带可旋转挡板的观察窗的制作方法

文档序号:3266639阅读:220来源:国知局
专利名称:带可旋转挡板的观察窗的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种真空室观察窗,尤其涉及一种带可旋转挡板的观察窗。
背景技术
在真空镀膜过程中,操作者需要通过观察窗观察真空室内情况,控制镀膜过程。镀膜时,膜料会不断附着在观察窗的挡玻璃上,阻挡视线。不带挡板的观察窗,挡玻璃需要经常更换,既浪费又影响效率。现有技术中的带挡板的观察窗多数仅适用于箱式真空室,而用于钟罩式真空室的带挡板的观察窗往往观察角度不够广。
发明内容·[0004]本实用新型的目的是提供一种能够延长挡玻璃的使用寿命、且观察角度广的带可旋转挡板的观察窗。本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的本实用新型的带可旋转挡板的观察窗,该观察窗设于真空室的侧壁上,包括观察窗玻璃、挡玻璃,所述观察窗玻璃的中部固定有轴座,所述轴座上设有轴,所述轴的前端穿过所述挡玻璃,且所述轴的前端装有挡板,所述挡板上设有观察孔,所述轴的后端设有手钮。由上述本实用新型提供的技术方案可以看出,本实用新型提供的带可旋转挡板的观察窗,由于观察窗玻璃的中部固定有轴座,轴座上设有轴,轴的前端穿过所述挡玻璃,且轴的前端装有挡板,挡板上设有观察孔,轴的后端设有手钮。转动挡板时,操作者可以通过观察孔观察真空室内情况,所以挡玻璃仅在挡板的观察孔处受到污染,能够延长挡玻璃的使用寿命,且观察角度较广。

图I为本实用新型实施例提供的带可旋转挡板的观察窗的结构示意图;图2为本实用新型实施例中挡板的结构示意图;图3为本实用新型实施例中屏蔽筒的结构示意图。图中1、挡板,2、卡圈,3、挡玻璃,4、观察窗玻璃,5、有机玻璃垫,6、压盖,7、轴座,
8、手钮,9、轴,10、椭圆孔,11、屏蔽筒,12、通孔,13、凸起部。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述。本实用新型的带可旋转挡板的观察窗,其较佳的具体实施方式
是该观察窗设于真空室的侧壁上,包括观察窗玻璃、挡玻璃,所述观察窗玻璃的中部固定有轴座,所述轴座上设有轴,所述轴的前端穿过所述挡玻璃,且所述轴的前端装有挡板,所述挡板上设有观察孔,所述轴的后端设有手钮。所述观察孔为椭圆孔或圆孔或多边形孔。当所述真空室为钟罩式真空室时,所述真空室内设有屏蔽筒,所述屏蔽筒的侧壁对应所述观看窗的位置设有通孔,所述通孔的边缘部位对应所述观察孔的部位设有凸起部。本实用新型的带可旋转挡板的观察窗适用于各类真空室,且观察角度较广,配合特殊的屏蔽筒结构,在不需要观察的时候还能实现挡玻璃零污染。具体实施例如图I所示,是带可旋转挡板的观察窗结构,端盖I用螺钉固定在真空室上,将观察窗玻璃4和有机玻璃垫5夹紧,观察窗玻璃4和有机玻璃垫5中间开有圆孔,轴座7穿过圆孔,并用两个螺母固定在观察窗玻璃4和有机玻璃垫5上,轴9从轴座7和中间开孔的挡玻璃3中穿过,用螺钉与挡板I固定。轴9与轴座7间有轴承,轴9通过两个油封与轴座7密封。转动手钮8,挡板I会随着一起转动。如图2所示,挡板I上开有椭圆孔10,转动挡板I时,操作者通过椭圆孔10观察真空室内情况,所以挡玻璃3仅在挡板I的椭圆孔10处受到污染。如图3所示,是该观察窗可以配套使用的屏蔽筒11结构,屏蔽筒11上通孔12的边缘部位设有凸起部13,当不需要观察时,将挡板I的椭圆孔10旋转至下方,该孔即被屏蔽筒11上的凸起部13遮挡,挡玻璃3就不会受到污染。以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式
,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
权利要求1.一种带可旋转挡板的观察窗,该观察窗设于真空室的侧壁上,包括观察窗玻璃、挡玻璃,其特征在于,所述观察窗玻璃的中部固定有轴座,所述轴座上设有轴,所述轴的前端穿过所述挡玻璃,且所述轴的前端装有挡板,所述挡板上设有观察孔,所述轴的后端设有手钮。
2.根据权利要求I所述的带可旋转挡板的观察窗,其特征在于,所述观察孔为椭圆孔或圆孔或多边形孔。
3.根据权利要求I或2所述的带可旋转挡板的观察窗,其特征在于,所述真空室为钟罩式真空室,所述真空室内设有屏蔽筒,所述屏蔽筒的侧壁对应所述观看窗的位置设有通孔,所述通孔的边缘部位对应所述观察孔的部位设有凸起部。
专利摘要本实用新型公开了一种带可旋转挡板的观察窗,该观察窗设于真空室的侧壁上,包括观察窗玻璃、挡玻璃,观察窗玻璃的中部固定有轴座,轴座上设有轴,轴的前端穿过挡玻璃,且轴的前端装有挡板,挡板上设有观察孔,轴的后端设有手钮。用于钟罩式真空室时,真空室内的屏蔽筒上通孔的边缘部位设有凸起部。转动挡板时,操作者可以通过观察孔观察真空室内情况,所以挡玻璃仅在挡板的观察孔处受到污染,能够延长挡玻璃的使用寿命。适用于各类真空室,且观察角度较广,配合屏蔽筒结构,在不需要观察的时候还能实现挡玻璃零污染。
文档编号C23C14/52GK202499903SQ20122010256
公开日2012年10月24日 申请日期2012年3月16日 优先权日2012年3月16日
发明者朱秀明, 贺伊明 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司
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