专利名称：一种双向磁场增强装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及PECVD设备的磁场，具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度，进而提高产能的双向磁场增强装置。
背景技术：
随着经济建设的快速发展，微电子技术得到了迅猛地发展，PECVD等离子体处理设备的开发和使用也日益广泛。PECVD即为等离子体增强化学气相沉积法，在化学气相沉积时，为了使化学反应能在较低的温度下进行，可以利用了等离子体的活性来促进反应，这种化学气相沉积方法称为等离子体增强化学气相沉积法，实施该种加工方法的设备为PECVD设备。用于太阳能领域等薄膜沉积系统主要为大型平板式PECVD设备，一种典型的板式 PECVD系统将多个太阳能电池片装入载板中，将该载板传输至工艺腔内，预热到设定温度后，通入工艺气体，设定功率离化工艺气体产生等离子体，进而完成薄膜沉积。目前PECVD设备基本上都采用了内置或外置磁场的方法来对等离子体进行束流， 也就是约束等离体的运动轨迹。而束流的作用一般有两个，其一增加等离子体中电子的运动轨迹，增加电子与反应气体分子碰撞机率进而增加了等离子体密度；其二就是约束反应气体离子的运动轨迹，使等离子体在备沉积样品表面复合，进而提高沉积速率。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种双向磁场增强装置。该双向磁场增强装置可以通过提高原料利用率和提高膜层沉积速度，进而提高产能。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的本实用新型包括真空室及石英管，其中石英管安装在真空室内，在石英管的周围分别设置有第一磁钢、第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢。其中所述第一磁钢与第三磁钢相对设置、相互平行，分别位于石英管的上方和下方；所述第二磁钢与第四磁钢相对设置、相互平行，分别位于石英管的左侧和右侧；所述第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢的极性相同，第一磁钢与第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢的极性相反；所述第一磁钢、第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢可为圆柱体或长方体；所述石英管为三根，其中一根与第一磁钢及第二磁钢平行，另外两根与第一根倾斜设置。本实用新型的优点与积极效果为本实用新型在石英管四周设置了四个磁钢，两两相对，提高了原料利用率和膜层沉积速度，进而提高了设备产能。
图1为本实用新型的结构示意图；其中1为真空室，2为第一磁钢，3为第二磁钢，4为第三磁钢，5为第四磁钢，6为石英管。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详述。如图1所示，本实用新型包括真空室1及石英管6，其中石英管6安装在真空室1 内，石英管6为三根，其中一根与第一磁钢2及第二磁钢3平行，另外两根与第一根倾斜设置。在石英管6的周围分别设置有第一磁钢2、第二磁钢3、第三磁钢4及第四磁钢5，第一磁钢2与第三磁钢4相对设置、相互平行，且平行于上述石英管6中的第一根，第一磁钢2 与第三磁钢4分别位于石英管6的上方和下方，距离为250毫米；第二磁钢3与第四磁钢5 相对设置、相互平行，且垂直于第一磁钢2及第三磁钢4，第二磁钢3与第四磁钢5分别位于石英管6的左侧和右侧，距离为120毫米。第二磁钢3、第三磁钢4及第四磁钢5的极性相同，第一磁钢2与第二磁钢3、第三磁钢4及第四磁钢5的极性相反。本实用新型的第一磁钢2、第二磁钢3、第三磁钢4及第四磁钢5可以为钕铁硼的永磁铁、磁场强度50高斯，形状可为圆柱体或长方体，材料可以为合金永磁材料或铁氧体永磁材料。本实用新型的工作原理为利用在石英管6的四周设置四个磁钢，磁钢可以提高气体利用率，增加沉积速率， 进一步提高磁场的约束力，提高原料利用率和膜层沉积速度，进而提高设备的产能。本实用新型可提高原料利用率至少10%以上。
权利要求1.一种双向磁场增强装置，其特征在于包括真空室(1)及石英管(6)，其中石英管(6)安装在真空室⑴内，在石英管(6)的周围分别设置有第一磁钢O)、第二磁钢(3)、第三磁钢⑷及第四磁钢(5)。
2.按权利要求1所述的双向磁场增强装置，其特征在于所述第一磁钢( 与第三磁钢(4)相对设置、相互平行，分别位于石英管(6)的上方和下方。
3.按权利要求1所述的双向磁场增强装置，其特征在于所述第二磁钢(3)与第四磁钢( 相对设置、相互平行，分别位于石英管(6)的左侧和右侧。
4.按权利要求1所述的双向磁场增强装置，其特征在于所述第二磁钢(3)、第三磁钢(4)及第四磁钢(5)的极性相同，第一磁钢(2)与第二磁钢(3)、第三磁钢(4)及第四磁钢(5)的极性相反。
5.按权利要求1所述的双向磁场增强装置，其特征在于所述第一磁钢O)、第二磁钢(3)、第三磁钢(4)及第四磁钢(5)可为圆柱体或长方体。
6.按权利要求1所述的双向磁场增强装置，其特征在于所述石英管(6)为三根，其中一根与第一磁钢( 及第二磁钢( 平行，另外两根与第一根倾斜设置。
专利摘要本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场，具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度，进而提高产能的双向磁场增强装置，包括真空室及石英管，其中石英管安装在真空室内，在石英管的周围分别设置有第一磁钢、第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢；所述第一磁钢与第三磁钢相对设置、相互平行，分别位于石英管的上方和下方；第二磁钢与第四磁钢相对设置、相互平行，分别位于石英管的左侧和右侧；所述第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢的极性相同，第一磁钢与第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢的极性相反。本实用新型在石英管四周设置了四个磁钢，两两相对，提高了原料利用率和膜层沉积速度，进而提高了设备产能。
文档编号C23C16/44GK202323013SQ20112044660
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者刘兴, 张健, 张冬, 张振厚, 徐宝利, 李士军, 李松, 洪克超, 王刚, 王学敏, 许新, 赵崇凌, 郭玉飞, 钟福强, 陆涛 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司