缓冲弹簧片。
3.根据权利要求1所述的自动限位装置，其特征在于所述校正部为校正斜面或校正弹簧片。
4.根据权利要求1所述的自动限位装置，其特征在于在所述校正部上设有竖面，所述竖面上边缘连接校正部，所述竖面下边缘连接承重部。
5.根据权利要求1所述的自动限位装置，其特征在于还包括一个或复数个支柱，所述支柱位于被限位物体所在区域内。
6.根据权利要求5所述的自动限位装置，其特征在于所述支柱包括柱状套筒，所述套筒内设置一个或复数个滚珠，位于所述套筒内上端的滚珠的上端部分凸出于所述套筒上端面开口。
专利摘要本实用新型公开一种自动限位装置，为解决现有装置稳定性差的问题而设计。本实用新型自动限位装置包括限位块，限位块设有承重部、竖面、缓冲部、校正部和固定部。还包括端头设有凸出滚珠的支柱。本实用新型自动限位装置的限位块利用校正部的推力和缓冲部的过渡作用可以将放置位置有偏差的被限位物体调整至正确位置。支柱的使用有利于被限位物体的稳定放置。在被限位物体的边缘设置多个限位块且在被限位物体的下方对称设置支柱可以令本实用新型自动限位装置的限位作用更好。本实用新型自动限位装置结构合理，使用方便，限位效果好，可长期稳定使用。
文档编号C23C16/458GK202072763SQ201120161978
公开日2011年12月14日 申请日期2011年5月19日 优先权日2011年5月19日
发明者王祖强, 金永珉 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 成都京东方光电科技有限公司