专利名称：一种pecvd射频电极接头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电极接头技术领域，特别涉及一种PECVD射频电极接头。
背景技术：
在半导体工业制造中，生产芯片、处理器等半导体器件、薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器过程中，都要用到射频电源。射频电源是产生等离子体的配套电源，主要由射频功率源和阻抗匹配器组成，广泛应用于溅射镀膜，PECVD (化学气相沉积)，反应离子刻蚀等 设备中。化学气相沉积(PECVD)制备Si基薄膜太阳电池过程中采用射频电源提供高频电信号产生等离子体，反应后生成非晶硅薄膜。射频电源经匹配器后与设备通过接头连接，射频电极接头必须有良好接触，以减少功率反射，同时电极接头外套筒须接地。常用电极接头连接方式如图I和图2所示，I为压杆，2为压块，3为接地金属套，4为金属连接杆，5为绝缘层，其中压杆I和接地金属套3由一种金属材料制成，压块2和金属连接杆4由另一种金属材料制成，绝缘层5由绝缘材料制成。目前设备中采用的是以压杆I挤压压块2，从而达到电极接头(插口和接口接地端)接地良好的目的。上述方式接头在实际应用过程中常有连接不好(压杆磨损或压块变形)以至射频电极无法正常工作，影响到产品质量及产能；同时由于接头接连操作步骤多还影响到生产效率提高。因此，如何提供一种PECVD射频电极接头，能够提高射频电极接地连接稳定性，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种PECVD射频电极接头，能够提高射频电极接地连接稳定性。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种PECVD射频电极接头，包括电极接口，所述电极接口包括具有插槽结构的电极接口本体，所述电极接口本体的内壁嵌设有定位滚珠，所述电极接口本体的外壁上套设有电极接口滑动座，所述电极接口滑动座上开设有用于同所述定位滚珠配合的第一凹槽，且所述电极接口滑动座的一侧通过弹簧连接于所述电极接口本体，所述弹簧能够提供沿轴向远离所述插槽的槽底方向的回复力；电极插口，包括具有用于同所述插槽结构配合的插头结构的电极插口本体，所述电极插口本体还具有用于同所述电极接口滑动座与所述弹簧相对一侧相抵的底座结构，且所述插头结构的外壁上开设有用于同所述定位滚珠配合的第二凹槽。优选的，所述第一凹槽和所述第二凹槽均为半球形凹槽。优选的，所述半球形凹槽的边缘部分倒有圆角。优选的，所述定位滚珠具体为金属滚珠。[0014]优选的，所述定位滚珠具体为定位钢珠。优选的，所述电极接口本体上设置有用于防止所述电极接口滑动座脱离的卡簧。优选的，所述电极接口本体的所述插槽结构内和所述电极插口本体的所述插头结构上分别设置有用于传递高频电信号的电极接口连接部和电极插口连接槽。优选的，所述电极插口连接槽内设置有弹性件。优选的，所述弹性件具体为三片金属弹片。优选的，所述插槽结构的内壁和所述插头结构的外壁上的相应部分分别具有相互配合的锥形面。从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的PECVD射频电极接头，通过在电 极接口内壁嵌设有定位滚珠，在使用时只需要移动电极接口滑动座，待电极插口的接头结构插入到电极接口的插槽结构中，利用弹簧的回复力，促使电极接口滑动座往回滑动直至被电极插口的底座结构抵住，同时压迫定位滚珠进入到电极插口外壁上的第二凹槽中并与之夹紧，从而实现对电极接口和电极插口的定位，完成PECVD射频电极接头的连接；该装置在固定电极接头的同时保证电极接口与电极插口金属外套管有良好接触，能够提高射频电极接地连接稳定性及Si基薄膜太阳电池生产效率。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有技术中常用的电极接头的正视简图；图2为图I的侧视简图；图3为本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头的爆炸结构示意图。其中，图I和图2中，I为压杆，2为压块，3为接地金属套，4为金属连接杆，5为绝
缘层；图3中，11为电极接口本体，12为电极接口滑动座，13为电极接口连接部，14为定位滚珠，15为卡簧，16为弹簧，17为接口绝缘层，18为金属弹片，19为电极插口本体，20为
插口绝缘层。
具体实施方式
本实用新型公开了一种PECVD射频电极接头，能够提高射频电极接地连接稳定性。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图3，图3为本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头的爆炸结构示意图。[0030]本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头，其核心改进点在于，包括电极接口，电极接口包括具有插槽结构的电极接口本体11，电极接口本体11的内壁嵌设有定位滚珠14，其上设置有相应的通孔，电极接口本体11的外壁上套设有电极接口滑动座12，电极接口滑动座12上开设有用于同定位滚珠14配合的第一凹槽，且电极接口滑动座12的一侧通过弹簧16连接于电极接口本体1，弹簧16能够提供沿轴向远离插槽的槽底方向的回复力；电极插口，包括具有用于同插槽结构配合的插头结构的电极插口本体19，电极插口本体19还具有用于同电极接口滑动座12与弹簧16相对一侧相抵的底座结构，且插头结构的外壁上开设有用于同定位滚珠14配合的第二凹槽。上述的电极接口和电极插口分别用于同需要连接的不同部件相连，其连接方式具 体可以采用套接或者螺纹连接。现举实例并结合图3对本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头的结构及各部分功能做详细描述。拨动电极接口滑动座12，电极接口滑动座12将从初始状态开始压缩弹簧16，同时沿水平方向向左侧移动；当电极接口滑动座12移动到一定位置时，定位滚珠14部分将进入电极接口滑动座12的第一凹槽中，接着将电极插口沿水平方向缓慢移动到电极接口中，定位滚珠14将沿电极插口本体19的外轮廓滚动，当电极插口无法移动时松开电极接口滑动座12，弹簧16恢复到初始状态，定位滚珠14将在电极接口滑动座12的挤压下进入到电极插口本体19外轮廓的第二凹槽中并与之夹紧。从上述的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头，通过在电极接口内壁嵌设有定位滚珠14，在使用时只需要移动电极接口滑动座12，待电极插口的接头结构插入到电极接口的插槽结构中，利用弹簧16的回复力，促使电极接口滑动座12往回滑动直至被电极插口的底座结构抵住，同时压迫定位滚珠14进入到电极插口外壁上的第二凹槽中并与之夹紧，从而实现对电极接口和电极插口的定位，完成PECVD射频电极接头的连接；该装置在固定电极接头的同时保证电极接口与电极插口金属外套管有良好接触，能够提高射频电极接地连接稳定性及Si基薄膜太阳电池生产效率。作为优选，第一凹槽和第二凹槽均为半球形凹槽，用于同定位滚珠14的球形结构相配合，能够达到更加良好的定位效果。当然，还可以根据实际使用情况选用其他结构比如方形的凹槽，对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，在此不再赘述。为了进一步方便定位滚珠14在电极插口本体19外轮廓的滚动，上述半球形凹槽的边缘部分倒有圆角，方便了使用时的插接，同时减少了零部件之间的摩擦，进而延长了整个装置的使用寿命。作为优选，本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头，定位滚珠14具体为金属滚珠，具有较高的强度，保证了接头连接的可靠性。进一步的，所述定位滚珠14具体为定位钢珠。当然，本领域技术人员可以根据实际情况对定位滚珠14的具体材料进行相应的调整，在此不再赘述。如图3所示，电极接口本体11上设置有用于防止电极接口滑动座12脱离的卡簧15，在这里卡簧15具体为环设在电极接口本体11外壁上的限位结构，电极接口滑动座12与卡簧15相对的一侧开设有同卡簧15限位结构相配合的凹槽，能够避免电极接口滑动座12被弹簧16推离接口，保证了整个装置的稳定性和可靠性。本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头，电极接口本体11的插槽结构内和电极插口本体19的插头结构上分别设置有用于传递高频电信号的电极接口连接部13和电极插口连接槽，进一步提高了该电极接头连接的稳定性。电极接口本体11、电极接口滑动座12、为电极接口连接部13、电极插口本体19和电极插口连接槽均为由金属材料制成，为了保护了电极接口内部用于传递高频电信号的元件，在电极接口和电极插口内还分别设置有接口绝缘层17和插口绝缘层20，在本实施例中，接口绝缘层17具体由陶瓷材料制成，插口绝缘层20具体由塑料材料制成。为了进一步优化上述的技术方案，电极插口连接槽内设置有弹性件，以保证与接口本体插头接触良好。作为优选，弹性件具体为三片金属弹片18，均匀分布在电极插口连接槽内。当然，在此只是给出了一个优选的实施例，弹性件的具体形式及使用的数量并不仅仅局限于此，对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，在此不再赘述。插槽结构的内壁和插头结构的外壁上的相应部分分别具有相互配合的锥形面，用于在插接时起到引导作用，同时保证了连接后的稳定性。综上所述，本实用新型实施例提供的PECVD射频电极接头，采用与气路和水路连接常用的快接头相结合的方式来实现PECVD射频电极接头连接，该装置在固定电极接头的同时保证接口与插口金属外套管有良好接触，能够提高射频电极接地连接稳定性及Si基薄膜太阳电池生产效率。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种PECVD射频电极接头，其特征在于，包括 电极接口，所述电极接口包括具有插槽结构的电极接口本体(11)，所述电极接口本体(11)的内壁嵌设有定位滚珠(14)，所述电极接口本体(11)的外壁上套设有电极接口滑动座(12)，所述电极接口滑动座(12)上开设有用于同所述定位滚珠(14)配合的第一凹槽，且所述电极接口滑动座(12)的一侧通过弹簧(16)连接于所述电极接口本体(1)，所述弹簧(16)能够提供沿轴向远离所述插槽的槽底方向的回复力； 电极插口，包括具有用于同所述插槽结构配合的插头结构的电极插口本体(19)，所述电极插口本体(19)还具有用于同所述电极接口滑动座(12)与所述弹簧(16)相对一侧相抵的底座结构，且所述插头结构的外壁上开设有用于同所述定位滚珠(14)配合的第二凹槽。
2.根据权利要求I所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽均为半球形凹槽。
3.根据权利要求2所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述半球形凹槽的边缘部分倒有圆角。
4.根据权利要求I所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述定位滚珠(14)具体为金属滚珠。
5.根据权利要求4所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述定位滚珠(14)具体为定位钢珠。
6.根据权利要求I所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述电极接口本体(11)上设置有用于防止所述电极接口滑动座(12 )脱离的卡簧(15 )。
7.根据权利要求I所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述电极接口本体(11)的所述插槽结构内和所述电极插口本体(19)的所述插头结构上分别设置有用于传递高频电信号的电极接口连接部(13)和电极插口连接槽。
8.根据权利要求7所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述电极插口连接槽内设置有弹性件。
9.根据权利要求8所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述弹性件具体为三片金属弹片(18)。
10.根据权利要求1-9的任意一项所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述插槽结构的内壁和所述插头结构的外壁上的相应部分分别具有相互配合的锥形面。
专利摘要本实用新型公开了一种PECVD射频电极接头，通过在电极接口内壁嵌设有定位滚珠，在使用时只需要移动电极接口滑动座，待电极插口的接头结构插入到电极接口的插槽结构中，利用弹簧的回复力，促使电极接口滑动座往回滑动直至被电极插口的底座结构抵住，同时压迫定位滚珠进入到电极插口外壁上的第二凹槽中并与之夹紧，从而实现对电极接口和电极插口的定位，完成PECVD射频电极接头的连接；该装置在固定电极接头的同时保证电极接口与电极插口金属外套管有良好接触，能够提高射频电极接地连接稳定性及Si基薄膜太阳电池生产效率。
文档编号C23C16/505GK202786425SQ20122038401
公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月3日 优先权日2012年8月3日
发明者吕勇, 刘俊峰, 陈健健, 魏雪林, 李先林, 孟龙 申请人:海南汉能光伏有限公司