技术总结
本发明公开了一种在玻璃上沉积Al2O3膜的方法及适用于手机屏幕表面镀膜。其中，具体涉及一种磁过滤等离子体沉积法制备Al2O3薄膜技术，该Al2O3膜结构包括离子注入钉扎层以及Al2O3膜层。本发明的目的是结合离子注入技术、磁过滤技术和阴极弧沉积技术制备的Al2O3膜具有高结合力，并通过控制沉积过程中的弧流强度、弯管磁场强度以及氧气的进气量，优化Al2O3的厚度、硬度、耐磨性、抗腐蚀性和透光性，制备优质的Al2O3膜来代替蓝宝石手机屏幕。本发明所使用的是双磁过滤等离子体沉积设备，设备操作简单，工艺成熟，可实现批量生产，适合电子产品屏幕保护上的应用。
技术研发人员：廖斌;欧阳晓平;罗军;张旭;吴先映;王宇东
受保护的技术使用者：北京师范大学
技术研发日：2015.11.06
技术公布日：2019.04.23