防止气管堵塞的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提出一种防止气管堵塞的装置，包括：反应腔室，与反应腔室侧壁相连的第一气管，与反应腔室底部相连的排气管路，与排气管路侧壁相连的第二气管，与排气管路相固定的隔离装置；在排气管路上安装隔离装置，当第二气管中的气体需要排出时，隔离装置无需动作，第二气管中的气体能够通过排气管路排出，当反应腔室中的气体需要排出时，隔离装置动作，将第二气管与排气管路隔离开，防止反应腔室中的气体进入第二气管中并与第二气管中残留的气体发生反应，避免在第二气管中形成粉末堵塞第二气管。
【专利说明】防止气管堵塞的装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防止气管堵塞的装置。
【背景技术】
[0002]半导体芯片在制作过程中，通常在反应腔室中反应并形成薄膜。一般形成不同薄膜需要两种或者两种以上的反应气体，因此需要使用不同的气体管路运输不同的反应气体，避免不同的气体在管路中混合并发生反应。在反应腔室停止反应之后，反应气体会残留在气体管路中，再次反应时，若直接通入一定量的反应气体那么气体管路中残留的反应气体也会被通入至反应腔室中并参与反应，这就会导致参与反应的反应气体过量，使形成的薄膜不符合要求。为了能够更加精确的控制进入反应腔室内反应气体的量，通常会将气体管路接出一支管，支管与抽气泵相连，在开始反应之前先使用抽气泵将残留在气体管路中的反应气体抽出，等反应气体流量稳定时再关闭支管，将稳定流量的反应气体通入至反应腔室进行反应。
[0003]具体的，请参考图1，图1为现有技术中反应装置的结构示意图，所述反应装置包括:反应腔室10，与所述反应腔室10底部相连的排气管路20，与所述排气管路20相连的支管30，与所述排气管路20相连的排气泵40。正如上文所述，在进行反应之前会有一种反应气体例如是B2H6从支管30排出并由排气泵40抽出，之后支管30关闭，B2H6被通入至反应腔室10内参与反应，然而支管30内还残留有部分B2H6，在反应腔室40完成反应时，另一反应气体例如是用于清理反应腔室的O2会从反应腔室10内由排气管路20被所述抽气泵40抽出。然而，会有部分O2气体会流入支管30内并与支管30内残留的B2H6发生反应并生成类似粉末状的颗粒31。随着时间的推移，颗粒31越积越多，最终会堵塞所述支管30，这就会造成装置无法排出气体管路中残留的反应气体，使进入反应腔室10内的反应气体过量，导致形成的薄膜不符合要求。
[0004]为了避免上述问题，现有技术中通常是定期对支管30进行清理或更换，然而，这一方面降低了生产效率，另一方面还需要额外的人力。那么如何避免支管被堵塞便成为本领域技术人员急需解决的技术问题。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种防止气管堵塞的装置，避免反应气体发生混合并在气管中形成粉末堵塞气管。
[0006]为了实现上述目的，本实施例提出了一种防止气管堵塞的装置，所述装置包括:
[0007]反应腔室、第一气管、第二气管、隔离装置和排气管路，其中，所述第一气管与所述反应腔室的侧壁相连，所述第二气管与所述排气管路的侧壁相连，所述排气管路与所述反应腔室底部相连，所述隔离装置与所述排气管路相固定。
[0008]进一步的，所述隔离装置包括隔离套桶、隔离板以及气缸，所述隔离套桶一端固定在所述排气管路内并与排气管路的侧壁保持距离，所述隔离板一端固定在所述排气管路侧壁，另一端与所述气缸相固定。
[0009]进一步的，所述隔离套桶与所述排气管路固定的一端设有密封圈。
[0010]进一步的，所述隔离套桶另一端设有橡胶圈。
[0011]进一步的，所述隔离套桶的材质为不锈钢。
[0012]进一步的，所述隔离板的材质为不锈钢。
[0013]进一步的，所述防止气管堵塞的装置还包括第一气动阀和第二气动阀，所述第一气动阀设于所述第一气管上，第二气动阀设于所述第二气管上，所述第一气动阀和第二气动阀均与所述气缸相连。
[0014]进一步的，所述防止气管堵塞的装置还包括门阀，所述门阀设于所述反应腔室与所述排气管路之间。
[0015]进一步的，所述门阀与所述反应腔室、排气管路相连的部位设有密封圈。
[0016]进一步的，所述排气管路为弹性螺纹状。
[0017]进一步的，所述排气管路的材质为不锈钢。
[0018]进一步的，所述防止气管堵塞的装置还包括排气泵，所述排气泵与所述排气管路相连。
[0019]与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在:在排气管路上安装隔离装置，当第二气管中的气体需要排出时，隔离装置无需动作，第二气管中的气体能够通过排气管路排出，当反应腔室中的气体需要排出时，隔离装置动作，将第二气管与排气管路隔离开，防止反应腔室中的气体进入第二气管中并与第二气管中残留的气体发生反应，避免在第二气管中形成粉末堵塞第二气管。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1为现有技术中反应装置的结构示意图；
[0021]图2为本实用新型一实施例中防止气管堵塞的装置中第二气管排气时的结构示意图；
[0022]图3为本实用新型一实施例中防止气管堵塞的装置中反应腔室排气时的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]下面将结合示意图对本实用新型的防止气管堵塞的装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0024]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认
[0025]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0026]请参考图2和图3，在本实施例中，提出了一种防止气管堵塞的装置，所述装置包括:
[0027]反应腔室100、第一气管200、第二气管300、隔离装置和排气管路400，其中，所述第一气管200与所述反应腔室100的侧壁相连，用于提供一种反应气体，例如是O2，所述第一气管200设有第一气动阀210 ;所述第二气管300与所述排气管路400的侧壁相连，用于排出气管中残留的反应气体，例如是B2H6，所述排气管路400与所述反应腔室100的底部相连，用于排出所述反应腔室100内的气体；所述第二气管300设有第二气动阀310 ;所述隔离装置与所述排气管路400相固定，所述隔离装置能够动作隔离第二气管300。
[0028]在本实施例中，所述隔离装置包括隔离套桶600、隔离板510以及气缸500，所述隔离套桶600 —端与所述排气管路400相固定，所述隔离套桶600位于所述排气管路400内，并与排气管路400的侧壁保持距离，所述隔离套桶600与所述排气管路400固定的一端设有密封圈620，起到更好的密封作用，所述隔离套桶600另一端设有橡胶圈610，便于后续隔离板510与隔离套桶600能够更好的隔离气体；所述隔离板510 —端固定在所述排气管路400的侧壁，另一端与所述气缸500相固定。
[0029]其中，所述隔离套桶600的材质为不锈钢，所述隔离板510的材质为不锈钢。
[0030]在本实施例中，所述防止气管堵塞的装置还包括门阀700，所述门阀700设于所述反应腔室100与所述排气管路400之间，所述门阀700打开时，所述反应腔室100与排气管路400之间连通，便于排出所述反应腔室100内的气体；所述门阀700关闭时，所述反应腔室100内的气体便无法由所述排气管路400排出；优选的，在所述门阀700与所述反应腔室100、排气管路400相连的部位设有密封圈710，起着更好的密封作用；为了更好的排出所述排气管路400中的气体，所述防止气管堵塞的装置还包括排气泵800，所述排气泵800与所述排气管路400相连。
[0031]在本实施例中，所述第一气动阀210和第二气动阀310均与所述气缸500相连，当第二气动阀310打开时，即反应气体B2H6需要经过排气管路400排出多余的量时，所述气缸500同样能够由第二气动阀310得到气动信号，从而使所述隔离板510处于低位，不与所述隔离套桶600设有橡胶圈610的一端紧贴，方便反应气体B2H6由所述排气管路400排出，如图2所示；当第一气动阀210打开时，由第一气管200中的O2流入所述反应腔室100内的气体也能够为所述气缸500提供气动信号，使所述气缸500动作，顶起所述隔离板510使其与所述隔离套桶600设有橡胶圈610的一端紧贴，从而能将所述第二气管300与所述排气管路400内的气体隔离开，避免由所述反应腔室100内排出的02流入第二气管300内并与B2H6发生反应生成粉末，堵塞第二气管300，如图3所示。
[0032]为了方便所述气缸500能够顶起所述隔离板510，所述排气管路400可以为弹性螺纹状，具有一定弹性，其材质可以为不锈钢。
[0033]综上，在本实用新型实施例提供的防止气管堵塞的装置中，在排气管路上安装隔离装置，当第二气管中的气体需要排出时，隔离装置无需动作，第二气管中的气体能够通过排气管路排出，当反应腔室中的气体需要排出时，隔离装置动作，将第二气管与排气管路隔离开，防止反应腔室中的气体进入第二气管中并与第二气管中残留的气体发生反应，避免在第二气管中形成粉末堵塞第二气管。
[0034]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述装置包括: 反应腔室、第一气管、第二气管、隔离装置和排气管路，其中，所述第一气管与所述反应腔室的侧壁相连，所述第二气管与所述排气管路的侧壁相连，所述排气管路与所述反应腔室底部相连，所述隔离装置与所述排气管路相固定。
2.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述隔离装置包括隔离套桶、隔离板以及气缸，所述隔离套桶的一端与所述排气管路相固定，所述隔离套桶位于所述排气管路内，并与排气管路的侧壁保持距离，所述隔离板的一端固定在所述排气管路侧壁，另一端与所述气缸相固定。
3.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述隔离套桶与所述排气管路固定的一端设有密封圈。
4.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述隔离套桶的另一端设有橡胶圈。
5.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述隔离套桶的材质为不锈钢。
6.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述隔离板的材质为不锈钢。
7.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述防止气管堵塞的装置还包括第一气动阀和第二气动阀，所述第一气动阀设于所述第一气管上，第二气动阀设于所述第二气管上，所述第一气动阀和第二气动阀均与所述气缸相连。
8.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述防止气管堵塞的装置还包括门阀，所述门阀设于所述反应腔室与所述排气管路之间。
9.如权利要求8所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述门阀与所述反应腔室、排气管路相连的部位设有密封圈。
10.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述排气管路为弹性螺纹状。
11.如权利要求10所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述排气管路的材质为不锈钢。
12.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置，其特征在于，所述防止气管堵塞的装置还包括排气泵，所述排气泵与所述排气管路相连。
【文档编号】C23C16/455GK203474891SQ201320588430
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年9月23日 优先权日:2013年9月23日
【发明者】徐磊, 张恒, 姜志磊, 李志超, 傅晓斌 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司