双室四门真空镀膜的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种双室四门真空镀膜机，包括并联设置的第一真空室和第二真空室，第一真空室上设有第一门机构和第二门机构，第二真空室上设有第三门机构和第四门机构，第一真空室和第二真空室同时连接低真空抽气组，第一真空室和第二真空室还同时连接高真空抽气组。本双室四门蒸发镀膜机结构简单而紧凑，设备成本较低，另外采用双室四门交替工作的加工形式，其镀膜效率得到较大的提高；两个真空室共用一套低真空抽气组和一套高真空抽气组，可通过程序控制错开进行工作，减少低真空抽气组和高真空抽气组的待机时间，提高抽气机组的使用效率，相应降低单位产品的生产能耗。
【专利说明】双室四门真空镀膜机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蒸发镀膜【技术领域】，特别涉及一种双室四门真空镀膜机。
【背景技术】
[0002]蒸发镀膜机是玻璃镀膜生产线的常用设备，传统的蒸发镀膜机一般为单真空室结构，为了提高其生产效率，目前也有在真空室上设置双门结构的，通过两个门体的交替使用来提高镀膜效率。然而，在实际生产中，由于真空室在每次镀膜前都必须进行抽真空，所以其镀膜效率的提高也并不明显。另外，在目前的蒸发镀膜机中，真空室必须单独配置一套抽真空系统，其设备结构复杂，设备成本也高。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、设备成本较低、镀膜效率较高的双室四门真空镀膜机。
[0004]本实用新型的技术方案为:一种双室四门真空镀膜机，包括并联设置的第一真空室和第二真空室，第一真空室上设有第一门机构和第二门机构，第二真空室上设有第三门机构和第四门机构，第一真空室和第二真空室同时连接低真空抽气组，第一真空室和第二真空室还同时连接高真空抽气组。
[0005]所述第一真空室和第二真空室相邻的两侧分别与高真空抽气组连接，第一真空室的外侧开口设置交替使用的第一门机构和第二门机构，第二真空室的外侧开口设置交替使用的第三门机构和第四门机构。
[0006]所述第一门机构和第二门机构对称设于第一真空室外侧开口的两侧，第三门机构和第四门机构对称设于第二真空室外侧开口的两侧；第一门机构和第三门机构同步运行，第二门机构和第四门机构同步运行。
[0007]所述第一门机构、第二门机构、第三门机构和第四门机构的结构相同，分别包括门板、工件架和蒸发源，门板的一侧边与第一真空室或第二真空室铰接，工件架和蒸发源分别固定于门板内侧面上。
[0008]所述高真空抽气组包括第一插板阀、第二插板阀、扩散泵、第一罗茨泵和旋片泵，扩散泵一侧通过第一插板阀与第一真空室连接，扩散泵另一侧通过第二插板阀与第二真空室连接，扩散泵、第一罗茨泵和旋片泵通过管道依次连接；第一插板阀和第二插板阀同步运行。
[0009]所述扩散泵与第一罗茨泵连接的管道上设有电磁阀。
[0010]所述低真空抽气组包括相连接的第二罗茨泵和滑阀泵，第二罗茨泵还通过管道分别与第一真空室和第二真空室连接。
[0011]所述第二罗茨泵与第一真空室和第二真空室连接的管道上分别设有电磁阀。
[0012]所述第一真空室和第二真空室上还分别设有放气阀。
[0013]本双室四门真空镀膜机使用时，其原理是:第一真空室和第二真空室同步工作，各真空室上的两组门机构交替使用，低真空抽气组或高真空抽气组也同时作用于两个真空室。具体过程为:
[0014](I)第一真空室中，第一门机构的工件架装上工件后，将门板与第一真空室闭合，第二真空室中的第三门机构与第一门机构同步动作；先启动低真空抽气组，分别对第一真空室和第二真空室进行抽真空，当真空度达到50Pa时，关闭低真空抽气组；启动高真空抽气组，通过第一插板阀和第二插板阀分别对第一真空室和第二真空室进行抽真空，当真空度达到5X KT2Pa时，关闭高真空抽气组；然后真空室内开始进行蒸发镀膜；镀膜结束后，先打开放气阀，分别对第一真空室和第二真空室进行放气，然后打开第一门机构和第三门机构，卸工件再装工件，准备下一工作过程；
[0015](2)在第一门机构和第三门机构进行卸工件再装工件的过程中，第二门机构和第四门机构在第一真空室和第二真空室上进行与步骤(I)相同的工作过程。
[0016]重复步骤(I)和(2 )，实现双室四门的交替镀膜工作。
[0017]本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果:
[0018]本双室四门蒸发镀膜机是在传统蒸发镀膜机的基础上进行改进，其结构简单而紧凑，设备成本较低，另外采用双室四门交替工作的加工形式，其镀膜效率得到较大的提高。
[0019]另外，本双室四门蒸发镀膜机的两个真空室共用一套低真空抽气组和一套高真空抽气组，可通过程序控制错开进行工作，减少低真空抽气组和高真空抽气组的待机时间，提高抽气机组的使用效率，相应降低单位产品的生产能耗。
[0020]本双室四门蒸发镀膜机的各个真空室中，每一真空室设置2个门机构，并将工件架和蒸发源装在门板上，一个门机构工作时，另一个门机构可进行装卸工件及蒸发材料，可有效减少设备装卸工件的待机时间，提高设备的利用率。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1为本双室四门蒸发镀膜机的结构示意图。
[0022]图2为图1的A向视图。
【具体实施方式】
[0023]下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0024]实施例
[0025]本实施例一种双室四门真空镀膜机，如图1或图2所示，包括并联设置的第一真空室I和第二真空室2，第一真空室上设有第一门机构3和第二门机构4，第二真空室上设有第三门机构5和第四门机构6，第一真空室和第二真空室同时连接低真空抽气组，第一真空室和第二真空室还同时连接高真空抽气组。
[0026]第一真空室和第二真空室相邻的两侧分别与高真空抽气组连接，第一真空室的外侧开口设置交替使用的第一门机构和第二门机构，第二真空室的外侧开口设置交替使用的第三门机构和第四门机构。
[0027]第一门机构和第二门机构对称设于第一真空室外侧开口的两侧，第三门机构和第四门机构对称设于第二真空室外侧开口的两侧；第一门机构和第三门机构同步运行，第二门机构和第四门机构同步运行。
[0028]第一门机构、第二门机构、第三门机构和第四门机构的结构相同，分别包括门板7、工件架8和蒸发源9，门板的一侧边与第一真空室或第二真空室铰接，工件架和蒸发源分别固定于门板内侧面上。
[0029]如图1所示，高真空抽气组包括第一插板阀10、第二插板阀11、扩散泵12、第一罗茨泵13和旋片泵14，扩散泵一侧通过第一插板阀与第一真空室连接，扩散泵另一侧通过第二插板阀与第二真空室连接，扩散泵、第一罗茨泵和旋片泵通过管道依次连接；第一插板阀和第二插板阀同步运行。
[0030]扩散泵与第一罗茨泵连接的管道上设有电磁阀15。
[0031]低真空抽气组包括相连接的第二罗茨泵16和滑阀泵17，第二罗茨泵还通过管道分别与第一真空室和第二真空室连接。
[0032]第二罗茨泵与第一真空室和第二真空室连接的管道上也分别设有电磁阀15。
[0033]第一真空室和第二真空室上还分别设有放气阀18。
[0034]本双室四门真空镀膜机使用时，其原理是:第一真空室和第二真空室同步工作，各真空室上的两组门机构交替使用，低真空抽气组或高真空抽气组也同时作用于两个真空室。具体过程为:
[0035](I)第一真空室中，第一门机构的工件架装上工件后，将门板与第一真空室闭合，第二真空室中的第三门机构与第一门机构同步动作；先启动低真空抽气组，分别对第一真空室和第二真空室进行抽真空，当真空度达到50Pa时，关闭低真空抽气组；启动高真空抽气组，通过第一插板阀和第二插板阀分别对第一真空室和第二真空室进行抽真空，当真空度达到5X KT2Pa时，关闭高真空抽气组；然后真空室内开始进行蒸发镀膜；镀膜结束后，先打开放气阀，分别对第一真空室和第二真空室进行放气，然后打开第一门机构和第三门机构，卸工件再装工件，准备下一工作过程；
[0036](2)在第一门机构和第三门机构进行卸工件再装工件的过程中，第二门机构和第四门机构在第一真空室和第二真空室上进行与步骤(I)相同的工作过程。
[0037]重复步骤(I)和(2 )，实现双室四门的交替镀膜工作。
[0038]如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
【权利要求】
1.双室四门真空镀膜机，其特征在于，包括并联设置的第一真空室和第二真空室，第一真空室上设有第一门机构和第二门机构，第二真空室上设有第三门机构和第四门机构，第一真空室和第二真空室同时连接低真空抽气组，第一真空室和第二真空室还同时连接高真空抽气组。
2.根据权利要求1所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述第一真空室和第二真空室相邻的两侧分别与高真空抽气组连接，第一真空室的外侧开口设置交替使用的第一门机构和第二门机构，第二真空室的外侧开口设置交替使用的第三门机构和第四门机构。
3.根据权利要求2所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述第一门机构和第二门机构对称设于第一真空室外侧开口的两侧，第三门机构和第四门机构对称设于第二真空室外侧开口的两侧；第一门机构和第三门机构同步运行，第二门机构和第四门机构同步运行。
4.根据权利要求1所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述第一门机构、第二门机构、第三门机构和第四门机构的结构相同，分别包括门板、工件架和蒸发源，门板的一侧边与第一真空室或第二真空室铰接，工件架和蒸发源分别固定于门板内侧面上。
5.根据权利要求1所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述高真空抽气组包括第一插板阀、第二插板阀、扩散泵、第一罗茨泵和旋片泵，扩散泵一侧通过第一插板阀与第一真空室连接，扩散泵另一侧通过第二插板阀与第二真空室连接，扩散泵、第一罗茨泵和旋片泵通过管道依次连接；第一插板阀和第二插板阀同步运行。
6.根据权利要求5所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述扩散泵与第一罗茨泵连接的管道上设有电磁阀。
7.根据权利要求1所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述低真空抽气组包括相连接的第二罗茨泵和滑阀泵，第二罗茨泵还通过管道分别与第一真空室和第二真空室连接。
8.根据权利要求7所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述第二罗茨泵与第一真空室和第二真空室连接的管道上分别设有电磁阀。
9.根据权利要求1所述的双室四门真空镀膜机，其特征在于，所述第一真空室和第二真空室上还分别设有放气阀。
【文档编号】C23C14/50GK203513788SQ201320665894
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月24日 优先权日:2013年10月24日
【发明者】朱建明 申请人:肇庆市科润真空设备有限公司