Mocvd自动控制器的制造方法
【专利摘要】MOCVD自动控制器，由权限控管模块、资料收集模块、控制接口、设备接口、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集模块，集成面板的一侧下部设置程序控制模块，集成面板的另一侧上部设置权限控管模块，集成面板的另一侧下部设置命令执行模块，外部控制器通过馈线与控制接口相连接，MOCVD设备通过馈线与设备接口相连接，本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。
【专利说明】MOCVD自动控制器
【技术领域】
[0001]本发明属于晶体生长设备【技术领域】，更具体的说是一种MOCVD自动控制器。
【背景技术】
[0002]目前，MOCVD的自动化需通过开发者的半导体通讯协定SECS与上层系统进行通讯，相关的功能开发与维护费用相当庞大，开发成本较高，现有技术的自动化控制系统层级繁多，问题厘清较困难，MOCVD设备结构设计较独立，与生产系统无法沟通，无法串连相关生产资讯，且现有MOCVD自动化控制技术的较不成熟，无法确切地解决生产的根本问题，使MOCVD自动化遇到了发展的瓶颈。
【发明内容】
[0003]为了解决上述问题，本发明提供了一种开发成本较低、控制精度较高、系统控制的相关功能能够适应生产要求的MOCVD自动控制器，其具体方案为:所述的MOCVD自动控制器由权限控管模块、资料收集模块、控制接□、设备接□、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集模块，集成面板的一侧下部设置程序控制模块，集成面板的另一侧上部设置权限控管模块，集成面板的另一侧下部设置命令执行模块，外部控制器通过馈线与控制接口相连接，MOCVD设备通过馈线与设备接口相连接。
[0004]本发明所述的权限控管模块，其特征在于权限控管模块与资料收集模块通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。
[0005]本发明所述的资料收集模块，其特征在于资料收集模块与程序控制模块通过数据线相连接，通过程序控制模块收集、传输MOCVD设备的相关数据资料。
[0006]本发明所述的命令执行模块，其特征在于命令执行模块与程序控制模块通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块。
[0007]本发明所述的程序控制模块，其特征在于程序控制模块与资料收集模块通过数据线相连接，通过资料收集模块获取MOCVD设备的数据，结合命令执行模块选择的作业程序驱动MOCVD设备作业。
[0008]本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]附图1是本发明的结构示意图；附图1中:
1.权限控管模块，2.资料收集模块，3.控制接口，4.设备接口，5.外部控制器，6.MOCVD设备，7.命令执行模块，8.集成面板，9.程序控制模块。【具体实施方式】
[0010]结合附图1对本发明进一步详细描述，以便公众更好地掌握本发明的实施方法，本发明具体的实施方案为:所述的MOCVD自动控制器由权限控管模块1、资料收集模块2、控制接口 3、设备接口 4、外部控制器5、MOCVD设备6、命令执行模块7、集成面板8、程序控制模块9组成，其特征是集成面板8的一端上侧设置控制接口 3，控制接口 3的下侧设置设备接口 4，集成面板8的一侧上部设置资料收集模块2，集成面板8的一侧下部设置程序控制模块9，集成面板8的另一侧上部设置权限控管模块1，集成面板8的另一侧下部设置命令执行模块7，外部控制器5通过馈线与控制接口 3相连接，MOCVD设备6通过馈线与设备接口 4相连接。
[0011]本发明所述的权限控管模块1，其特征在于权限控管模块I与资料收集模块2通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。
[0012]本发明所述的资料收集模块2，其特征在于资料收集模块2与程序控制模块9通过数据线相连接，通过程序控制模块9收集、传输MOCVD设备6的相关数据资料。
[0013]本发明所述的命令执行模块7，其特征在于命令执行模块7与程序控制模块9通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块9。
[0014]本发明所述的程序控制模块9，其特征在于程序控制模块9与资料收集模块2通过数据线相连接，通过资料收集模块2获取MOCVD设备6的数据，结合命令执行模块7选择的作业程序驱动MOCVD设备6作业。
[0015]本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要 求。
【权利要求】
1.MOCVD自动控制器，由权限控管模块(I)、资料收集模块(2 )、控制接口( 3 )、设备接口(4)、外部控制器(5)、MOCVD设备(6)、命令执行模块(7)、集成面板(8)、程序控制模块(9)组成，其特征是集成面板(8)的一端上侧设置控制接口(3)，控制接口(3)的下侧设置设备接口(4)，集成面板(8)的一侧上部设置资料收集模块(2)，集成面板(8)的一侧下部设置程序控制模块(9)，集成面板(8)的另一侧上部设置权限控管模块(1)，集成面板(8)的另一侧下部设置命令执行模块(7)，外部控制器(5)通过馈线与控制接口(3)相连接，MOCVD设备(6)通过馈线与设备接口(4)相连接。
2.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于权限控管模块(I)与资料收集模块(2 )通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。
3.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于资料收集模块(2)与程序控制模块(9)通过数据线相连接，通过程序控制模块(9)收集、传输MOCVD设备(6)的相关数据资料。
4.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于命令执行模块(7)与程序控制模块(9 )通过数据 线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块(9 )。
5.根据权利要求1所述的MOCVD自动控制器，其特征在于程序控制模块(9)与资料收集模块(2)通过数据线相连接，通过资料收集模块(2)获取MOCVD设备(6)的数据，结合命令执行模块(7)选择的作业程序驱动MOCVD设备(6)作业。
【文档编号】C23C16/18GK103451629SQ201310408518
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2013年9月10日 优先权日:2013年9月10日
【发明者】叶益修, 邓顺达, 林溪汉 申请人:冠铨（山东）光电科技有限公司