用于正被机加工的工件的探针的测量头的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种用于正被机加工的工件(3)的探针(2)的测量头(1)，所述测量头(1)包括：固定部分(10)，所述固定部分被紧固到外部固定支撑件；活动部分(11)，所述活动部分包括用于探针臂(4)的约束元件(14)；旋转铰链(12)，所述旋转铰链适于将所述固定部分(10)连接到所述活动部分(11)，其特征在于，所述旋转铰链(12)是由适于弹性变形的金属元件制成的柔性枢转式支承件，所述旋转铰链包括圆筒形腔(12b)和多个托板(12a)，多个所述托板穿过所述圆筒形腔(12b)并限定多个筒形扇部(12c)，所述旋转铰链与所述固定部分(10)和所述活动部分(11)中的至少一个成一体结构。2.如权利要求1所述的测量头(1)，其中，所述旋转铰链(12)、固定部分(10)和活动部分(11)成一体结构。3.如权利要求1所述的测量头(1)，其中，多个所述托板(12a)的数量为两个，两个所述托板基本上相互垂直并且基本上完全穿过所述圆筒形腔(12b)。4.如权利要求2所述的测量头(1)，其中，多个所述托板(12a)的数量为两个，两个所述托板基本上相互垂直并且基本上完全穿过所述圆筒形腔(12b)。5.如权利要求1-4中任一项所述的测量头(1)，其中，两个凹槽(12d)存在于所述旋转铰链(12)处，所述两个凹槽适于将所述固定部分(10)的靠近圆筒形腔(12a)的部分与所述活动部分(11)的靠近圆筒形腔(12a)的部分隔开，并且适于使得所述固定部分(10)和活动部分(11)能够相互进行角位移。6.一种用于制造如权利要求1-5中任一项所述的测量头(1)的方法，所述方法包括排屑加工步骤和电火花加工步骤，在所述电火花加工步骤中形成至少所述旋转铰链(12)。7.如权利要求6所述的方法，其中，所述电火花加工步骤通过电火花线切割加工实现。8.如权利要求6所述的方法，其中，所述旋转铰链(12)是由适于弹性变形的金属元件制成的柔性枢转式支承件，并且所述柔性枢转式支承件包括圆筒形腔(12b)和多个托板(12a)，多个所述托板穿过所述圆筒形腔(12b)并且限定了多个筒形扇部(12c)，在所述排屑加工步骤中，至少在所述筒形扇部(12c)之一处形成贯通孔(18)，在所述电火花加工步骤中，机加工所述贯通孔(18)以获得所述筒形扇部(12c)。9.如权利要求7所述的方法，其中，所述旋转铰链(12)是由适于弹性变形的金属元件制成的柔性枢转式支承件，并且所述柔性枢转式支承件包括圆筒形腔(12b)和多个托板(12a)，多个所述托板穿过所述圆筒形腔(12b)并且限定了多个筒形扇部(12c)，在所述排屑加工步骤中，至少在所述筒形扇部(12c)之一处形成贯通孔(18)，在所述电火花加工步骤中，机加工所述贯通孔(18)以获得所述筒形扇部(12c)。10.如权利要求6-9中任一项所述的方法，其中，所述测量头(1)包括在所述固定部分(10)和所述活动部分(11)之间的腔室(19)，通过所述电火花加工步骤制成所述腔室(19)。