专利名称：立式真空镀膜机的自动取放基板装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种自动取放基板装置，尤其是一种立式真空镀膜机的自动取放
基板装置。
背景技术：
目前现有技术的立式真空镀膜机的取放组件，如中国台湾证书号M336527号专利案(以下简称参考案)，是使用弹扣件(簧片)固定基板，但是，如果选用簧力太强的弹扣件会刮伤基板，如果选用簧力太弱的弹扣件则夹持力不强，基板容易自弹扣片掉落而破裂。因此，参考案具有簧片选择困难，夹持力太强容易刮坏基板，或是夹持力太弱基板容易掉落的问题，实有改善的必要。为解决参考案具有簧片选择困难，夹持力太强容易刮坏基板，或是夹持力太弱基板容易掉落的的不足与限制，本实用新型提供一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其利用第一驱动单元及第二驱动单元使滑块拨件位移，并让滑块拨件拨动或离开顶抵滑块，借此，基板能够被多个顶抵滑块抵住而定位，由于本实用新型是用顶抵，而不是用夹持的方式来定位基板，所以不会有参考案簧片选择困难，夹持力太强或太弱的问题。为此，本实用新型提出一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，包括一立起的主架；一基板载具，其为一设于该主架内的立起的框体，该基板载具可滑动地与该主架连接并形成一基板容置空间；以及多个取放组件，其固设于该主架并各包括一固设于该主架的第一驱动单元、一固设于相对应第一驱动单元的第二驱动单元、一固设于该第二驱动单元的滑块拨件、一可滑动地与该基板载具结合且可与该滑块拨件凹凸结合的顶抵滑块及一位于该基板载具内的弹性元件；其中，各第一驱动单元及各第二驱动单元使相对应滑块拨件能够有两个维度的方向的位移，各顶抵滑块设有一伸入该基板容置空间的顶抵端，该弹性元件的两端分别抵住该基板载具及相对应的顶抵滑块。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其中各第一驱动单元设有两能够伸出缩回的第一驱动件，各第二驱动单元固设于相对应的第一驱动件并设有两能够伸出缩回且与相对应的滑块拨件固设的第二驱动件。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其中各第一驱动单元及各第二驱动单元分别为一气压缸组。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，各滑块拨件设有一呈凸出状的拨部；各顶抵滑块设有一被相对应拨部插入的拨孔。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其中，各顶抵滑块设有一导孔；该基板载具设有分别插入各导孔的导部。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其中，各顶抵滑块设有一呈开设状且容置相对应弹性元件的容槽。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其中各顶抵端的截面形状呈L形。所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其中各弹性元件为一弹簧。
本实用新型所提供的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，可以获得的具体效益及功效增进至少包括1.顶抵方式确实定位本实用新型利用第一驱动单元及第二驱动单元使滑块拨件位移，并让滑块拨件拨动或离开顶抵滑块，借此，基板能够被多个顶抵滑块抵住而定位， 由于本实用新型是用顶抵，而不是用夹持的方式来定位基板，所以不会有参考案簧片选择困难，夹持力太强或太弱的问题。2.自动化控制精确且作动快速借着第一驱动单元及第二驱动单元，滑块拨件的位移量能够精确控制，且使滑块拨件快速地拨动或退出顶抵滑块，作动快速，节省作业时间。3.直线滑动本实用新型借着导部与导孔的结合，能够让顶抵滑块确实地呈直线滑动，并确实地将基板定位，基板载具移动时不会晃动而刮伤基板。
图1是本实用新型较佳实施例的立体外观图。图2是图1的局部放大立体图。图3是本实用新型较佳实施例取放组件的分解图。图4是本实用新型较佳实施例的局部剖面图。图5是本实用新型较佳实施例取放组件的剖面图。图6是本实用新型较佳实施例第一驱动单元的作动图。图7是本实用新型较佳实施例第二驱动单元的作动图。主要元件标号说明10 主架20基板载具21基板容置空间22导部30取放组件31第一驱动单元311第一驱动件32第二驱动单元321第二驱动件33滑块拨件34顶抵滑块342 拨孔343导孔344容槽35弹性元件P 基板具体实施方式为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式
本实用新型所提供的一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置的较佳实施例，如图1所示，包括一主架10、一基板载具20及多个取放组件30等元件，其中如图1所示，该主架10大致为一立起的矩形架体。该基板载具20为一设于该主架10内的立起的矩形框体，该基板载具20可滑动地与该主架10连接并形成一基板容置空间21 ；主架10与基板载具20为现有技术的构件，其详细结构以及连结关系在此不详细描述。如图2至图3所示，该多个取放组件30固设于该主架10并各包括一固设于该主架10的内侧缘的第一驱动单元31、一固设于相对应第一驱动单元31的第二驱动单元32、 一固设于该第二驱动单元32的滑块拨件33、一可滑动地与该基板载具20结合且可与该滑块拨件33凹凸结合的顶抵滑块34及一位于该基板载具20内的弹性元件35 ；其中，各第一驱动单元31及各第二驱动单元32使相对应滑块拨件33能够有二个维度的方向的位移；举例来说，将主架10的底部至顶部的延伸方向定义为Z轴，将主架10从左侧至右侧的延伸方向定义为Y轴，将主架10从前侧至后侧的延伸方向定义为X轴；设置于主架10下侧的取放组件30的滑块拨件33能够平行于X轴而进退移动且能够平行于ζ轴而升降；而设置于主架10左侧的取放组件30的滑块拨件33能够平行于X 轴而进退移动且能够平行于Y轴而平移；也就是说，各滑块拨件33有二个维度的方向的位移。较佳地，各第一驱动单元31及各第二驱动单元32分别为一气压缸组。各第一驱动单元31设有两能够伸出缩回且呈杆状的第一驱动件311，各第二驱动单元32固设于该第一驱动件311并设有两能够升降位移且呈杆状的第二驱动件321。各滑块拨件33固设于相对应的第二驱动件321，各滑块拨件33为一片体并设有一呈杆状的拨部331 ；请进一步参看图4，各顶抵滑块34为一杆体并设有一截面形状呈L形且伸入该基板容置空间21的顶抵端(如图2所示)，各顶抵滑块34由相对应顶抵端起朝向另一端的方向依序设有一呈贯穿状的拨孔342、一呈贯穿状且为长形的导孔343及一呈开设状的容槽 344 ；各拨孔342能够被相对应的拨部331插入，借此，滑块拨件33能够拨动顶抵滑块34 ；该基板载具20设有分别插入各该导孔343的导部22 ；借着导部22与导孔343的结合，能够让顶抵滑块34呈直线滑动；各弹性元件35位于相对应的容槽344内，各弹性元件35的两端分别抵住该基板载具20及相对应的容槽344的底部。较佳地，各弹性元件35为一弹簧。借此，弹性元件35 的弹力能够使顶抵滑块34复位，弹性元件35可为弹片或是塑料弹性体，本实用新型不作特定的限制。当本实用新型准备将一基板P置放于基板容置空间21内时，如图5至图6所示，举设置于主架10下侧的取放组件30为例，先将第一驱动件311朝基板载具20的方向伸出， 使滑块拨件33的拨部331伸入顶抵滑块34的拨孔342内，如图6至图7所示，再将第二驱动件321朝下位移，使顶抵滑块34向下移动，并且压缩弹性元件35。(图5至图7只是表现第一驱动单元31及第二驱动单元32的移动，并非连续作动图。)接下来，将基板P置放于基板容置空间21内，使滑块拨件33上升，此时顶抵滑块 34上升并以顶抵端顶抵基板P，基板P通过底侧及左、右两侧的四个顶抵滑块34抵住而定位； 最后，拨部331后退并离开拨孔342，基板载具20沿着Y轴横向移动，以利进行后续的基板P的溅镀作业。由于本实用新型是使用顶抵滑块34固定基板P，基板P在移动时较稳固，较不会被刮伤。另外，本实用新型的第一驱动单元31及第二驱动单元32的功能可以互换，举设置于主架10下侧的取放组件30为例，第一驱动单元31设有能够平行于Z轴升降的第一驱动件311，而第二驱动单元32设有能够平行于X轴进退的第二驱动件321，同样地也能让滑块拨件33进行二个维度的方向的位移；另外，滑块拨件33可以设置凹陷状的拨孔，而顶抵滑块34相对应设置有杆状的拨部，借着凹凸设置的拨孔及拨部，也可以让顶抵滑块34被拨动而滑动，本实用新型不作特定的限制。以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式
，并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。
权利要求1.一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，所述立式真空镀膜机的自动取放基板装置包括一立起的主架；一基板载具，其为一设于所述主架内的立起的框体，所述基板载具能滑动地与所述主架连接并形成一基板容置空间；以及多个取放组件，其固设于所述主架并各包括一固设于所述主架的第一驱动单元、一固设于相对应的所述第一驱动单元的第二驱动单元、一固设于所述第二驱动单元的滑块拨件、一能滑动地与所述基板载具结合且能与所述滑块拨件凹凸结合的顶抵滑块及一位于所述基板载具内的弹性元件；其中，各所述第一驱动单元及各所述第二驱动单元使相对应的所述滑块拨件能有两个维度的方向的位移，各所述顶抵滑块设有一伸入所述基板容置空间的顶抵端，所述弹性元件的两端分别抵住所述基板载具及相对应的所述顶抵滑块。
2.如权利要求1所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述第一驱动单元设有两能伸出缩回的第一驱动件，各所述第二驱动单元固设于相对应的所述第一驱动件并设有两能伸出缩回且与相对应的所述滑块拨件固设的第二驱动件。
3.如权利要求2所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述第一驱动单元及各所述第二驱动单元分别为一气压缸组。
4.如权利要求1或2或3所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述滑块拨件设有一呈凸出状的拨部；各所述顶抵滑块设有一能被相对应的所述拨部插入的拨孔。
5.如权利要求4所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵滑块设有一导孔；所述基板载具设有分别插入各所述导孔的导部。
6.如权利要求5所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵滑块设有一呈开设状且容置相对应的所述弹性元件的容槽。
7.如权利要求6所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵端的截面形状呈L形。
8.如权利要求7所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述弹性元件为一弹簧。
9.如权利要求1或2或3所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵端的截面形状呈L形。
10.如权利要求1或2或3所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于， 各所述顶抵滑块设有一导孔；所述基板载具设有分别插入各所述导孔的导部。
专利摘要本实用新型提供一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，包括主架、基板载具及多个取放组件，各取放组件包括固设于主架的第一驱动单元、固设于相对应第一驱动单元的第二驱动单元、固设于第二驱动单元的滑块拨件、可滑动地与基板载具结合且可与滑块拨件凹凸结合的顶抵滑块及位于基板载具内的弹性元件；其中，各顶抵滑块设有伸入基板容置空间的顶抵端，弹性元件的两端分别抵住基板载具及相对应的顶抵滑块；本实用新型利用第一驱动单元及第二驱动单元使滑块拨件位移，并让滑块拨件拨动或离开顶抵滑块，借此，基板能够被多个顶抵滑块抵住而确实定位。
文档编号C23C14/00GK202072759SQ201120174290
公开日2011年12月14日 申请日期2011年5月27日 优先权日2011年5月27日
发明者蔡明展, 赖青华, 邱敬凯, 郑耿旻, 黄泰源 申请人:友威科技股份有限公司