技术总结
本发明公开了一种清除HVPE设备管道尾气沉积物的装置及方法。本发明设计包括了腔体与管道连接过渡区、固态氯化铵处理系统及废液收集系统相结合的尾气处理设备，并根据固态氯化铵在不同温度下具有不同的溶解速度的特点，调控固态氯化铵处理系统中喷淋溶剂的流速及喷淋时间，以溶解方式去除固态氯化铵，有效地解决反应物尾气沉积致使管道严重堵塞的问题。同时通过调控固态氯化铵处理系统中的吹扫装置及干燥用加热器，保护和保证反应系统环境的安全性及稳定性。本发明装置及方法，从根本上解决HVPE设备后续管道严重堵塞的问题，显著提高设备循环利用率，大幅降低材料生长成本，具有很大的实用价值。
技术研发人员：刘南柳;李春霞;张国义
受保护的技术使用者：东莞市中镓半导体科技有限公司
技术研发日：2015.07.24
技术公布日：2019.02.22