一种大口径薄片元件抛光夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种大口径薄片元件抛光夹具，包括基座，所述基座设有若干沉孔，每个沉孔均插接有压头，压头与基座之间设有压头固定片，基座的底部设有元件，压头与元件连接，压头套装有调节压块，调节压块设置在压头固定片上，基座上设有固定架，固定架与元件通过元件固定架连接。本实用新型在抛光过程中，通过调整调节压块数量控制元件背面各区域不同压力，实现元件表面不等量去除，提高元件整个表面的面形精度。
【专利说明】—种大口径薄片元件抛光夹具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种抛光夹具，特别涉及一种大口径薄片元件抛光夹具。
【背景技术】
[0002]化学机械抛光中，元件边缘压力会突然增大，从而出现元件边缘过抛现象发生，元件表面材料去除不。均匀性增大，即“边缘效应”。随着元件尺寸的增大、变薄，“边缘效应”现象更加明显，面形精度甚至比抛光前有所降低。因此通过调整各区域压力来调节元件表面材料去除量，提高元件整个表面的面形精度。
实用新型内容
[0003]针对现有技术上存在的不足，本实用新型提供一种在抛光过程中，通过调整调节压块数量控制元件背面各区域不同压力，实现元件表面不等量去除，提高元件整个表面的面形精度的大口径薄片元件抛光夹具。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现:
[0005]一种大口径薄片元件抛光夹具，包括基座，所述基座设有若干沉孔，每个沉孔均插接有压头，压头与基座之间设有压头固定片，基座的底部设有元件，压头与元件连接，压头套装有调节压块，调节压块设置在压头固定片上，基座上设有固定架，固定架与元件通过元件固定架连接。
[0006]进一步地,所述元件固定架与元件之间设有元件固定垫。
[0007]进一步地，所述压头与元件之间设有垫片。
[0008]进一步地，所述压头为正方形结构。
[0009]进一步地，所述相邻两个压头之间间距小于1mm。
[0010]进一步地，所述压头固定片为圆柱状结构。
[0011 ] 进一步地，所述调节压块为空心圆柱形结构。
[0012]进一步地，所述固定架为长方体结构。
[0013]进一步地，所述固定架上开有长形环槽结构。
[0014]进一步地，所述元件固定架为L形结构。
[0015]进一步地，所述元件固定垫为长方体结构。
[0016]采用上述技术方案的大口径薄片元件抛光夹具，由于所述基座设有若干沉孔，每个沉孔均插接有压头，压头与基座之间设有压头固定片，基座的底部设有元件，压头与元件连接，压头套装有调节压块，调节压块设置在压头固定片上，基座上设有固定架，固定架与元件通过元件固定架连接，所以在抛光过程中，通过调整调节压块数量控制元件背面各区域不同压力，实现元件表面不等量去除，提高元件整个表面的面形精度。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本实用新型；[0018]图1为本实用新型大口径薄片元件抛光夹具的结构示意图。
[0019]图2为图1中A-A剖面图。
【具体实施方式】
[0020]为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0021]如图1与图2所示，一种大口径薄片元件抛光夹具，包括基座1，基座I设有若干沉孔，每个沉孔均插接有压头4，压头4与基座I之间设有压头固定片7，基座I的底部设有元件9，压头4与元件9连接，压头4套装有调节压块5，调节压块5设置在压头固定片7上，基座I上设有固定架2，固定架2与元件9通过元件固定架3连接，元件固定架3与元件9之间设有元件固定垫8，压头4与元件9之间设有垫片10，固定架2上设有螺钉6，所述沉孔均匀分布在基座I上，沉孔内表面有较低的表面粗糙度；压头4为整体式结构，压头4从底部穿入基座2上的沉孔中，通过与压头固定片7上的螺纹旋合固定在基座I上，压头4在沉孔中可以在一定范围内自由滑动；压头4为正方形结构，相邻两个压头4之间间距小于Imm,压头4安装在基座I后能够覆盖元件整个元件9背面；压头固定片7为圆柱状结构，内螺纹能够与压头4上螺纹旋合；调节压块5为空心圆柱形结构，物件经过精密标定，穿在压头4上并与压头固定片7相接触，抛光时其自身重力能够通过压头固定片7传递给压头4底部，实现元件9上对应区域的压力控制；固定架2为长方体结构，固定架2上开有长形环槽结构，螺钉6穿过环槽与基座I旋合，固定架2能够沿环槽方向滑动；元件固定架3为L形结构，L形顶端设有螺纹孔，通过螺钉6与固定架连接在一起；元件固定垫8为长方体结构，采用较大弹性模量材料，其与元件固定架3侧面胶合在一起，通过移动固定架实现元件9的装夹，弹性特性可以确保工件装夹时均匀受力，避免元件局部应力集中引起的翘曲、变形；螺钉穿过直槽口与基座2连接在一起，连接板外侧通过螺钉与晶体固定板相连，通过移动连接板调整四个连接板之间的距离，实现对方形工件周向的固定；所述基座I亦可做成圆形，将其应用与环抛机上，基座I沉孔与压头4杆部亦可做成方形孔，防止压头4转动，上述压头4端部亦可做成六边形结构；抛光过程中，通过调整调节压块数量控制元件背面各区域不同压力，实现元件表面不等量去除，提高元件整个表面的面形精度。
[0022]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种大口径薄片元件抛光夹具，包括基座，其特征在于:所述基座设有若干沉孔，每个沉孔均插接有压头，压头与基座之间设有压头固定片，基座的底部设有元件，压头与元件连接，压头套装有调节压块，调节压块设置在压头固定片上，基座上设有固定架，固定架与元件通过元件固定架连接。
2.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述元件固定架与元件之间设有元件固定垫。
3.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述压头与元件之间设有垫片。
4.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述压头为正方形结构。
5.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述相邻两个压头之间间距小于1mm。
6.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述压头固定片为圆柱状结构。
7.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述调节压块为空心圆柱形结构。
8.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述固定架上开有长形环槽结构。
9.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述元件固定架为L形结构。
10.根据权利要求1所述的大口径薄片元件抛光夹具，其特征在于:所述元件固定垫为长方体结构。
【文档编号】B24B41/06GK203696747SQ201420092301
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年3月3日 优先权日:2014年3月3日
【发明者】赵惠英, 王文博, 赵则祥, 强艳鑫, 高强, 刘孟奇, 马江涛, 仇文全 申请人:北京微纳精密机械有限公司