专利名称：玻璃板及其制造方法、玻璃板端缘部的研磨方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在便携电话显示窗、液晶面板、有机EL面板、等离子面板、太阳能电池板等的平板显示器和电子部件用的覆盖玻璃、滤光器等中使用的玻璃板中，利用研磨带对至少ー边的棱部或者ー个端面进行研磨而提高了強度的玻璃板及其制造方法、研磨方法以及研磨装置。
背景技术：
玻璃板的裂纹大多以原本就存在于玻璃板的端缘部(棱部或者端面)的微细伤痕为起点产生，若玻璃板的端缘部存在伤痕，即使伤痕很微细，在产品制造中、产品操作中施加有机械应カ或热应カ时，会有伤痕伸长而导致玻璃板破损的情況。此外，在端缘部具有角的玻璃板容易产生玻璃渣，该玻璃渣是使玻璃板的主表面(上表面或者下表面)产生污染和伤痕的原因。特别是，在玻璃板的用途为电子部件用的覆盖玻璃(例如，摄影装置用的防护覆盖玻璃)和滤光器(例如，摄影装置的近红外校正滤光片)等的情况下，有时存在由玻璃渣所导致的污染和伤痕大的问题。因此，以往，关于在各种平板显示器和覆盖玻璃等中使用的玻璃板，为了防止玻璃渣所导致的伤痕和端缘部的微细伤痕、碎屑(欠损)所导致的破损、或者其所导致的作业时的危险，端缘部实施了所说的C倒角加工和R倒角加工而形成倒角。通过倒角，能够减少端缘部的微细伤痕，能够提高玻璃板的強度。以往，为了对玻璃板的端缘部进行倒角，使用了大致圆盘状的磨削砂轮。即，使大致圆盘状的磨削砂轮旋转，并将磨削砂轮的圆盘面或者端面按压在玻璃板的端缘部，由此进行倒角加工。例如，通过使大致圆盘状的磨削砂轮的圆盘面倾斜而按压在玻璃板的棱部来进行仅将棱部除去的C倒角加工(日本特开2000-233351号公报:专利文献I)。此外，在磨削砂轮的端面设置倾斜面，使该倾斜面按压在玻璃板的棱部而进行仅将棱部除去的C倒角加工(日本特开2003-231046号公报:专利文献2 ;日本特开2011-51068号公报:专利文献3)。再有，在磨削砂轮的端面形成圆弧状的凹部或者所希望形状的凹部，从而进行与磨削砂轮的端面形状相仿地除去玻璃板的端面的、C倒角加工或者成形加工(日本特开2002-59346号公报:专利文献4 ;日本特开2001-85710号公报:专利文献5)。在上述那样以往的倒角加工中，作为磨削砂轮，使用了使金属粉末凝固烧结并固定有金刚石磨粒的金属结合剂金刚石砂轮等，使用磨粒尺寸不同的砂轮，进行了一次加工和二次加工。在一次加工中，采用了使用筛孔尺寸为#325 #600的金刚石粒子的砂轮，カロエ出的玻璃板端缘部的平均表面粗糙度Ra的范围大致为0.5 ii m 1.0 ii m。为了减小该表面粗糙度，在二次加工中采用了以与一次加工用的砂轮相同的截面形状成形的、使用筛孔尺寸为#1000 #2000的金刚石粒子的精加工用的砂轮。此外，取代上述那样的金属结合剂金刚石砂轮，还提出了:利用树脂填充纤维之间的纤维构成体的倒角砂轮、或者配置有筛孔尺寸为#500 #2000的碳化硅、氧化铝等的磨粒的树脂构成体的倒角砂轮(日本特开2002-160147号公报:专利文献6)。通过ー边使该倒角砂轮(砂轮)旋转ー边将截面形成为凹状的砂轮的周缘部按压在液晶显示器用玻璃板等的端面上，进行加工。为了消除加工不均以进行均匀的研磨，倒角砂轮以旋转轴相对于垂直于玻璃板的表面的垂线以规定角度倾斜的方式使用。专利文献1:日本特开2000-233351号公报专利文献2:日本特开2003-231046号公报专利文献3:日本特开2011-51068号公报专利文献4:日本特开2002-59346号公报专利文献5:日本特开2001-85710号公报专利文献6:日本特开2002-160147号公报当使上述那样的砂轮按压在玻璃板的端缘部并一边使其旋转ー边进行倒角时，存在砂轮筛孔堵塞和砂轮逐渐磨损的问题。当由于筛孔堵塞和磨损而砂轮的加工部形状等恶化时，在玻璃板的端缘部会产生磨削伤痕，且由于砂轮与玻璃板的端缘部的一部分不接触而出现未加工部(加工不均)，此外，还会由于加工压カ不均匀而产生烧伤等。在砂轮的加工部形状等恶化的情况下，进行修整(dressing)和整形修整(truing)，但对于金刚石砂轮来说，高的成形精度是不可或缺的，由于修整等和磨削砂轮的位置调整需要时间，所以作业效率降低。此外，由于需要在砂轮还残存有大量未使用区域的状态下进行加工部的修整等、或是依据寿命进行砂轮的更换，因此存在成本增加的问题。此外，在使用砂轮进行玻璃板的端缘部的倒角时，在将砂轮抵接于加工物时会施加机械冲击，由于该冲击玻璃板会破损，因此存在加工成品率恶化的问题。在与金属结合剂金刚石砂轮相比刚性低的树脂构成体等的倒角砂轮(专利文献6)中，对玻璃板的端缘部的冲击减小，从而减小了欠损和伤痕的产生。但是，由于砂轮的磨损变得激烈而加工部的形状变化加快，也会引起筛孔堵塞，所以存在砂轮的修整(或者整形修整)频率高的问题。再有，近年来，在液晶显示器用玻璃板和厚度薄(1_以下)的电子部件用玻璃板等中，要求以更高精度对端缘部(棱部或者端面)进行倒角加工。但是，在使用以往的磨削砂轮对玻璃板的端缘部进行倒角的情况下，得到的加工面的精度不够，在玻璃板端缘部残留有微细的伤痕或者碎屑，不能充分地防止裂纹。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的课题在于提供一种端缘部被高精度地加工且具有高強度的玻璃板及其制造方法、研磨方法以及研磨装置。为了解决上述课题，本发明的玻璃板的特征在于，具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板的、位于上表面或下表面与端面的边界的棱部中的至少ー条边的棱部、或者是至少ー个端面通过研磨带研磨而被形成为精加工面，该精加工面的平均表面粗糙度(Ra)为20nm以下且最大谷深(Rv)为200nm以下。利用使用研磨带的方法对玻璃板的棱部或者端面进行研磨，由此在玻璃板的棱部或端面形成具有高精度的表面性状的精加工面。由于棱部或端面形成为上述表面粗糙度(Ra)及最大谷深(Rv)的精加工面，因此玻璃板的強度显著提高。本发明的玻璃板能够防止以周缘部的微细伤痕和欠损为起点的裂纹的产生，能够防止由机械应カ和热冲击所导致的破损。此外，能够改善后续エ序的加工成品率，能够提高组装有玻璃板的产品的可靠性。本发明的制造方法，用于制造棱部形成为具有规定的表面性状的精加工面的玻璃板，包括如下エ序:在研磨带的背面配置具有弹性的衬垫部件的表面，且为了对玻璃板的至少一条边的棱部进行C倒角而使研磨带的表面与玻璃板的一条边的棱部相对配置的エ序；隔着衬垫部件对研磨带施加规定的按压カ而使研磨带的表面抵接、按压在一条边的棱部的エ序；通过使玻璃板沿着直线的移动轴线移动而对一条边的棱部进行研磨的エ序。此处,研磨垫的表面由含有磨粒的研磨层构成，磨粒的平均粒径的范围为0.2 i! m以上3.0 i! m以下。在研磨的エ序中，研磨带可以不行走而停止，也可以行走。这样，通过将玻璃板的上表面或下表面的一条边的棱部与研磨带表面相对配置，并抵接、按压而进行研磨(C倒角研磨)，由此，能够除去最容易成为破损原因的棱部的裂纹和欠损。通过使用在表面含有微细磨粒的、具有柔软性的研磨带和具有弹性的衬垫部件，对棱部进行了C倒角而成的面(精加工面)的端部(边缘部)不会成为锐角，并且，在玻璃板的端缘部不会新产生伤痕和欠损，由此，能够形成经高精度研磨加工的精加工面。形成有这样的精加工面的玻璃板，其強度显著提高，且难以发生龟裂和破损。在研磨的エ序中，优选玻璃板和研磨带的表面相对移动，且玻璃板沿着直线的移动轴线往复移动。通过研磨带、衬垫部件的柔软性、弹性以及玻璃板的强度，即使使被研磨体(玻璃板)相对于研磨体(研磨带的表面)移动地进行研磨，在研磨中被研磨体也不会破损。优选的是，在玻璃板沿着移动轴线移动时，一条边的棱部相对于移动轴线以规定的角度(e)傾斜。通过使棱部相对于移动轴线倾斜，能够使研磨带表面的微细磨粒效率良好地作用于棱部。并且，能够有效利用研磨带的宽度(面积)，能够以短时间高效地进行研`磨。优选上述规定的角度(0)的范围为5度 60度。在该范围内，根据研磨带的宽度调整角度(e)从成本方面来说是优选的。再有，移动轴线可以平行于研磨带的长度方向，也可以相对于研磨带的长度方向以规定的角度(￠)傾斜。根据研磨带的宽度和行走的状态使移动轴线相对于研磨带的长度方向倾斜是高效的。此外，本发明的研磨方法，用于制造端面形成为具有规定的表面性状的精加工面的玻璃板，包括如下エ序:在研磨带的背面配置具有弹性的衬垫部件的表面，且使研磨带的表面和玻璃板的ー个端面相对配置的エ序；隔着衬垫部件对研磨带施加规定的按压カ而使研磨带的表面抵接、按压在ー个端部的エ序；通过使玻璃板沿着直线的移动轴线移动而对ー个端面进行研磨的エ序。此处，研磨带的表面由含有磨粒的研磨层构成，磨粒的平均粒径的范围为0.2 i! m以上3.0 i! m以下。在研磨的エ序中，研磨带可以不行走而停止，也可以行走。通过上述的制造方法，能够制造整个端部形成精加工面的玻璃板。在将棱部形成为精加工面之后，可以通过上述方法将端面的剰余部分形成精加工面。通过对端面整体进行研磨，能够无研磨残留地、充分除去污垢和研磨屑，所以能够防止在玻璃板的主表面产生污染和伤痕。上述衬垫部件的表面可以是平坦面。由于衬垫的表面为平坦面，所以能够使一条边的棱部全体抵接在配置于衬垫的表面的研磨带的表面，并进行研磨。此外，衬垫部件的表面也可以不是平坦的而是凸状的曲面。这是为了限制玻璃板的角部(形成于ー个端面与其他端面之间的部分)与研磨带表面的接触，能够ー边保护研磨带ー边进行研磨。作为衬垫部件，优选使用肖氏A硬度位于20至50范围内的第一衬垫部件。通过具有弹性的衬垫部件，能够缓和由研磨带与玻璃板端缘部的接触所产生的机械冲击，能够研磨，并且即使端缘部的形状变化也能够追随该变化进行加工。再有，在本发明的制造方法中，也可以在研磨带与第一衬垫部件之间配置肖氏A硬度为90以下的第二衬垫部件。这是为了根据玻璃板的材质、厚度等的规格而成为适当的衬垫部件。本发明的玻璃板是使用具有柔软性的研磨带和具有弹性的衬垫部件对棱部或端面进行研磨而形成精加工面而成的，所以，棱部被C倒角而得到的精加工面的截面也具有R形状的曲面。通过以棱部的精加工面满足上述最大谷深等的表面性状、截面形状具有曲面的方式形成，能够成为欠损和裂纹的产生原因极少的玻璃板。在研磨中，研磨带可以停止，也可以连续地或者断续地行走。当要在短时间内研磨加工的情况下，通过以研磨带停止的状态进行研磨，能够减少研磨带的使用量，因此是经济的。在研磨时间较长的情况下，通过依次送入新的研磨带，能够提高研磨效率。用于将研磨带的表面按压在玻璃板的棱部或者端面的按压力，可以根据玻璃板的状态，在研磨初期小，但随着研磨的进行而逐渐増大。例如，有的玻璃板在角部和棱部具有鋭角的部分，在该情况下，若从研磨初期就施加大的按压力，则存在由于锐角的部分而使研磨带产生伤痕、研磨带破损的情况。通过调节按压力，能够ー边保护研磨带表面一边进行研磨。研磨能够以干式或湿式进行。在湿式的情况下，ー边向研磨带的表面供给水或者添加了表面活性剂的水溶液一边进行研磨。此外，本发明的研磨装置，用于将玻璃板的棱部或者端面形成为高精度的精加工面。本发明的研磨装置，用于通过研磨带对具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板的、位于上表面或下表面与端面的边界处的棱部中的至少一条边的棱部或者至少ー个端面进行研磨而形成精加工面，具有:基座；エ件单元，是用于配置玻璃板的エ件単元，将玻璃板以能够沿着与基座平行的移动轴线移动的方式设置在所述基座上；研磨带单元，是用于配置研磨带的研磨带单元，与所述エ件単元相对地设置在所述基座上。エ件単元具有:保持台，用于以使玻璃板的一个端面平行于移动轴线且玻璃板的上表面或者下表面与基座平行的方式保持玻璃板；第一倾斜机构，用于通过使保持台以移动轴线为中心枢轴转动而使玻璃板的上表面或者下表面相对于基座以规定的角度(a)傾斜；第二倾斜机构，用于通过使保持台以与移动轴线垂直且与所述基座平行的转动轴线为中心转动而使玻璃板的上表面或者下表面相对于基座以规定的角度(の傾斜。研磨带单元具有:衬垫，用于以使研磨带的含有磨粒的表面与玻璃板的一条边的棱部或者所述ー个端面相对的方式配置研磨带；研磨板，用于安装衬垫，且垂直于基座；按压机构，用于使研磨板在与基座平行且与述移动轴线垂直的方向移动，以使研磨带的表面抵接、按压在一条边的棱部或者一个端面上；研磨带行走机构，用于使研磨带行走。在本发明中，当研磨带配置在上述衬垫上时，优选研磨带的长度方向与移动轴线平行。此外，也可以根据研磨带的宽度和行走的状态等，使配置在衬垫上的研磨带的长度方向(行走方向)相对于移动轴线以规定的角度(￠)傾斜。为了使研磨带的长度方向相对于移动轴线倾斜，优选研磨带单元具有用于使研磨板倾斜的研磨板倾斜机构。再有，本发明的研磨方法，用于使具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板沿着水平的移动轴线移动，并通过研磨带的具有磨粒的表面对该玻璃板的位于上表面或下表面与端面的边界处的棱部中的至少一条边的棱部进行研磨而形成精加工面。本发明的研磨方法，包括如下エ序:以使玻璃板的一个端面平行于移动轴线且玻璃板的上表面或下表面成为水平的方式配置玻璃板的エ序；通过使玻璃板以移动轴线为中心枢轴转动而使玻璃板的上表面或者下表面相对于水平以规定的角度(a)倾斜的第一倾斜エ序；通过使玻璃板以水平且与移动轴线垂直的转动轴线为中心转动而使玻璃板的上表面或下表面相对于水平以规定的角度(の倾斜的第二倾斜エ序；以使研磨带的表面与玻璃板的一条边的棱部相対的方式将研磨带配置于衬垫部件的表面的エ序；隔着衬垫部件对研磨带施加规定的按压カ而使研磨带的表面抵接、按压在一条边的棱部的エ序；通过使玻璃板沿着移动轴线移动而对一条边的棱部进行研磨的エ序。在上述研磨方法中，配置在衬垫部件上的研磨带的长度方向也可以与移动轴线平行，还可以相对于移动轴线以规定的角度(β)傾斜。根据本发明，能够得到在便携电话显示窗、液晶面板、有机EL面板、等离子面板、太阳能电池板等的平板显示器和电子部件用的覆盖玻璃、滤光器等的制造中使用的、棱部或端面被高精度地加工而提高了強度的玻璃板。由于能够使用研磨带进行玻璃板的棱部或端面的研磨，因此能够充分除去成为破损原因的端缘部的伤痕和欠损，能够形成高精度的精加工面。通过实施本发明的玻璃板，能够改善各种平板显示器等产品的产品成品率，能够使组装有该玻璃板的商品的质量及精度提闻。
图1是示意性示出玻璃板的图。图2(A)和(B)是示意性示出在玻璃板的端缘部形成精加工面的エ序和所形成的精加工面的侧面形状的图。图2(C)是表示形成图2(A)的精加工面的エ序中的玻璃板与研磨带表面的角度等的图。图3是表示本发明的一个实施方式的研磨装置的俯视图。图4是示意性示出本发明的研磨装置的图。图5是表示本发明的一个实施方式的研磨装置的侧视图。图5A是本发明的研磨装置的可动板的示意图。图5B是本发明的研磨装置的倾斜板35的中央横截面的示意图。图6是表示本发明的一个实施方式的研磨装置的主视图。图7A是表示本发明的一个实施方式的研磨带单元的主视图。
图7B是表示本发明的一个实施方式的研磨带单元倾斜的状态的主视图。图8(a)和图8(b)是示意性示出本发明的一个实施方式的玻璃板的制造方法、研磨方法、研磨装置中的玻璃板、研磨带表面以及移动轴线的图。图9是示意性示出本发明的其他实施方式的玻璃板的制造方法、研磨方法、研磨装置中的玻璃板、研磨带表面以及移动轴线等的图。图10(a)和(b)是示意性示出本发明的另ー个其他实施方式的玻璃板的制造方法、研磨方法、研磨装置中的玻璃板、研磨带表面以及其移动方向的图。图11 (A)至(D)是本发明的实施例的玻璃板以及比较例的玻璃板各自的精加工面的放大照片。图12是使用了砂轮的比较例4的玻璃板的精加工面的放大照片。图13是示意性示出用于测量玻璃板的边缘强度的4点弯曲实验方法的图。图14是表示使用了比较例4的砂轮的玻璃板的棱部的研磨方法的示意图。图15(a)和(b)是表示各个玻璃板的角部形状和衬垫形状的示意图。附图标记说明W玻璃板(被研磨体)T研磨带Tw研磨带宽度IV研磨宽度I研磨装置2 基座3エ件单元4研磨带单元5单轴机械手6 LM引导部7行走体12保持台13移动轴线21研磨带行走方向22供给滚筒23卷绕滚筒24辅助滚筒25辅助滚筒26 衬垫26A第二衬垫机构26B第一衬垫机构27研磨板28研磨板的移动方向29研磨板的移动方向30a精加工面(棱部)
30b精加工面(端面)31 导轨32 导轨33固定板34固定杆35倾斜板35a螺纹槽35b弓丨导槽35’可动板35，a 杆35’ b 螺纹孔36固定螺钉37倾斜板38固定螺钉39弓丨导槽39a 杆40 砂轮42移动板43 气缸46倾斜板47固定螺钉48引导轴承49弓丨导槽49a 杆50固定板
具体实施例方式以下，參照附图，通过说明并不对本发明构成限定的优选实施例来说明本发明的各个特征。附图为了说明而被简化，尺寸未必一致。图1示意性示出玻璃板W。玻璃板W大体上在上表面或下表面(主表面)与端面的边界具有棱部，并且，在一个端面与另ー个端面的边界具有角部。本发明的玻璃板是通过研磨带研磨其棱部和端面而形成高精度的精加工面。在图2中示意性示出对玻璃板W进行倒角的エ序和所形成的精加工面的例面形状。图2(A)是通过所说的C倒角将棱部形成为精加工面30a的图。图2(B)是通过所说的R倒角，在从棱部到端面的范围内整体形成为精加工面30b的图。为了使玻璃板W的强度提高，对端缘部进行研磨而除去伤痕和碎屑，减小因除去棱部所形成的精加工面30a或30b的表面粗糙度和最大谷深是很重要的。为了对玻璃板W赋予足够的机械强度，使精加工面30a或30b的平均表面粗糙度Ra为20nm以下，粗糙度曲线的最大谷深Rv为200nm以下是有效的。
为了得到这样高精度的精加工面，在本发明中，特征在于，通过在表面具有含微细磨粒的研磨层的研磨带对玻璃板W的棱部或者端面(端缘部)进行研磨加工。为了得到高精度的精加工面30a或者30b，将研磨分成粗研磨、中研磨以及镜面加工的エ序来进行。此夕卜，事先使用加工变形少的树脂结合剂砂轮进行了角部(图1)的倒角加工，之后，进行基于研磨带的研磨，由此，能够进行效率良好的研磨。研磨带表面所包含的磨粒的平均粒径优选为0.以上(#20000) 3 ii m以下(#4000)的范围。若平均粒径超过3pm，则虽然能够除去研磨前的比较大的伤痕和欠损，但由于会使精加工面重新产生微细的伤痕和欠损，无法对玻璃板W赋予足够的强度，因此不优选。若平均粒径小于0.2 y m，则研磨效率急剧下降而生产率恶化，因此在エ业上不实用。以下，參照附图，对用于通过研磨带对玻璃板W的棱部(或者端面)进行研磨而成为具有规定表面性状的精加工面的本发明所涉及的研磨装置的一个实施方式进行说明。图3是研磨装置I的俯视图，图5是研磨装置I的侧视图。本发明的研磨装置I由在基座2上相对设置的エ件单元3和研磨带单元4构成。エ件单元3安装在设于基座2上的往复移动机构上。參照图3，往复移动机构包括:具有平行于基座2的导轨32的LM引导部6 ;具有与导轨32平行的导轨(箱体)31的单轴机械手5。如图5详细示出那样，在LM引导部6及单轴机械手5上，连结有与基座2平行的行走体7。エ件单元3安装在行走体7上，由此，エ件单元3能够沿着LM引导部6的导轨32移动。通过导轨32形成エ件单元3的移动轴线13。单轴机械手5是通过由电动机使导轨31内的滚珠丝杠旋转而使螺母(可动部)以规定的间隔(行程)沿着滚珠丝杠直线往复移动的。行走体7与单轴机械手5的可动部连结，由此，行走体7被驱动，能够进行往复运动。此外，也可以是，通过使电动机与螺母(可动部)配置在同轴上并连结，单轴机械手5的螺母相对于固定的滚珠丝杠旋转并直线地往复移动，还可以通过其他结构对行走体7赋予直线的驱动。为了使行走体7正确地沿着移动轴线13(图3)往复运动，优选同时使用单轴机械手5和LM引导部6，但也可以是，行走体7通过单轴机械手5或者作为执行机构发挥作用的LM引导部而往复运动。參照图5，エ件单元3具有:垂直安装在行走体7上的正面板14、平行地安装在正面板14上的倾斜板37、垂直地安装在倾斜板37上的倾斜板35、以及被倾斜板35的可动板35’保持的保持台12。保持台12在没有通过倾斜板(35或37)倾斜的状态下相对于正面板14垂直且与基座2平行。如图3中详细示出那样，在保持台12的上表面配置待通过研磨带进行加工研磨的玻璃板W。玻璃板W以其ー个端面相对于移动轴线13平行的方式配置并固定在保持台12上。玻璃板W通过固定板33及固定杆34而被固定。在配置玻璃板W的保持台12的表面及固定板33的背面贴附有布类或橡胶等的弾性片，以便不会在玻璃板面产生伤痕。除此之夕卜，玻璃板W也可以通过真空吸附法、结合剂固定等而被固定在保持台12上。图6中，エ件单元3的主视图与研磨带单元4部分重叠地示出。向上具有开ロ部的大致U字形的正面板14垂直干与基座2平行的行走体7且与移动轴线13平行地延伸。在该正面板14上平行地安装有大致U字形的倾斜板37。图中，以虚线示出与倾斜板37重叠的正面板14的开ロ部。在倾斜板37的开ロ部的内側，以左右相対的方式相对于倾斜板37垂直地设置有一对倾斜板35、35。倾斜板37在左右具有圆弧状的螺纹槽，在下部具有圆弧状的引导槽39。螺纹槽及引导槽39分别形成为中心为C的圆的圆周的一部分。在左右的螺纹槽中贯通有固定螺钉38，用于将倾斜板37以规定角度固定在正面板14上。经由垫圈等(未图示)紧固固定螺钉38，由此，倾斜板37被固定在正面板14上。在引导槽39中穿过有固定于正面板14上的杆(引导辊轮)39a，在松弛固定螺钉38的状态下，倾斜板37能够沿着引导槽39及杆39a在与基座2垂直的面内转动。換言之，倾斜板37能够以垂直于移动轴线13且平行于基座2的、通过中心C的轴为中心转动。追随倾斜板37的转动，与倾斜板37 —体地设置的倾斜板35也转动，被保持在位于左右的可动板35’之间的保持台12也如点划线所示那样转动而相对于与基座2平行的移动轴线13傾斜。在保持台12相对于移动轴线13倾斜了所希望的角度吋，倾斜板37通过固定螺纹38而相对于正面板14固定。垂直且一体地设于倾斜板37上的倾斜板35具有左右対称的结构。在左右ー对的倾斜板35、35的内侧设有与倾斜板35平行的左右ー对的可动板35’、35’。可动板35’保持着保持台12。參照图5，倾斜板35具有圆弧状的螺纹槽35a(实线部分)。该螺纹槽35a为了使固定螺钉36从外侧插入并紧固在可动板35’上而贯通倾斜板35。固定螺钉36为了能够效率良好地进行紧固而优选夹紧杆等具有手柄或捏手的螺钉。在倾斜板35的内侧，沿着上述螺纹槽35a形成有与螺纹槽大致相同形状的圆弧状的引导槽35b (虚线部分)。在图5B中示意性示出倾斜板35的中央的横截面。内侧的引导槽35b被形成为宽度大于螺纹槽35a且不贯通倾斜板35。如图5详细示出那样，螺纹槽35a及引导槽35b分别形成中心为C’的圆的圆周的一部分。可动板35’的杆(引导辊轮)35’a(图5A)追随引导槽35b而滑动。S卩，倾斜板35的可动板35’在与正面板14垂直的面内以C’为中心而枢轴转动，通过可动板35’的枢轴转动，固定在可动板35’、35’之间的保持台12以通过中心C’的移动轴线13为轴枢轴转动，从而相对于基座2傾斜。在保持台12相对于基座2倾斜了所希望的角度吋，从倾斜板35的外侧紧固固定螺钉36，由此，可动板35’相对于倾斜板35被固定。如上述那样，关于倾斜角度的调节，可以先进行如下任一方，即:使保持台12通过倾斜板35 (从与基座2平行的状态)以移动轴线13为轴枢轴转动而傾斜，或者，使保持台12通过倾斜板37 (从与基座2平行的状态)以与移动轴线13垂直且与基座2平行的轴为中心转动而倾斜。在图5中示出研磨带单元4的侧视图。研磨带单元4具有从基座2垂直地伸出并相対的ー对固定板50、50。在该固定板50、50上经由杆(引导辊轮)49a(图7A)平行地安装有一对倾斜板46、46。在倾斜板46、46之间延伸有由轴和螺母(轴承)构成的引导轴承48。如图7A的主视图所示那样，左右ー对的弓I导轴承48、48在倾斜板46、46之间延伸并通过连结部件(无标号)而连结成一体。引导轴承48可以是由轴和圆柱状的螺母构成的直线型轴衬、滚珠花键或者滚珠轴承引导件等。參照图5，在该引导轴承48上与基座2平行地载置有移动板42。研磨板27从该移动板42垂直地伸出。在研磨板27上与基座2垂直地安装衬垫26。
气缸43的杆通过空气压或者弹簧而被推出或被拉入，由此，引导轴承48的螺母(可动部)沿着轴在箭头28的方向往复移动。也可以取代气缸43而使用用于对螺母(可动部)施加往复移动的其它推压机构。当引导轴承48的螺母(可动部)往复移动时，移动板42及安装在移动板42上的研磨板27沿着箭头28往复移动，配置在衬垫26上的研磨带T的表面能够接近エ件单元3并以规定的按压カ(推力)被按压在被研磨体(玻璃板W)上，或者从エ件单元3远离。在图7A中示出倾斜板46。图中以虚线示出固定板50。倾斜板46在左右具有用于供固定螺钉47通过的圆弧状的螺纹槽，并具有圆弧状的引导槽49。左右的螺纹槽及引导槽49分别优选形成为以配置在衬垫26上的研磨带T的中心C”为中心的圆的圆周的一部分。通过该结构，倾斜板46在松弛固定螺钉47的状态下能够沿着引导槽49及通过引导槽的杆(引导辊轮)49a转动。如图7B详细示出那样，当倾斜板46转动时，移动板42从与基座2平行的状态倾斜，研磨板27也傾斜。当研磨板27倾斜时，经由衬垫26安装在研磨板27上的研磨带T的长度方向相对于基座2 (エ件单元3的移动轴线13)傾斜。換言之，研磨带T的长度方向以垂直于移动轴线13且平行于基座2的、通过C”的轴为中心转动，因而能够相对于移动轴线13傾斜。当研磨带T的长度方向相对于移动轴线13倾斜了所希望的角度吋，倾斜板46通过固定螺钉47而固定在固定板50上。在这样的研磨带单元4的衬垫26上配置能够行走的研磨带T (图3)。通过将衬垫26相对配置在研磨带T的背面，研磨带T的表面经由衬垫而被按压在玻璃板W的被研磨部(棱部)。由于衬垫26具有弾性，所以能够使精加工面(30a)形成为曲面、即截面为R形状，能够使玻璃板的强度进ー步提高。作为衬垫26，能够使用橡胶、发泡树脂或者其复合材料的弾性体。优选在使用表面具有微细磨粒的研磨带来形成高精度的精加工面的目的下适宜选择衬垫26的弹性。衬垫26的弾性太大时(例如肖氏A硬度小于20)，玻璃板W的精加工面弯曲，边缘部的直线性丧失，因此不优选。相反，当弾性太小时(例如，肖氏A硬度超过90)，虽然精加工面的边缘部的直线性是充分的，但对因机械冲击而在被研磨面上产生的伤痕和欠损除去不够充分，玻璃板W的強度下降，因此不优选。因此，为了缓和机械冲击，衬垫26是肖氏A硬度为20至50范围内的发泡树脂板为好。此外，研磨带T的表面所包含的磨粒的平均粒径为Iym以下(#8000)的情况，由于通过弹性大的发泡树脂板而研磨速度急剧变慢，是不实用的，所以，优选衬垫26是将上述发泡树脂板和肖氏A硬度为80至90范围内的橡胶板组合而成的。像这样，即使使用平均粒径非常微细的(例如I U m以下)磨粒的研磨帯，研磨速度也几乎不会变慢，能够形成具有高精度的表面性状(Ra、Rv)的精加工面、且为边缘部的直线性优异的精加工面。在图4中示意性示出配置了具有弹性的衬垫26A、26B的研磨带单元4。例如，衬垫26A可以是弹性比较小的橡胶板，衬垫26B可以是弹性比较大的发泡树脂板。在图15中示出与移动轴线13和研磨带T的表面的配置相关的ー实施方式和另ー个实施方式。如图15(a)那样，在玻璃板W的角部事先被倒角成R状的情况下，在研磨带T的表面和移动轴线13平行的状态下使玻璃板W往复移动而进行研磨。
如图15(b)那样，在玻璃板W具有事先没有被倒角的角部、或者倒角少的角部(以下称为角部R’)的情况下，在如图15(a)那样使研磨带T的表面和玻璃板W的移动轴线13处于平行状态时，存在进入研磨带T的角部R’使研磨带T产生伤痕，因此研磨带T破损而必须中断研磨的情况。因此，在利用研磨带T研磨具有角部R’的玻璃板W的情况下，优选研磨带T的表面相对于玻璃板W具有凸状的曲面。为了像这样配置研磨带T的表面，优选在与玻璃板W相対的面沿着要具有凸状曲面的研磨板27的曲面安装衬垫26。或者，也可以在平坦的研磨板27上安装相对于玻璃板W具有凸状曲面的衬垫26。这样，由于限制进入研磨带T的角部R’与研磨带T的表面的接触，所以不会使研磨带T形成伤痕，提高了研磨带T的耐久性。优选上述凸状曲面是曲率半径大的圆弧状的曲面，即为接近平坦面的曲面。在研磨带T的表面曲率过分大时，研磨带T的表面与玻璃板W的接触面积变小而导致研磨效率下降，因此是不优选的。此外，在玻璃板W的往复移动的间隔(行程)小的情况下，在玻璃板W的被研磨部分(一边的棱部)的中央部和两端部产生研磨差(与中央部相比两端部的研磨量小)，因此是不优选的。參照图3,研磨带单元4具有:供给研磨带T的供给滚筒22、和卷绕研磨带的卷绕滚筒23。供给滚筒22为了对研磨带T施加适度的张カ而连接在力矩电动机(未图示)上。卷绕滚筒23连接于步进电动机(未图示)，将从供给滚筒22供给来的研磨带T卷绕。在卷绕滚筒23侧设置有用于对研磨带T赋予适度的张カ的阻挡滚筒(stopper roller)(未图示)。此外，研磨带单元4也可以具有辅助滚筒24、25，用于将研磨带T合适地配置在衬垫26上，其中，衬垫26配置在研磨板27上。研磨中，研磨带T可以是静止的状态，也可以通过研磨带行走机构而连续地或断续地行走。也可以是，当研磨会在短时间内结束的情况下，不便研磨带T行走而在静止的状态下使用，在研磨后为了下一次的研磨而供给新的研磨带T的表面。在研磨达到长时间的情况下，为了持续供给高精度且稳定的研磨面、即包含磨粒的研磨带的表面，优选使研磨带连续或断续地行走。研磨装置I还具有控制装置，用于控制エ件单元3及研磨带单元4。此外，在以湿式进行研磨时，还具有供水机和水管，用于向研磨带T的表面供给水或添加了表面活性剂的水溶液。通过具有上述那样的构成的研磨装置1，玻璃板W的棱部(或者端面)在相对于移动轴线13倾斜了规定角度的状态下，被合适地抵接按压在研磨带T的表面上，玻璃板W沿着移动轴线13往复移动而进行研磨。在图8 (a)及(b)中分别示意性图示通过上述第一、第二倾斜机构35、37所形成的玻璃板W的倾斜角度a或倾斜角度0和从研磨带表面或移动轴线13的侧面或者正面观察到的配置。在图8(a)中如虚线所示，在保持台12没有倾斜的状态下，玻璃板W的上表面或下表面垂直于研磨帯T的表面，端面平行于研磨帯T的表面。玻璃板Wl通过第一倾斜机构35而倾斜了角度a。如图2(C)所示那样,角度a是与所说的C倒角的角度对应的角度。图8(b)示出玻璃板W通过第二倾斜机构37相对于移动轴线13倾斜了角度0的状态。角度9的范围优选为5度 60度。角度0的选择被所使用的研磨带T的宽度及玻璃板W的被研磨部(一边的棱部)的长度限制，但在角度0小于5度时研磨效率几乎不会提高。在角度e超过60度时，研磨效率提高，但由于玻璃板W的往复运动而与研磨带T的表面的接触阻カ变大，难以得到稳定的研磨。此外，在薄玻璃板W的情况下，有时玻璃会破裂。此外，在角度0小的情况下，使玻璃板W逐渐向未使用的研磨带T的宽度方向移动，由此，能够有效利用研磨带。作为研磨方法，可以在玻璃板Wl的状态(棱部与移动轴线平行的状态)下使玻璃板Wl沿着移动轴线往复移动而进行研磨，也可以在将角度a和角度0组合而得到的状态(棱部相对于移动轴线以角度e倾斜了的状态)下进行研磨。在玻璃板WI的状态下也存在研磨效率不充分的情況，但通过使研磨带的行走方向(长度方向)相对于移动轴线倾斜等，能够进行效率良好的研磨。此外，当在将角度a和角度0组合而得到的状态下进行研磨时，能够大范围地使用研磨带的宽度而能够使磨粒有效作用于棱部，能够提高研磨速度，在成本方面也是有利的。在图9中示出玻璃板W的另ー种研磨方法。只要研磨带T的宽度Tw大于玻璃板W的厚度(端面的宽度)就能够使用，但在使玻璃板W的端缘部相对于其移动轴线13以规定角度倾斜而按压在研磨带T的表面上，并使其往复移动而进行研磨的情况下，考虑该往复移动的面积来选择研磨带T的宽度。研磨优选在研磨带T的宽度内进行。如图9(a)那样，在玻璃板W的端面(或者棱部)相对于移动轴线13倾斜了 0 ’的状态下，并在研磨带T以规定速度向箭头21方向行走的情况下，由于相对于研磨带T的宽度Tw，在研磨中使用的宽度IV小，所以在研磨带T的表面具有未使用部分，是不经济的。如图9(b)那样，在使研磨带T相对于移动轴线13以角度P倾斜地行走时，随着研磨带T的行走，研磨带T的宽度Tw整体依次接触玻璃板W的被研磨部分，因此，研磨带T的宽度Tw实质上等于在研磨中使用的宽度IV。此外，在研磨带T的长度方向相对于移动轴线13以角度0倾斜了的状态下，当ー边使研磨带T向箭头21的方向行走，ー边使玻璃板W沿着移动轴线13以规定的往复间隔(行程)L往复移动时，玻璃板W相对于研磨带T的表面的移动为在上下描绘出锯齿状，能够有效利用研磨带T的宽度Tw。优选角度(e’+0)的范围为5度 60度。在该范围内，优选调节成往复运动中玻璃板W的被研磨部分不会从研磨带T的宽度露出。这是为了防止与研磨带T的宽度方向的端部的层差接触而使玻璃板W的端缘部产生伤痕。在图10中示出玻璃板W的另ー其他研磨方法。如图10(a)那样，使玻璃板W的上表面或下表面以垂直于研磨带T的表面且平行于研磨带T的长度方向抵接于研磨带T的表面，也可以是，如图10(b)那样，使研磨板27从玻璃板W的上表面的棱部到下表面的棱部的范围内呈圆弧状地往复运动，由此,对玻璃板的端面整体进行R倒角而研磨成圆弧状。本发明所使用的研磨带是这样形成的:在塑料制的基材膜上涂布在树脂粘结剂中分散有磨粒的溶液，对干燥、固化后的片以必要宽度进行分割，并卷绕在卷筒上的。作为基材膜，使用具有柔软性的合成树脂制的塑料膜。具体而言，作为基材膜使用由聚对苯ニ甲酸こニ酷、聚对苯ニ甲酸丁ニ醇酯、聚萘ニ甲酸こニ醇酯、聚萘ニ酸丁醇酯等的聚酯类树脂、聚こ烯、聚丙烯等的聚烯烃类树脂、以聚こ烯醇或者甲基烯丙醇为主要成分的丙烯酸类树脂等构成的膜。作为磨粒(研磨粒子)，能够使用氧化铝(Al2O3)、氧化铈(CeO2)、氧化硅(SiO2)、金刚石、碳化娃(SiC)、氧化铬(Cre2O3)、氧化错(ZrO2)、立方氮化硼(cBN)等及其混合物中的处于上述粒径范围内的粒子。实施例1通过本发明实施例1的制造方法，制造出在棱部具有高精度的精加工面的玻璃板。作为玻璃板，使用了长度为700mm、宽度为400mm、厚度为0.8mm的长方形的钠钙玻璃。该玻璃板的4个角部事先通过砂轮被R倒角，之后通过研磨帯，对8个边的棱部进行研磨而形成精加工面。在研磨中，玻璃板的往复移动在棱部相对于移动轴线倾斜了 10度的状态(0=10° )下进行，玻璃板以45度的角度(a =45° )抵接在研磨带的表面，研磨量(图2C的h)为50i!m。为了像这样具有恒定的研磨量，根据包含在研磨带的表面的磨粒粒径，调节玻璃板的往复次数(I次往复=I条轨迹(path))。研磨带的表面相对于玻璃板的移动轴线是平行的，为静止的状态。此外，ー边向研磨带的表面供给少量的水一边进行研磨。对实施例1的制造方法中的条件进行总结，如以下那样。研磨条件(一条边)研磨带的状态:静止玻璃板相对于垂直于研磨带表面的面的倾斜角度(a):45°研磨量(h):50 U m棱部相对于移动轴线的倾斜角度(e):10°往复运动的行程长度(L):150mm研磨带的宽度(Tw):30mm研磨带的按压カ(推力):15N作为研磨带，使用了 GC(Green carborundum:绿色金刚砂)#4000 (SiC:平均磨粒粒径为3 y m)，作为衬垫部件，使用了肖氏A硬度为30的发泡树脂衬垫。玻璃板的往复次数为21条轨迹。实施例2在实施例2的制造方法中，作为研磨带，使用了 GC#6000 (平均磨粒粒径为2 ii m)。玻璃板的往复次数是24条轨迹。其他条件与实施例1相同。实施例3在实施例3的制造方法中，作为研磨带，使用了 GC#10000(平均磨粒粒径为
0.5 y m)。作为衬垫部件，使用了肖氏A硬度为80的橡胶板及肖氏A硬度为30的发泡树脂板。玻璃板的往复次数为31条轨迹。其他条件与实施例1相同。比较例I在比较例I的制造方法中，作为研磨带，使用了 GC#1000(平均磨粒粒径为16iim)。玻璃板的往复次数为7条轨迹。其他条件与实施例1相同。比较例2在比较例2的制造方法中，作为研磨带，使用了 GC#2000 (平均磨粒粒径为9 ii m)。玻璃板的往复次数为11条轨迹。其他条件与实施例1相同。比较例3 在比较例3的制造方法中，作为研磨带，使用了 GC#3000 (平均磨粒粒径为5 ii m)。玻璃板的往复次数为17条轨迹。其他条件与实施例1相同。
比较例4在比较例4的制造方法中，使用了对筛孔尺寸#1000的金刚石磨粒(平均粒径14 22iim)进行了金属结合而成的砂轮。如图14所示，配置砂轮和玻璃板的端缘部，使砂轮旋转来进行棱部的倒角研磨。如上述那样加工研磨的实施例、比较例的平均表面粗糙度Ra及粗糙度曲线的最大谷深Rv如以下表I所示。平均表面粗糙度Ra及最大谷深Rv通过表面粗糙度计(产品名NewView5000 =Zygo公司制)进行測定。表I
权利要求
1.一种玻璃板，是具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板，其特征在于， 位于所述上表面或所述下表面与所述端面的边界的棱部中，至少一条边的棱部通过研磨带研磨而被形成为精加工面，该精加工面的平均表面粗糙度(Ra)为20nm以下且最大谷深(Rv)为200nm以下。
2.一种玻璃板，是具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板，其特征在于， 至少一个端面通过研磨带研磨而被形成为精加工面，该精加工面的平均表面粗糙度(Ra)为20nm以下且最大谷深(Rv)为200nm以下。
3.按权利要求1或2所述的玻璃板，其特征在于， 所述精加工面具有曲面。
4.一种玻璃板的制造方法，是权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，包括如下工序: 在所述研磨带的背面配置具有弹性的衬垫部件的表面，且为了对所述玻璃板的至少一条边的棱部进行C倒角而使所述研磨带的表面与所述玻璃板的一条边的棱部相对配置的工序，所述研磨带的表面由含有磨粒的研磨层构成； 隔着所述衬垫部件对所述研磨带施加规定的按压力而使所述研磨带的表面抵接、按压在所述一条边的棱部上的工 序； 通过使所述玻璃板沿着直线的移动轴线移动而对所述一条边的棱部进行研磨的工序， 所述磨粒的平均粒径的范围为0.2 μ m以上且3.0 μ m以下， 在所述研磨的工序中，所述研磨带不行走而停止或者行走。
5.按权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 在所述研磨的工序中，在所述一条边的棱部相对于所述移动轴线倾斜了规定的角度(Θ )的状态下，使所述玻璃板沿着所述移动轴线往复移动。
6.按权利要求5所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述规定的角度(Θ)的范围为5度以上且60度以下。
7.按权利要求4至6中任一项所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述衬垫部件的表面是平坦面。
8.按权利要求4至6中任一项所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述衬垫部件的表面是凸状的曲面。
9.按权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述移动轴线平行于所述研磨带的长度方向。
10.按权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述移动轴线相对于所述研磨带的长度方向以规定的角度(β)倾斜。
11.一种玻璃板的制造方法，是权利要求2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，包括如下工序: 在所述研磨带的背面配置具有弹性的衬垫部件的表面，且使所述研磨带的表面与所述玻璃板的一个端面相对配置的工序，所述研磨带的表面由含有磨粒的研磨层构成； 隔着所述衬垫部件对所述研磨带施加规定的按压力而使所述研磨带的表面抵接、按压在所述一个端面上的工序； 通过使所述玻璃板沿着直线的移动轴线移动而对所述一个端面进行研磨的工序， 所述磨粒的平均粒径的范围为0.2 μ m以上且3.0 μ m以下， 在所述研磨的工序中，所述研磨带不行走而停止或者行走。
12.按权利要求4或11所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述衬垫部件是肖氏A硬度在20至50范围内的第一衬垫部件。
13.按权利要求12所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 在所述研磨带与所述第一衬垫部件之间配置有肖氏A硬度为90以下的第二衬垫部件。
14.按权利要求4或11所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述精加工面具有曲面。
15.按权利要求4或11所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 在所述研磨的工序中，所述研磨带连续地或者断续地行走。
16.按权利要求4或11所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 所述规定的按压力随着研磨的进行而逐渐增大。
17.一种研磨装置，用于通过研磨带对具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板的、位于所述上表面或所述下表面与所述端面的边界处的棱部中的至少一条边的棱部或者至少一个端面进行研磨而形成精加工面，其特征在于，具有: 基座； 工件单元，是用于配置所述玻璃板的工件单元，将所述玻璃板以能够沿着与所述基座平行的移动轴线移动的方式设置在所述基座上； 研磨带单元，是用于配置所述研磨带的研磨带单元，与所述工件单元相对地设置在所述基座上， 所述工件单元具有: 保持台，用于以使所述玻璃板的一个端面平行于所述移动轴线且所述玻璃板的所述上表面或者所述下表面与所述基座平行的方式保持所述玻璃板； 第一保持台倾斜机构，用于通过使所述保持台以所述移动轴线为中心轴转而使所述玻璃板的所述上表面或者所述下表面相对于所述基座以规定的角度(α)倾斜； 第二保持台倾斜机构，用于通过使所述保持台以与所述移动轴线垂直且与所述基座平行的转动轴线为中心转动而使所述玻璃板的所述上表面或者所述下表面相对于所述基座以规定的角度(Θ )倾斜， 所述研磨带单元具有: 衬垫，用于以使所述研磨带的含有磨粒的表面与所述玻璃板的一条边的棱部或者所述一个端面相对的方式配置所述研磨带； 研磨板，用于安装所述衬垫，且垂直于所述基座； 按压机构，用于使所述研磨板在与所述基座平行且与所述移动轴线垂直的方向移动，以使所述研磨带的表面被抵接、按压在所述一条边的棱部或者所述一个端面上； 研磨带行走机构，用于使所述研磨带行走。
18.按权利要求17所述的研磨装置，其特征在于， 配置在所述衬垫上的所述研磨带的长度方向与所述移动轴线平行。
19.按权利要求18所述的研磨装置，其特征在于， 所述研磨带单元包括研磨板倾斜机构，所述研磨板倾斜机构用于使所述研磨板倾斜成所述研磨带的长度方向相对于所述移动轴线以规定的角度(β)倾斜。
20.按权利要求17至19中任一项所述的研磨装置，其特征在于， 所述衬垫的、配置所述研磨带的表面是平坦面。
21.按权利要求17至19中任一项所述的研磨装置，其特征在于， 所述衬垫的、配置所述研磨带的表面是凸状的曲面。
22.一种研磨方法，用于使具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板沿着水平的移动轴线移动，并通过研磨带的具有磨粒的表面对位于该玻璃板的所述上表面或所述下表面与所述端面的边界处的棱部中的至少一条边的棱部进行研磨而形成精加工面，其特征在于，包括如下工序: 以使所述玻璃板的一个端面平行于所述移动轴线且所述玻璃板的所述上表面或所述下表面成为水平的方式配置所述玻璃板的工序； 通过使所述玻璃板以所述移动轴线为中心枢轴转动而使所述玻璃板的所述上表面或者所述下表面相对于水平以规定的角度(α)倾斜的第一倾斜工序； 通过使所述玻璃板以水平且与所述移动轴线垂直的转动轴线为中心转动而使所述玻璃板的所述上表面或所述下表面相对于水平以规定的角度(Θ )倾斜的第二倾斜工序；以使所述研磨带的表面与所述玻璃板的一条边的棱部相对的方式将所述研磨带配置于衬垫部件的表面的工序； 隔着所述衬垫部件对所述研磨带施加规定的按压力而使所述研磨带的表面抵接、按压在所述一条边的棱部上的工序； 通过使所述玻璃板沿着所述移动轴线移动而对所述一条边的棱部进行研磨的工序。
23.按权利要求22所述的研磨方法，其特征在于， 配置在所述衬垫部件上的所述研磨带的长度方向与所述移动轴线平行。
24.按权利要求22所述的研磨方法，其特征在于， 配置在所述衬垫部件上的所述研磨带的长度方向相对于所述移动轴线以规定的角度(β)倾斜。
25.按权利要求22至24中任一项所述的研磨方法，其特征在于， 所述衬垫部件的表面是平坦的。
26.按权利要求22至24中任一项所述的研磨方法，其特征在于， 所述衬垫部件的表面是凸状的曲面。
全文摘要
本发明提供一种端缘部被高精度地倒角加工且被具有高强度的玻璃板及其制造方法、研磨方法以及研磨装置。本发明的玻璃板是具有上表面、下表面以及位于这两个面之间的端面的矩形玻璃板，其中，位于所述上表面或所述下表面与所述端面的边界处的棱部中的至少一条边的棱部或者至少一个端面通过研磨带研磨而被形成为精加工面，该精加工面的平均表面粗糙度(Ra)为20nm以下，且最大谷深(Rv)为200nm以下。
文档编号B24B21/18GK103084957SQ20121004103
公开日2013年5月8日 申请日期2012年2月21日 优先权日2011年11月8日
发明者宍户光伸, 山口直宏, 佐藤觉, 山崎亨 申请人:日本微涂料株式会社