一种卧式多弧镀膜室的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，所述安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。上述结构的卧式多弧镀膜室，由于弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内，因此在镀膜过程中镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后受到伸长的安装内壁的阻挡不会溅落到弧源头中，不会造成弧源头内金属块和屏蔽罩之间的短路，从而不会影响镀膜室的正常镀膜作业。
【专利说明】—种卧式多弧镀膜室
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种卧式多弧镀膜室。
【背景技术】
[0002]现有技术中的卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，上述现有技术中的卧式多弧镀膜室，弧源安装孔的安装内壁是焊接在镀膜室罐体内壁上的，在镀膜过程中镀膜室罐体内存在粉尘，粉尘溅落下来容易落入到弧源头内的金属块和屏蔽罩之间造成镀膜过程中的短路，影响镀膜室的正常工作。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种镀膜时镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后不会落入到弧源头中，进而不会因为粉尘污染造成镀膜过程中短路而影响镀膜室正常工作的卧式多弧镀膜室。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，所述安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。
[0005]作为本实用新型的进一步改进，仅是位于所述镀膜室罐体下部壁上的弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。
[0006]采用上述结构的卧式多弧镀膜室，由于弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内，因此在镀膜过程中镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后受到伸长的安装内壁的阻挡不会溅落到弧源头中，不会造成弧源头内金属块和屏蔽罩之间的短路，从而不会影响镀膜室的正常镀膜作业。由于粉尘的溅落方向主要是由上至下，位于镀膜室罐体上部壁上的弧源安装孔内不易落入灰尘，因此仅是位于所述镀膜室罐体下部壁上的弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内，这样的结构可以进一步节省加工弧源安装孔的材料，起到降低生产成本的目的。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]下面结合附图对本实用新型作进一步地详细说明。
[0008]图1是本实用新型一种卧式多弧镀膜室的主视结构示意图。
[0009]图2是本实用新型一种卧式多弧镀膜室的侧视局剖结构示意图。
[0010]图3是图2中I处(弧源安装孔)的放大结构示意图。[0011]图4是现有技术中卧式多弧镀膜室的弧源安装孔的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]参见图1 一图3，本实用新型一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体1，镀膜室罐体
I具有外壁2、中间冷却套层3和内壁4，镀膜室罐体I的上、下部壁上均布装有弧源安装孔
5、6，镀膜室罐体I底部具有安装支架10，弧源安装孔5、6包括与所述镀膜室罐体I外壁2相连的安装外壁7、与所述镀膜室罐体I内壁4相连的安装内壁9及与所述镀膜室罐体I中间冷却套层3相连通的安装套层8，所述安装内壁9伸出所述镀膜室罐体I内壁4且伸入到镀膜室罐体I内。本实用新型也可以采用仅是位于所述镀膜室罐体I下部壁上的弧源安装孔6的安装内壁9伸出所述镀膜室罐体I内壁4且伸入到镀膜室罐体I内。
[0013]图4示出了现有技术中卧式多弧镀膜室的弧源安装孔的结构示意图，现有技术中卧式多弧镀膜室的弧源安装孔结构包括与镀膜室罐体外壁2,相连的安装外壁7,、与镀膜室罐体内壁4'相连的安装内壁9'及与所述镀膜室罐体中间冷却套层3'相连通的安装套层8'，弧源安装孔的安装内壁9'是焊接在镀膜室罐体内壁4'上的，在镀膜过程中镀膜室罐体内存在粉尘，粉尘溅落下来容易落入到弧源头内的金属块和屏蔽罩之间造成镀膜过程中的短路。
【权利要求】
1.一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体(1)，镀膜室罐体(I)具有外壁(2)、中间冷却套层(3)和内壁(4)，镀膜室罐体(I)的上、下部壁上均布装有弧源安装孔(5、6)，镀膜室罐体(I)底部具有安装支架(10 )，弧源安装孔(5、6 )包括与所述镀膜室罐体(I)外壁(2 )相连的安装外壁(7)、与所述镀膜室罐体(I)内壁(4)相连的安装内壁(9)及与所述镀膜室罐体(I)中间冷却套层(3)相连通的安装套层(8)，其特征在于:所述安装内壁(9)伸出所述镀膜室罐体(I)内壁(4)且伸入到镀膜室罐体(I)内。
2.按照权利要求1所述的卧式多弧镀膜室，其特征在于:仅是位于所述镀膜室罐体(I)下部壁上的弧源安装孔(6)的安装内壁(9)伸出所述镀膜室罐体(I)内壁(4)且伸入到镀膜室罐体(I)内。
【文档编号】C23C14/32GK203451610SQ201320587323
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年9月24日 优先权日:2013年9月24日
【发明者】关秉羽 申请人:辽宁北宇真空科技有限公司