专利名称：用于供应材料的设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于供应材料的设备，更特定来说，涉及一种可蒸发和供应将要以薄膜形式沉积在衬底上的有机物质的用于供应材料的设备。
背景技术：
有机发光装置为下一代显示装置，下一代显示装置可在自身内发射光，与液晶显示器(LCD)装置的视角、对比度、响应速度、功率消耗等相比，下一代显示装置的视角、对比度、响应速度、功率消耗等都非常好。有机发光装置包括有机发光二极管，有机发光二极管以矩阵类型连接在扫描线和数据线之间并形成像素。有机发光二极管包括阳极、阴极和形成在阳极和阴极之间并具有 空穴传输层、有机发光层和电子传输层的有机薄膜层。当预定电压施加在阳极和阴极之间时，从阳极注入的空穴和从阴极注入的电子在发光层中重新组合，同时基于能差发射光。用在用于有机薄膜层的沉积工序中的有机物质不需要高蒸汽压力，而是有机物质在高温下容易分解和变性为无机物质。由于这些材料特性，因此由钨材料制成的源容器填有有机物质，且源容器被加热以蒸发有机物质，从而将常规的有机薄膜沉积在衬底上。有机发光二极管的常规制造已在与外界条件隔绝的真空条件下执行，且因而，当再次填充用于制造有机发光二极管的源材料时，必须不可避免地使设备暂停。另外，如果使用大容量源容器增加了填充量而延长了暂停周期，那么，源材料可能变质和变性，并且每次更换源容器时还需要维护设备。此外，在常规设备中，蒸发量依据源材料的消耗而改变，且因此，归因于沉积在衬底上的膜的厚度的改变，所制造的装置并不可靠。
发明内容
因此，构想出本发明来解决前述问题，且本发明的一方面是提供用于供应材料的设备，在所述设备中，源材料和用于将热供应给源材料以蒸发源材料的加热器提供在一个空间内，且根据源材料的蒸发量来调节源材料和加热器之间的距离，从而维持沉积在衬底上的有机发光二极管的恒定厚度并制造可靠的有机发光二极管。根据本发明的示范性实施例，提供用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应到面向衬底的喷射孔，所述设备包括源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在源容器中；蒸发室，蒸发室包括用于将源容器安装在其中的内部空间，且来自源容器的经蒸发源材料通过蒸发室；第一加热器，第一加热器提供在位于蒸发室内的源容器上方，且第一加热器将热供应到源容器，以蒸发容纳在源容器中的源材料；以及传递单元，传递单元使第一加热器和源容器中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。设备可进一步包括挡板，挡板提供在位于蒸发室内的第一加热器上方，且挡板拦截从所述蒸发室的外侧传递到内侧的热。设备可进一步包括冷却器，冷却器安装在蒸发室的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且冷却器冷却容纳在源容器中的源材料；以及第二加热器，第二加热器安装在蒸发室的上部中并与液体或固体源材料隔开，且第二加热器将热供应到蒸发室，以便防止通过蒸发室的经蒸发源材料相变为液态或固态。传递单元可包括杆单元，杆单元穿透蒸发室的顶部，杆单元耦合到第一加热器，且杆单元和第一加热器一起在蒸发室内上下往复运动；驱动源，驱动源供应用于使杆单元往复运动的驱动力；以及控制器，控制器连接到驱动源且控制杆单元的传递方向和速度。传递单元可包括杆单元，杆单元穿透蒸发室的底部，杆单元耦合到源容器，且杆 单元和源容器一起在蒸发室内上下往复运动；驱动源，驱动源供应用于使杆单元往复运动的驱动力；以及控制器，控制器连接到驱动源且控制杆单元的传递方向和速度。根据本发明的示范性实施例，提供用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应到面向衬底的喷射孔，所述设备包括源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在源容器的下部中，且经蒸发源材料在源容器的上部通过源容器；第一加热器，第一加热器安装在位于源容器内的固体或液体源材料上方，且第一加热器将热供应到固体或液体源材料，以蒸发源材料；以及传递单元，传递单元使第一加热器和源材料中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。设备可进一步包含挡板，挡板提供在位于源容器内的第一加热器上方，且挡板拦截从所述源容器的外侧传递到内侧的热。设备可进一步包括冷却器，冷却器安装在源容器的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且冷却器冷却容纳在源容器中的源材料；以及第二加热器，第二加热器安装在源容器的上部中并与液体或固体源材料隔开，且第二加热器将热供应到源容器，以便防止通过源容器的经蒸发源材料相变为液态或固态。传递单元可包括杆单元，杆单元穿透源容器的顶部，杆单元耦合到第一加热器，且杆单元和第一加热器一起在源容器内上下往复运动；驱动源，驱动源供应用于使杆单元往复运动的驱动力；以及控制器，控制器连接到驱动源且控制杆单元的传递方向和速度。传递单元可包括杆单元，杆单元穿透源容器的底部，杆单元接触源材料，且杆单元和源材料一起在源容器内上下往复运动；驱动源，驱动源供应用于使杆单元往复运动的驱动力；以及控制器，控制器连接到驱动源且控制杆单元的传递方向和速度。如上所述，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，源材料和用于将热供应到源材料以蒸发源材料的加热器提供在一个空间内，且根据源材料的蒸发量来调节源材料和加热器之间的距离，从而，维持沉积在衬底上的有机发光二极管的恒定厚度而不管源材料的消耗如何，并制造出可靠的有机发光二极管。而且，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，在没有媒介的情况下，热直接从第一加热器传递到源容器，以使得可通过对第一加热器的温度控制快速实现源容器中的源材料的升温反应；源材料可稳定地蒸发，以实现均匀沉积和大面积沉积；且可防止大量源材料变性。此外，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，挡板用以完全拦截从蒸发室的外侧传递到内侧的热，从而消除可影响蒸发源材料的量的外部因素。
根据结合附图进行的对示范性实施例的以下描述，本发明的以上和/或其它方面将变得显而易见且更容易理解，附图中图I为根据本发明的第一示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图；图2为展示第一加热器移动以接近图I的用于供应材料的设备中的源容器的视图。
图3为根据本发明的第二示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图；图4为根据本发明的第三示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图；以及图5为根据本发明的第四示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图。
具体实施例方式下文中将参看
根据本发明的用于供应材料的设备的示范性实施例。图I为根据本发明的第一示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图，且图2为展示第一加热器移动以接近图I的用于供应材料的设备中的源容器的视图。参看图I和图2，此示范性实施例中的用于供应材料的设备为能蒸发和供应将要以薄膜形式沉积在衬底上的有机物质的设备，所述设备包括源容器110、蒸发室120、第一加热器130、传递单元140、挡板150、冷却器160和第二加热器170。本发明提供用于制造有机发光装置(OLED)的设备，举例来说，在所述设备中，用于示范性实施例中的源材料可为有机物质。图I中所示的注射器10是与通道一起在内部形成，通道与连接管20连通，且注射器10具有喷射孔11，在注射器的末端处通过喷射孔11喷射经蒸发源材料I。此时，注射器10线性地形成，以使得喷射孔11经对准以面向衬底。此外，喷射孔11可以喷嘴的形式制成分离部分并耦合到注射器10的末端，或喷射孔11可以通孔的形式在注射器10的末端处一体模制而成。连接管20连接蒸发室120和注射器10，以使得通过稍后描述的第一加热器130蒸发的源材料I可流向注射器10。连接管20可拆卸地连接到注射器10和蒸发室120。将要沉积在衬底10上的源材料I以固态或液态容纳在源容器110中，源容器110的形状像一侧开启的气缸。举例来说，源容器110由钨材料制成，且源容器110设置在蒸发室120之下。源容器110在内部填有有机物质以作为将要沉积在衬底上的源材料I。蒸发室120具有内部空间，源容器110安装在内部空间内。在蒸发室120的内部空间之下，源容器110被设置成与蒸发室120连通。在蒸发室120的内部空间上方，形成经蒸发源材料I通过的空间。以固态或液态容纳在源容器110中的源材料I经第一加热器130加热，且经加热源材料I在蒸发室120的内部空间中被向上气化和蒸发。经蒸发源材料I通过蒸发室120且经由喷射孔11喷向衬底。源容器110可拆卸地耦合到蒸发室120。当将要沉积在衬底10上的源材料I (即，有机物质)填充在源容器110中时，暂停沉积工序，且源容器110与蒸发室120分离。此后，如果源材料I完全填充在源容器110中，那么，源容器110再次设置在蒸发室120的内部空间中，且重新开始沉积工序。向源容器110供应热以便蒸发容纳在源容器110中的源材料I的第一加热器130安装在蒸发室120内的源容器110上方。只要第一加热器130可供应蒸发源材料I的热能，第一加热器130便可具有各种形状。举例来说，可使用磁心加热器、灯加热器等等。在此示范性实施例中，磁心加热器用作第一加热器130。此时，电阻性热丝可包括Ta、W、Mo或以上物质的合金。然而，在此示范性实施例中，第一加热器130安装在与源容器110容纳源材料I的空间相同的空间中，以使得来自第一加热器130的热可在无媒介的情况下直接传递到源容器1101。因此，可通过对第一加热器130的温度控制快速实现源容器110中的源材料I的·升温反应。传递单元140在相互靠近或相互远离的方向上使第一加热器130和源容器110中的一者往复运动。在此示范性实施例中，使第一加热器130往复运动。通过传递单元140，调节源容器110与第一加热器130之间的距离，且因此有可能控制源容器110中蒸发的源材料I的量。举例来说，如果经蒸发源材料I的量较小，那么在靠近源材料I的方向上传递第一加热器130，且向源容器110供应更多的热，从而增加源容器110中蒸发的源材料I的量。另一方面，如果经蒸发源材料I的量较多，那么在远离源材料I的方向上传递第一加热器130，且向源容器110供应更少热，从而减少源容器110中蒸发的源材料I的量。根据源容器110中剩余的源材料I的量，有可能调节源容器110与第一加热器130之间的距离。如果消耗掉源材料1，且因此源容器110中剩余的源材料I的体积减小了，那么只需向源容器110供应较少的热以保持均匀的蒸发量。在这种情况下，在远离源材料I的方向上传递第一加热器130。另一方面，如果源容器110重新填有新源材料1，且源容器110中剩余的源材料I的体积增加，那么需向源容器110供应更多的热以保持均匀的蒸发量。在这种情况下，在靠近源材料I的方向上传递第一加热器130。在此示范性实施例中，传递单元140包括杆单元141、驱动源142及控制器143。杆单元141穿透蒸发室120的顶部，且耦合到第一加热器130，以使得杆单元141可连同第一加热器130 —起在蒸发室120内上下往复运动。此时，在蒸发室120中的杆单元141周围提供波纹管144，且因此防止经蒸发源材料I附着到杆单元141上。当杆单元141经安装以穿透蒸发室120的顶部时，有可能减小设备的整体尺寸。也就是说，蒸发且通过源材料I的区域与安装杆单元141的区域部分重叠，以使得可相应减小用于固定杆单元141的全冲程而额外所需的空间。驱动源142提供用于使杆单元141往复运动的驱动力。只要驱动源142可做线性往复运动，驱动源142便可配置为各种形式。举例来说，可使用所属领域的技术人员众所周知的气动缸、线性电机、回转电机与滚珠螺杆的组合及相似配置，且因此将省略对以上装置的详细描述。
控制器143连接到驱动源142且控制杆单元141的传递方向和速度。挡板150将拦截从蒸发室120外侧传递到内侧的热，挡板150安装在蒸发室120的内部空间中的第一加热器130上方。
从容纳在注射器10或连接管20中的经蒸发源材料I发射的热可经由连通过程传递到蒸发室120的内部空间。在这种情况下，可视预料之外的外部因素改变蒸发源材料I的量，对量的控制是基于第一加热器130与源材料I之间的距离或第一加热器130的温度。蒸发源材料I的量的改变直接影响有机发光二极管的厚度，并且导致有缺陷的产品。因此，挡板150用于完全拦截从蒸发室120外侧传递到内侧的热，从而消除可影响蒸发源材料I的量的外部因素。挡板150的形状像平板且与蒸发室120的内壁以预定距离间隔开。经蒸发源材料I可通过挡板150与蒸发室120的内壁之间的空间移动。冷却器160冷却容纳在源容器110中的源材料1，以防止容纳在源容器110中的源材料I由于来自第一加热器130的热而变性。冷却器160安装在源容器110的外侧以便邻近于液体或固体源材料1，且可配置为在蒸发室120下方环绕蒸发室120的外壁。冷却器160可以是能够冷却填有源材料I的源容器110的内侧的各种形式。在此示范性实施例中，使用冷却套为例。通过用流动着冷却剂的冷却通道环绕蒸发室120的外壁来配置冷却器160。第二加热器170安装在蒸发室120的上部以与液体或固体源材料I隔开，第二加热器170向蒸发室120供应热以防止通过蒸发室120的经蒸发源材料I相变到液态或固态。举例来说，第二加热器170可使用磁心加热器、灯加热器等等，且以此方式形成使得蒸发室120的上部外壁由电阻性热丝环绕。此时使用的电阻性热丝可包含Ta、W、Mo或以上物质的合金。如上所述，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，源材料及用于向源材料供应热以蒸发源材料的加热器提供在一个空间中，且根据源材料的蒸发量来调节源材料与加热器之间的距离，从而保持沉积在衬底上的有机发光二极管的恒定厚度而不管源材料的消耗如何，并制造出可靠有机发光二极管。此外，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，热在无媒介的情况下直接从第一加热器传递到源容器，以使得可通过对第一加热器的温度控制快速实现源容器中的源材料的升温反应；源材料可被稳定蒸发以实现均匀沉积和大面积沉积；且可防止大量源材料变性。进一步地，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，挡板用于完全拦截从蒸发室外侧传递到内侧的热，从而减小可影响蒸发源材料的量的外部因素。此外，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，使第一加热器而不是容纳源材料的较重源容器往复运动，以避免过度负荷的传递运动，且使具有恒定质量的第一加热器而不是质量视源材料的消耗而改变的源容器往复运动，以容易地控制传递运动。此外，在根据本发明的示范性实施例的用于供应材料的设备中，杆单元经安装成穿透蒸发室的顶部，以使得蒸发且通过源材料的区域可与安装杆单元的区域部分重叠，从而相应地减小用于固定全冲程而额外所需的空间且减小设备的整体尺寸。
图3是根据本发明的第二示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图。参看图3，根据本实施例的用于供应材料的设备200的特征在于，与其中使第一加热器130往复运动的第一示范性实施例的设备不同，设备200使源容器110往复运动。在图3中，元件具有与由图I和图2中所示的相同数字参考的元件的配置和功能相同的配置与功能，且因此将省略对这些元件的详细描述。此示范性实施例中的传递单元240使源容器110往复运动，以在相互靠近或相互远离的方向上往复地传递第一加热器130及源容器110。通过传递单元240调节源容器110与第一加热器130之间的距离而引起的影响与第一示范性实施例的影响相同，且因此将省略对此影响的详细描述。在此示范性实施例中，传递单元240包括杆单元241、驱动源242及控制器243。杆单元241穿透蒸发室120的底部，且耦合到源容器110，以使得杆单元241可连 同源容器110 —起在蒸发室120内上下往复运动。驱动源242供应用于使杆单元241往复运动的驱动力，且控制器243连接到驱动源242且控制杆单元241的传递方向和速度。图4是根据本发明的第三示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图。参看图4，根据本实施例的用于供应材料的设备300的特征在于，源容器和蒸发室不是单独提供，且源容器不仅仅容纳源材料，而是还使经蒸发源材料从中通过。此外，根据此示范性实施例的用于供应材料的设备300包括源容器310、第一加热器330、传递单元340、挡板350、冷却器360及第二加热器370。 源容器310容纳将在源容器310下部中以固态或液态沉积在衬底上的源材料I，且在源容器310上部中使经蒸发源材料I从中通过。源容器310的下部填有有机物质以作为将沉积在衬底上的源材料I。由第一加热器330加热容纳在源容器310的下部中的固体或液体源材料1，且朝向源容器310的上部气化并蒸发经加热源材料I。经蒸发源材料I通过源容器310且随后经由喷射孔11朝向衬底喷射。向源容器310供应热以便蒸发容纳在源容器310中的源材料I的第一加热器330安装在源容器310内的源材料I上方。第一加热器330的材料及功能与第一示范性实施例的第一加热器130的材料及功能相同，且因此将省略对第一加热器330的材料及功能的详细描述。传递单元340在靠近源材料I或远离源材料I的方向上使第一加热器330往复运动。通过传递单元340调节第一加热器330与源材料I之间的距离而引起的影响与第一示范性实施例的影响相同，且因此将省略对此影响的详细描述。在此示范性实施例中，传递单元340包括杆单元341、驱动源342及控制器343。杆单元341穿透源容器310的顶部，且耦合到第一加热器330，因此杆单元341可连同第一加热器330 —起在源容器310内上下往复运动。此时，在源容器310内侧的杆单元341周围提供波纹管344，且因此防止经蒸发源材料I附着到杆单元341上。驱动源342供应用于使杆单元341往复运动的驱动力，且控制器343连接到驱动源342且控制杆单元341的传递方向和速度。挡板350将拦截从源容器310外侧传递到内侧的热，挡板350安装在源容器310的内部空间中的第一加热器330上方。挡板350的功能和形状与第一示范性实施例的挡板150的功能和形状相同，且因此将省略对挡板350的功能和形状的详细描述。冷却器160冷却容纳在源容器310中的源材料1，以防止容纳在源容器110中的源材料I由于来自第一加热器330的热而变性。冷却器360经安装成环绕源容器310的下部中的源容器310的外壁，以便邻近于液体或固体源材料I。冷却器360的功能和形状与第一示范性实施例的冷却器160的功能和形状相同，且因此将省略对冷却器360的功能和形状的详细描述。第二加热器370向源容器310供应热，以防止通过源容器310的经蒸发源材料I相变到液态或固态，第二加热器370安装在源容器310的上部中，且与液体或固体源材料I隔开。第二加热器370的功能和形状与第一示范性实施例的第二加热器170的功能和形 状相同，且因此将省略对第二加热器370的功能和形状的详细描述。图5是根据本发明的第四示范性实施例的用于供应材料的设备的示意图。参看图5，根据此示范性实施例的用于供应材料的设备400的特征在于，往复地传递源材料I，这与其中往复地传递第一加热器330的第三示范性实施例形成对比。在图5中，元件具有与由图4中所示的相同数字参考的元件的配置和功能相同的配置与功能，且因此将省略对这些元件的详细描述。此示范性实施例中的传递单元440使源材料I往复运动，以在相互靠近I或相互远离的方向上往复地传递第一加热器330及源材料I。通过传递单元440调节第一加热器330与源材料I之间的距离而引起的影响与第一示范性实施例的影响相同，且因此将省略对此影响的详细描述。在此示范性实施例中，传递单元440包括杆单元441、驱动源442及控制器443。杆单元441穿透源容器310的底部且接触源材料I。杆单元441连同源材料I 一起在源容器310内被上下往复地传递。驱动源442供应用于使杆单元441往复运动的驱动力，且控制器443连接到驱动源442且控制杆单元441的传递方向和速度。尽管已展示和描述了本发明的一些示范性实施例，但是所属领域的技术人员应了解，可在这些实施例中进行改变，而不脱离本发明的原理及精神，在所附权利要求书及所附权利要求书的等效物中界定了本发明的范围。
权利要求
1.ー种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应给面向所述衬底的喷射孔，所述设备包含 源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在所述源容器中； 蒸发室，所述蒸发室包含用于将所述源容器安装在其中的内部空间，且来自所述源容器的所述经蒸发源材料通过所述蒸发室； 第一加热器，所述第一加热器提供在位于所述蒸发室内的所述源容器上方，且所述第一加热器将热供应到所述源容器，以蒸发容纳在所述源容器中的所述源材料；以及 传递单元，所述传递単元使所述第一加热器和所述源容器中的一者在与另ー者接近或与另ー者远离的方向上往复运动。
2.根据权利要求I所述的设备，其特征在于，所述设备进ー步包含挡板，所述挡板提供在位于所述蒸发室内的所述第一加热器上方，且所述挡板拦截从所述蒸发室的外侧传递到 内侧的热。
3.根据权利要求I所述的设备，其特征在于，所述设备进ー步包含 冷却器，所述冷却器安装在所述蒸发室的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且所述冷却器冷却容纳在所述源容器中的源材料；以及 第二加热器，所述第二加热器安装在所述蒸发室的上部中并与所述液体或固体源材料隔开，且所述第二加热器将热供应到所述蒸发室，以便防止通过所述蒸发室的所述经蒸发源材料相变为液态或固态。
4.根据权利要求I所述的设备，其特征在于，所述传递単元包含 杆单元，所述杆单元穿透所述蒸发室的顶部，所述杆单元耦合到所述第一加热器，且所述杆单元和所述第一加热器一起在所述蒸发室内上下往复运动； 驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动カ；以及 控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。
5.根据权利要求I所述的设备，其特征在于，所述传递単元包含 杆单元，所述杆单元穿透所述蒸发室的底部，所述杆单元耦合到所述源容器，且所述杆単元和所述源容器一起在所述蒸发室内上下往复运动； 驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动カ；以及 控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。
6.ー种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应给面向所述衬底的喷射孔，所述设备包含 源容器，将要沉积在衬底上的所述源材料以固态或液态容纳在所述源容器的下部中，且所述经蒸发源材料在所述源容器的上部中通过所述源容器； 第一加热器，所述第一加热器安装在位于所述源容器内的所述固体或液体源材料上方，且所述第一加热器将热供应到所述固体或液体源材料，以蒸发所述源材料；以及 转移单元，所述转移単元使所述第一加热器和所述源材料中的一者在与另ー者接近或与另ー者远离的方向上往复运动。
7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备进ー步包含挡板，所述挡板提供在位于所述源容器内的所述第一加热器上方，且所述挡板拦截从所述源容器的外侧传递到内侧的热。
8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备进ー步包含 冷却器，所述冷却器安装在所述源容器的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且所述冷却器冷却容纳在所述源容器中的源材料；以及 第二加热器，所述第二加热器安装在所述源容器的上部中并与所述液体或固体源材料隔开，且所述第二加热器将热供应到所述源容器，以便防止通过所述源容器的所述经蒸发源材料相变为液态或固态。
9.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述传递単元包含 杆单元，所述杆单元穿透所述源容器的顶部，所述杆单元耦合到所述第一加热器，且所述杆单元和所述第一加热器一起在所述源容器内上下往复运动； 驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动カ；以及 控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。
10.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述传递単元包含 杆单元，所述杆单元穿透所述源容器的底部，所述杆单元接触所述源材料，且所述杆单元和所述源材料一起在所述源容器内上下往复运动； 驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动カ；以及 控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。
全文摘要
本发明揭示一种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应到面向衬底的喷射孔，所述设备包括源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在源容器中；蒸发室，蒸发室包括用于将源容器安装在其中的内部空间，且来自源容器的经蒸发源材料通过蒸发室；第一加热器，第一加热器提供在位于蒸发室内的源容器上方，且第一加热器将热供应到源容器，以蒸发容纳在源容器中的源材料；以及传递单元，传递单元使第一加热器和源容器中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。
文档编号C23C14/24GK102732841SQ20121012033
公开日2012年10月17日 申请日期2012年4月13日 优先权日2011年4月13日
发明者安祐正, 宋基哲, 赵晃新, 郑胜哲 申请人:韩商Snu精密股份有限公司