1.一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的装置，其特征在于，所述装置包括：反应腔体与管道连接过渡区(1)、固态氯化铵处理系统(2)、废液收集系统(3)及尾气后处理系统(4)；所述反应腔体与管道连接过渡区(1)中设有阀门(11)，开启它时反应腔体(12)和管道(13)之间完全连通，关闭它时反应腔体(12)和管道(13)之间完全被隔断；所述固态氯化铵处理系统(2)，包括喷淋与吹扫装置(21)和干燥用加热器(22)，其结构为相对管道(13)水平向下倾斜一定角度；所述喷淋与吹扫装置(21)，在其管内壁设有多个喷口，通过转换，该喷口即可以喷淋溶解沉积物用的溶剂，即喷淋功能，也可以喷出吹扫管内的溶剂和蒸气用的非活性气体，即吹扫功能；所述废液收集系统(3)，包括闸阀(31)、引流管(32)及废液收集器(33)。
2.根据权利要求1所述的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的装置，其特征在于，所述固态氯化铵处理系统(2)，其相对管道(13)水平向下倾斜角度为10°～45°。
3.根据权利要求1所述的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的装置，其特征在于，所述喷淋与吹扫装置(21)，在其管内壁，所设喷口数目为1～1000个、喷口直径为1μm～600μm。
4.根据权利要求1所述的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的装置，其特征在于，所述阀门(11)和闸阀(31)，均采用抗氧化、耐高温、抗应力和抗腐蚀性能优良的材料，其材质是英康乃尔合金。
5.采用权利要求1所述的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的装置的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的方法，其特征在于：按以下步骤清除沉积物：
首先，关闭阀门(11)，隔断反应腔体(12)和管道(13)之间的连通，调节反应腔体(12)内的压力，使反应腔体(12)和管道(13)之间形成大于0.5Torr的正压差；
接着，关闭尾气后处理系统(4)，打开废液收集系统(3)的闸阀(31)，开启喷淋与吹扫装置(21)的喷淋功能以喷淋液体溶剂溶解固态氯化铵；
进一步，根据固态氯化铵在不同温度下的不同溶解速度，调控溶剂喷淋流量和时间，使溶解的氯化铵溶液从引流管(32)排出并全部流进废液收集器(33)；
之后，关闭喷淋与吹扫装置(21)的喷淋功能，停止喷淋，开启干燥用加热器(22)和喷淋与吹扫装置(21)的吹扫功能，开启吹扫，对控制管道进行干燥并吹扫，去除管内的溶剂和蒸气；
过5～30min分钟后，关闭废液收集系统(3)中的闸阀(31)，打开尾气后处理系统(4)，继续干燥10～30min，可以结束本次清除工作；
最后，调控反应腔体(12)内的压强，等其稳定后，打开阀门(11)，即可进行下一期的生长操作。
6.根据权利要求5所述的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的方法，其特征在于，所述喷淋与吹扫装置(21)，其喷淋的溶剂是水；当喷淋水时，其喷水流量为4.0～8.0slm，其喷水时间为3～30min；所述喷淋与吹扫装置(21)，其喷出的吹扫管内的溶剂及蒸气用的非活性气体是氮气；用氮气吹扫时，其吹扫流量为40～280slm。
7.根据权利要求5所述的一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的方法，其特征在于，所述干燥用加热器(22)，其温度在50℃～400℃范围内可调。