用于精加工特别是眼镜镜片上的光学有效表面的装置的制作方法

本发明总体上涉及光学有效表面的精加工的装置。特别地，本发明涉及诸如大规模地用于所谓的“处方(rx)工作间”中的眼镜镜片的光学有效表面的精加工的装置，即用于根据处方制造单独的眼镜镜片的生产设施。

如果在下文中示例性地将带有光学有效表面的工件称为“眼镜镜片”，则要理解这不仅指无机玻璃眼镜镜片，还指所有其他常规材料的眼镜镜片，该常规材料诸如是聚碳酸酯、cr39、高折射率材料等，因而也包括塑料。

背景技术：

通过材料移除而对眼镜镜片的光学有效表面进行的加工可粗略地分成两个加工阶段，即初始地对光学有效表面的初步加工，用于根据处方产生宏观几何形状，以及之后对光学有效表面的精加工，以消除初步加工痕迹并获得期望的微观几何形状。由于对眼镜镜片的光学有效表面的初步加工取决于眼镜镜片的材料和其他因素并通过研磨、磨削和/或车削进行，在精加工中，眼镜镜片的光学有效表面通常经受精密研磨、修磨和/或抛光过程，为此目的要使用合适的机器。至此，在本申请的术语集之中，包括诸如“抛光工具”等的术语“抛光”包含了精密研磨和修磨过程，因而在“抛光工具”的示例中包含了精密研磨或修磨工具。

特别是在处方工作间内手工加载的抛光机器通常被构造成“成对机器”，使得“处方工作”的两个眼镜镜片(一个眼镜镜片处方总是包含一对眼镜镜片)可有利地同时经受精加工。这种“成对”抛光机例如从文献de102009041442a1和de102011014230a1中所知悉，这些文献在机器运动学方面形成最接近的现有技术。

例如根据最后提到的文献(特别地参见其附图1至5)，这种抛光机包括机器壳体，机器壳体界定作业空间，两个工件主轴突出进入作业空间，由此，待抛光的两个眼镜镜片可由旋转驱动件驱动而绕基本相互平行的工件旋转轴线c1、c2旋转。在工具方面，抛光机具有第一线性驱动单元、枢转驱动单元、第二线性驱动单元、以及两个工具主轴，第一工具支架可通过第一线性驱动单元沿基本垂直于工件旋转轴线c1、c2的线性轴线x运动，枢转驱动单元布置在第一工具支架上，且枢转轭部可通过第一工具支架绕基本垂直于工件旋转轴线c1、c2且基本垂直于线性轴线x的枢转设定轴线b枢转，第二线性驱动单元布置在枢转轭部上，且第二工具支架可通过第二线性驱动单元沿基本垂直于枢转设定轴线b延伸的线性设定轴线z运动，两个工具主轴各自带有相应的工具安装部段，其中，每个工具安装部段突出进入作业空间，以与工件主轴中相应的一个相联。

每个工具主轴具有主轴轴杆，相应的工具安装部段形成于主轴轴杆上，且主轴轴杆安装在主轴壳体中，以被驱动而绕工具旋转轴线a1、a2旋转，该壳体进而在引导管中被引导，以能够沿工具旋转轴线的方向进行限定的轴向位移。由此，两个工具主轴的主轴壳体通过凸缘安装在第二工具支架上，引导管安装在枢转轭部上，使得由此每个工具主轴的工具旋转轴线a1或a2与相关联的工件主轴的工件旋转轴线c1或c2一起形成平面，在该平面中，相应的工具旋转轴线a1或a2相对于相关联的工件主轴工件旋转轴线c1或c2可轴向位移(线性轴线x、线性设定轴线z)且可倾斜(枢转设定轴线b)。

由于给定的运动可能性，现有技术的抛光机允许借助紧凑的构造不仅通过所谓的“切线抛光运动学特性”、还通过一种抛光运动学特性对眼镜镜片成对地进行处理，在“切线抛光运动学特性”中，与工具主轴一起被轴向调整(z)的抛光工具在与横向(x)于眼镜镜片的相对小的冲击一起振荡的工具主轴的预设但固定的枢转角(b)下运动，在该种抛光运动学特性中，所调整(z)的抛光工具在其振荡横向运动(x)期间同时连续地枢转(b)，从而跟随眼镜镜片的表面曲率，其中，眼镜镜片和抛光工具可以相同方向或相对方向、以相同或不同的旋转速度(但至少考在抛光工具方面不一定要这样)绕其旋转轴线(a1、a2、c1、c2)被驱动。

至此，当然有利的是，该抛光机可被广泛使用。然而，在诸如聚碳酸酯材料或高折射率材料之类的难以抛光的特定材料的情形中，为了减少抛光时间和/或获得特定的表面质量，仍然期望以不同的抛光基座进行加工，在前述现有技术中，这将会需要变换抛光工具。如果待依次抛光的眼镜镜片在其几何形状(表面曲率、直径)方面显著不同，上述内容同样适用。通过使用带有工具库的自动化工具变换器，对于工业生产所需的工具变换时间可因而显著减少，但这将涉及设备方面的巨大支出。

发明目的

本发明的目的在于创造一种用于特别是眼镜镜片的光学有效表面的精加工的装置，该装置尽可能简单和紧凑地被构建，该装置可尽可能广泛地使用并因而允许不同的加工策略而无需较长的加工时间。

技术实现要素：

该目的由权利要求1中表明的特征实现。本发明的优势或有利的进展是权利要求2至21的主题。

根据本发明，一种用于精加工特别是作为工件的眼镜镜片的光学有效表面的装置包括：工件主轴以及两个工具主轴，工件主轴突出进入作业空间中，且待抛光的工件可由工件主轴驱动而绕工件旋转轴线c旋转，两个工具主轴与工件主轴相关联并相对地突出进入作业空间中，且相应的抛光工具安装在每个工具主轴上，以可被驱动而绕工具旋转轴线a、a’旋转并可沿工具旋转轴线a、a’轴向调整(z)，工具主轴可共同地相对于工件主轴沿基本上垂直于工件旋转轴线c延伸的线性轴线x运动，且可绕基本垂直于工件旋转轴线c且基本垂直于线性轴线x延伸的不同的枢转设定轴线b、b’枢转，其中，沿线性轴线x的方向观察，各工具主轴依次布置。

由于以下事实，即各工具主轴首先沿线性轴线x的方向观察是依次布置的，故而根据本发明的装置有利地具有紧凑的结构，这使得其适于用作带有多个根据本发明的装置的抛光机中的抛光单元。在该情形中，两个工具主轴不仅可共同地沿线性轴线x运动，还可共同地绕不同的枢转设定轴线b、b’枢转，由于因而对于这些线性或枢转运动中的每个仅需要一个驱动件，这有益于装置的简单构建以及能量效率方面。

甚至仅使用一个根据本发明的装置的抛光机(基本型式)也使得不同的加工方法称为可能，从而十分灵活。首先观察到的是，由于各轴线(a、b、c、x、z)的相关组合，以上相对于现有技术描述的所有抛光过程都可通过根据本发明的装置在工件上被执行，在特定情形中，甚至无需用于工具的单独的旋转驱动件。

如果在一个装置的两个工具主轴处使用不同的抛光工具，则可能借助一个工具夹具中不同的抛光覆层来执行例如初步抛光和精密抛光，从而使得可能有非常短的抛光时间，且同时带有增加的表面质量。

相较于在简介中概述的现有技术，还可能通过在一个装置的两个工具主轴处使用不同尺寸(工具直径)和/或不同曲率(工具曲率半径)的抛光工具来增加装置的作业范围。因而，例如，可通过该装置在给定的情形中加工带有剧烈弯曲表面的非常小或非常大的工件，而无需为此目的不得不进行工具变换，从而导致有助于获得更短的总加工时间。

在根据处方的眼镜镜片生产中使用该装置的情形中，还可能通过相同的抛光工具、或通过根据相应的眼镜镜片曲率(cc或cx)成形的各抛光工具，不仅抛光呈凹面地弯曲的眼镜镜片，还抛光呈凸面地弯曲的眼镜镜片。抛光加工中的这种组合的操作在目前有所增多的两侧上带有非球面或渐进表面的眼镜镜片方面特别有利。

此外，可能在一个设备的两个工具主轴处使用相同的抛光工具，使得在一个工具磨损的情况中、例如在预定数量的已抛光工件之后，可执行自动的主轴变换并因而执行工具变换。

借助一个装置和相同的抛光工具的其他的加工变型方式将会是在工件的加工期间或从一个工件到另一个工件的加工期间交替地使用工具主轴。这将具有以下优势：不使用的相应的抛光工具和对应的工具主轴与驱动件一起可在间歇中冷却，从而导致均匀磨损、受控的机器加热循环、和/或增加的工具使用寿命。

如果在用于同时抛光至少两个眼镜镜片的抛光机中，根据待同时抛光的眼镜镜片的数量使用根据本发明的至少两个装置作为抛光单元(发展型式)，则可能的加工策略甚至会更多，而这可有利地通过共用的机器框架中的模块化布置来实现。首先，在(例如对于再精加工可能需要的)处理仅一个眼镜镜片的情形中，与根据简介中概述的现有技术的两个工具主轴总是共同地相对于与其关联的两个工件主轴线性(x)或可枢转(b)地运动的抛光机相比，本发明的另一个工具主轴不必在能量消耗方面非操作地且不利地结合运动。

此外，对于相应的眼镜镜片处方来说是优化的且具有可单独选择的振荡行程、振荡频率、入射角、旋转速度、抛光时间和抛光压力的抛光过程可在抛光机的每个装置或抛光单元中被执行。相比于以上现有技术，不需要接受如下的折衷，在现有技术的抛光机的情形中，这种折衷可能最终导致比必需的更长的加工时间并导致比可能实现的更劣化的表面质量。

例如，如果根据本发明的三个装置用作抛光机中的抛光单元，则可通过两个抛光单元中对于每个眼镜镜片单独的加工参数同时加工一对眼镜镜片，而在第三抛光单元中，可能借助合适的工具同时执行“特殊作业”，诸如是特定几何尺寸(例如大直径和/或大曲率)的加工、再精加工作业、或对仅一个处方镜片进行磨制(如果第二个眼镜镜片是标准镜片)。

在以上描述的抛光机的所发展出的型式中，根据本发明的单独的装置可例如围绕中心操作者位置呈星形布置在机器框架中，从而可具有机器装载的优势。然而，如果各装置被布置成在这种抛光机中彼此相邻，使得各自的线性轴线x、x’、x”彼此基本平行地延伸，则在目前是优选的，这不仅代表了空间节省的布置，还便于特别是工件变换的自动化。

在进一步发展的自动化型式中，抛光机由此可包括可选地带有传送带的输送工位、清洗工位、以及端口处理系统，输送工位用于接收待抛光和已抛光的眼镜镜片的处方盒的堆置，清洗工位用于清洗已抛光的眼镜镜片，端口处理系统用于生产率的进一步增加，眼镜镜片通过端口处理系统可自动地在各工位和各装置之间运输，且可定位在相应的工位或装置中。如果不使用传送带，则输送工位还可被设计成使得若干个处方盒可堆置在可由便携式处理系统所达到的位置中，或使得有可能通过便携式处理系统将容器盒位移至输送工位之中/之上。原则上，还可设想将可能可位移地布置在抛光单元前方的轨道上、或布置在支架处以悬挂在抛光单元前上方的机器人处理系统或六足系统用于工件处理，然而，这种方案将昂贵得多。

在该方面，在有利的实施例中，端口处理系统可包括可在空间中运动的抽吸单元，用于在待抛光的光学有效表面处保持待抛光的眼镜镜片，并包括可在空间中运动的多指部抓持件，用于在已抛光的眼镜镜片的边缘处保持已抛光的眼镜镜片。使用多指部抓持件的优势在于，多指部抓持件不接触已抛光的表面，而仅是抓持眼镜镜片的边缘，从而排除了在工件处理期间印刻或刮擦已抛光表面的风险。另一方面，抽吸单元可作为可靠且稳定的方案无问题地用于坯件。

原则上，对于根据本发明的装置本身，装置的枢转设定轴线b、b’可能相对于线性轴线x位于不同的高度，工件主轴高度则假设不变，这将允许或需要抛光工具对于不同工具主轴的不同轴向行程和/或枢转角。此外，关于使用相同部件的可能性，则优选的是枢转设定轴线b、b’位于沿线性轴线x延伸或平行于线性轴线x延伸的抽象平面中。因而，每个工具主轴具有相同的运动学边界条件；工具行程和因而刚度是相同的，由此，对于抛光工具在前工具主轴和后工具主轴处的定位有一定的选择自由度。

在借助最短的可实施的行进路径而具有工具振荡和工具枢转的运动可能性的更简单且更紧凑的设计中，布置优选地为使得一个工具主轴安装在前枢转轭部上，前枢转轭部与工具支架可枢转地连接成可以限定的方式绕一个枢转设定轴线b枢转，而另一个工具主轴安装在后枢转轭部上，后枢转轭部与同一工具支架可枢转地连接成可以限定的方式绕另一枢转设定轴线b’枢转，工具支架进而可在引导下相对于围绕作业空间的框架沿线性轴线被驱动。

在该情形中，为了在与框架连接的两个引导杆处被引导的工具支架的运动和定位，优选地设置有相对于框架固定且与滚珠丝杠驱动件驱动地连接的旋转驱动件，滚珠丝杠驱动件包括可旋转地安装的滚珠丝杠主轴，滚珠丝杠主轴与螺母接合，螺母与工具支架连接，以固定而抵抗相对旋转。原则上，事实上还可设想使用其他线性引导件和驱动件，例如线性马达等，但另一方面，引导件和驱动件的上述优选实施例对于高度刚性且对灰尘不敏感性而言更经济。

基本地，有可能对于每个枢转轭部的枢转运动设置单独的驱动件，例如分别设置相关联的转矩马达。然而，为了两个工具主轴绕枢转设定轴线b、b’的限定枢转，优选的是设置线性驱动件，线性驱动件的一端在与对应的枢转设定轴线b间隔处与一个枢转轭部可枢转地连接，且线性驱动件的另一端与工具支架连接，其中，该枢转轭部还设置成通过联接杆与另一个枢转轭部驱动连接，在与枢转设定轴线b、b’间隔处，联接杆的一端与所述一个枢转轭部可枢转地连接且联接杆的另一端与所述另一个枢转轭部可枢转地连接。在优选的实施例中，装置因而有利地仅具有单个驱动件，用于两个工具主轴的枢转。

只考虑抛光工具的轴向调整运动的话，则优选地是，为了相应的抛光工具沿相关联的工具旋转轴线a、a’的轴向调整，每个工具主轴包括活塞气缸装置，活塞气缸装置带有活塞，活塞被接纳在气缸壳体中且同轴布置地与主轴轴杆连接，以能够起到致动作用，主轴轴杆与活塞气缸装置一起安装在主轴壳体中，以可绕相应的工具旋转轴线a、a’旋转。该构造的特征特别地在于低重量，在这种情形中，特别地，由于抛光工具可一直跟随工件，即使是工件相对显著地偏离了旋转对称也是如此，故而轴向运动可以高度动态的方式被执行，这进而使得短的加工时间成为可能并可具有非常高的抛光质量。

在该方面，可气动致动的活塞/气缸装置的气缸壳体优选地为两件式的构造且内衬有无机玻璃的引导套管，在引导套管中，在引导表面处包含有石墨材料的活塞被接纳成可纵向位移。这种“玻璃气缸”的显著优势来自于其非常低的粘/滑倾向；因而，该装置可甚至以非常低的抛光压力灵敏地操作。

根据有利的进展，活塞气缸装置中的活塞可通过弹簧钢的细杆以耐拉伸且耐压缩的方式与主轴轴杆连接。这种非常轻且无间隙的力传递件以简单的方式提供了径向补偿的可能性，由此，如果活塞或活塞气缸装置的中心轴线和主轴轴杆未正确地对准，也不会发生堵塞。

如果期望在抛光工具处的旋转驱动件，则气缸壳体可在外周界处设置有齿，用于接合齿带，齿带可通过马达借助带滑轮来驱动，马达通过凸缘安装在相应的枢转轭部上，从而绕相应的工具旋转轴线a、a’旋转活塞气缸装置并因而旋转主轴轴杆。借助于标准驱动件的这种旋转驱动件不仅在成本上有利，与如限定该领域的现有技术中所示和所描述的可同样设想的与主轴轴杆同轴地布置的旋转驱动件相比，还具有较小的运动质量的优势。也可设想使用齿轮传动作为用于将转矩从平行于主轴轴杆布置的旋转驱动件传递至主轴轴杆的其他的、特别是低磨损的替代方式。在该情形中，可在驱动侧设置钢齿轮，该齿轮与在主轴侧处的尺寸相同的塑料齿轮啮合(传动比1:1)，在该情形中，两个齿轮可设置有锥形齿圈，从而其结果是齿轮副还以非常低的噪声输出运行。

在质量方面的对应优势可应用于优选的构造中，在该优选的构造中，为了将转矩从活塞气缸装置的气缸壳体传递至主轴轴杆，设置有同样是廉价标准件的花键轴杆引导件和凸缘螺母，其中，引导沟槽形成于主轴轴杆中，且凸缘螺母通过轴向支承件与引导沟槽相接合，且与气缸壳体连接，用以固定而抵抗相对旋转。

在对本发明的原理的进一步探究中，抛光工具可包括工具安装头，工具安装头可固定至相应的主轴轴杆，以能够被沿轴向和旋转地带动，且抛光盘可调换地安装在工具安装头上，为该目的，抛光盘的基座本体和工具安装头设置有互补的结构，用于通过工具安装头轴向止动抛光盘并旋转地带动抛光盘。一方面，这产生了对抛光板的简单调换能力并将抛光盘稳定地安装在相应的工具主轴上，且另一方面，这产生了抛光过程期间工具安装头与抛光盘之间的限定的机械形状转矩传递。

在该情形中，工具安装头可包括带有球形头的球接头，球形头被接纳在球形接口中且形成于球接销处，球接销可固定至相应工具主轴的主轴轴杆，由此，球形接口形成于安装板中，且抛光盘可借助安装板被止动。这使得可能以简单的方式在抛光过程期间使抛光盘相对于相应的工具主轴的主轴轴杆倾斜，从而抛光盘可轻易地跟随最多样的眼镜镜片几何形状，甚至是例如带有高附加值的圆柱形表面或渐进表面。此外，抛光盘的可倾斜性有利地允许借助已论述的“切线抛光运动学特性”来执行抛光过程，在该情形中，抛光盘能够在眼镜镜片处具有成角度的定向。

在优选的实施例中，球形头可具有用于横向销的接纳钻孔，横向销延伸通过球形头且在球形头的任一侧上接合在球形接口中的相关联的凹陷部内，从而将安装板与球接销连接，以能够被旋转地带动。球形头作为万向接头的这种构造使得有可能以简单的方式旋转地驱动抛光板，相较于可同样设想的抛光盘的仅通过眼镜镜片摩擦来产生旋转带动，该构造使得能够具有显著更短的抛光时间。基本地，关于可倾斜性和旋转驱动的可能性，类似的结果事实上还可通过等动能接头实现，但这会涉及显著更大的复杂度和更高的成本。

此外，优选的是安装板通过支承凸缘上的弹性环形件被弹性地支承在球接销侧，使得由安装板所止动的抛光盘力求通过其中心轴线而与球接销、并因而与相应的工具主轴的主轴轴杆自对准。由此，抛光盘被阻止过度的倾斜运动，由于抛光盘不能弯曲远离并因而卡在眼镜镜片处，这一方面特别是在抛光盘在眼镜镜片上的所提及的振荡的情形中的运动反转期间具有有利的效果。另一方面，由于安装板通过轻微约束而采取限定的位置，抛光工具的安装板的这种弹性支承件在抛光盘的安装或定位期间具有优势。此外，作为安装板的弹性(预)定向的结果，会发生抛光盘和眼镜镜片的一起运动，使得基本轴向地定向的抛光盘被放置在眼镜镜片上且例如不倾斜，特别是在厚的抛光盘或提升的抛光盘的情形中，而该倾斜会导致问题。原则上，事实上还有可能通过在安装板处被气动地影响的橡胶波纹件来操控抛光盘的这种(预)定向，但这会复杂得多。

在装置的其他优选实施例中，主轴轴杆的在轴向缩回设定中的工具安装头可通过带有气缸壳体或与气缸壳体连接的部分的止动装置而被止动，以固定抵抗相对旋转。因而，带有如下的优势，在主轴轴杆的缩回设定中，为了例如用于变换抛光工具而将工具安装头保持在缩回设定中，不需要花费任何能量，比如用于将亚大气压施加至工具主轴的前述活塞气缸装置。事实上，为该目的还可设想其他措施，诸如通过永久磁力或由电产生的磁力而保持，但这在简单地获得低分离力矩方面会更复杂且可能有问题。

在有利的实施例中，由于其较不昂贵且更简单，故而止动装置可包括多个弹簧突出部，多个弹簧突出部分布在工具安装头的周界上，并沿相应的工具旋转轴线a、a’突出，且多个弹簧突出部与环形沟槽中的凸耳机械地形状接合，环形沟槽形成于气缸壳体或与气缸壳体连接的一部分处，以固定而抵抗相对旋转。有可能通过塑料、甚至可选地对于更大批量通过注模而没有问题地生产该类部件。

最后，特别优选的是，工件主轴突出进入其中的作业空间的下部区域由槽所界定，该槽由塑料一体地深拉而形成，且带有无台阶的壁表面。在给定的情形中还被涂覆成疏水性的这种槽的优势除了在于耐腐蚀，与可同样设想的焊接的不锈钢槽相比，还在于抛光介质轻易地泄放且作业空间易于清洁并保持令人满意的密封。

附图说明

以下参考所附部分地简化的附图或示意图通过优选实施例更详细地阐述本发明，附图不标度比例，且附图中：

图1从上方和右前方倾斜地示出了用于眼镜镜片的抛光机的立体图，该抛光机带有三个平行布置的根据本发明作为抛光单元而用于精加工眼镜镜片的光学有效表面的装置、在右侧与抛光单元相邻的眼镜镜片清洗工位、用于处方盒的传送带、和用于运输眼镜镜片的端口处理系统，其中，为了提供机器的主要部件或子组件的视图并为了简化示意图，特别地，操作和控制单元、覆层的一部分、门机构和窗格，用于工件和工具的其他堆置处、用于电能、压缩空气和抛光介质供应装置(包括管线、软管和管道)、抛光介质返回装置、以及测量、保养和安全装置已被省略；

图2是从上方和左前方倾斜地示出了在图1的右侧且从根据图1的抛光机器分离出来的根据本发明作为分离的抛光单元的装置的立体图，其中，用于工具主轴的工具支架(线性轴线x)设置在缩回设定中，且下方由槽所界定的作业空间由波纹状作业空间覆盖件和滑动门关闭；

图3从上方和右后方倾斜地示出了根据图2的装置的立体图，其中，与图2中的示意图相比，界定作业空间的部件(槽、滑动门、波纹状作业空间覆盖件)以及工件和工具主轴已被省略，特别地用于示出用于枢转设定轴线b、b’的线性驱动件；

图4从上方和右前方倾斜地示出了根据图2的装置的立体图，且同样省略了界定作业空间的部件以及工具主轴，并额外地省略了用于枢转设定轴线b、b’的线性驱动件，但示出了工件主轴(工件旋转轴线c)，特别是示出了在工具支架(线性轴线x)中一个布置在另一个之后的用于工具主轴的枢转轭部(枢转设定轴线b、b’)；

图5从下方和右前方倾斜地示出了根据图2的装置的立体图，并示出了用于抛光过程的所有运动轴线或运动可能性(工具旋转轴线a、a'；枢转设定轴线b、b’；工件旋转轴线c；线性轴线x；调整轴线z、z’)；

图6示出了根据图2的装置的纵向剖视图，且省略了图2中所示的部件，且工具支架(线性轴线x)在缩回设定中，其中，为了将工件装载在作业空间的前区域中，滑动门打开且前波纹状作业空间覆盖件缩回；

图7示出了根据图2的装置的对应于图6关于截平面的纵向剖视图，且工具支架(线性轴线x)位于用于工具变换的前进设定中，在该设定中，工具主轴向前枢转(枢转设定轴线b、b’)，且附加地，在后工具主轴(调整轴线z’)处的工具运动出来，同样，在作业空间的前区域中带有打开的滑动门，其中，相较于图6，设置在工具主轴处的波纹件已被省略，用于简化示意图；

图8示出了前工具主轴的纵向剖视图，前工具主轴安装在以局部剖视图示出的根据图2的装置的前枢转轭部中，前工具主轴带有抛光工具，在抛光工具的工具安装头处可脱离地安装有抛光盘，抛光盘设置成与待加工表面加工接合，其中，抛光工具设置在较低设定中并相对于工具主轴运动出来(调整轴线z)，且相关的波纹件已被省略，用于简化示意图；以及

图9示出了前工具主轴的半剖视图，且根据图8的抛光工具位于卸下状态中，图9同样未示出抛光工具与工具主轴之间的波纹件，其中，抛光工具与抛光盘一起设置在相对于工具主轴而运动进入(调整轴线z)的上设定中，且其中，抛光工具的工具安装头在工件主轴处被止动。

具体实施方式

图1中用11标示出作为用于精加工工件的光学有效表面cc、cx的装置10的优选使用情形或使用场合的抛光机，工件诸如是眼镜镜片l(参见图8)。在所示的实施例中，对应于待抛光的眼镜镜片l的数量，分别具有相同构造的三个这种装置10、10’、10”作为抛光单元布置在同一机器框架12中。如以下将参考图2至7更详细地基于图1中右侧作为全部三个装置10、10’、10”的代表性装置10所阐述的，装置10包括工件主轴14，工件主轴14突出进入作业空间13中，待抛光的眼镜镜片l(再次参见图8)可由工件主轴14驱动而绕工件旋转轴线c旋转，该待抛光的眼镜镜片l通常通由约束件s上的约束材料m来保持，以安装在工件主轴14内。此外，装置10包括两个工具主轴16、16’，这两个工具主轴16、16’与工件主轴14相关联并相对地突出进入作业空间13中，且相应的抛光工具18、18’在每个工具主轴16、16’上被安装成可绕工具旋转轴线a、a’被驱动而旋转，且可沿工具旋转轴线a、a’(调整轴线z、z’)被轴向调整。工具主轴16、16’可一起沿基本垂直于工件旋转轴线c延伸的线性轴线x来相对于工件主轴14运动，且可绕基本垂直于工件旋转轴线c并基本垂直于线性轴线x延伸的不同的枢转设定轴线b、b’枢转。在该情形中，如沿线性轴线x的方向所见的，工具主轴16、16’一个布置在另一个后面。可在图5中最佳地见到这一对于装置10而言重要的结构。

在详细描述单独的装置10之前，将首先基于图1阐述其在抛光机11中的安装位置的其他细节。根据图1，可彼此独立地操作的单独的装置10、10’、10”以紧凑的方式相邻于彼此以模块化形式布置在机器框架12中，使得相应的线性轴线x、x’、x”基本彼此平行地延伸，且装置10、10’、10”可选地能作为分别的模块被分离地替换。该模块化构造模式允许通过相同的子组件实现带有对应的批量优势的共同生产，且还允许不同的手动或自动变型的灵活安装。

因而，在图1中所示的实施例中，用于清洗被抛光的眼镜镜片l的本身已知的清洗工位20安装在机器框架12中，相邻于装置10而在其右侧上，且在相邻于清洗工位的右侧上安装有输送工位21，在此，输送工位21设置有传送带22，用于堆置在眼镜镜片生产中常规的处方盒23，处方盒23用于接纳待抛光和已抛光的眼镜镜片l。处方盒23可通过传送带22根据图1中在传送带22上所示出的运动箭头在抛光机11中来回运动。

此外，此处所示的抛光机11的自动化变型例具有端口处理系统24，眼镜镜片l可通过该端口处理系统24在工位20、21与装置10、10’、10”之间自动运输并定位在相应的工位20、21或装置10、10’、10”中。为该目的，端口处理系统24包括可三维地运动的抽吸单元25，用于在待抛光的光学有效表面cc处保持待抛光的眼镜镜片l，并包括可三维地运动的多指部抓持件26，用于在已抛光的眼镜镜片l的边缘处保持已抛光的眼镜镜片l。所提及的三维运动的可能性在图1中用运动箭头x、y、z(水平或竖直的线性运动)和b(绕平行于水平运动方向y的横向轴线的倾斜运动)表示。

更具体地，端口处理系统24包括两个用于产生x运动的x线性单元28、28’，这些单元被布置在抛光机11上方机器框架12的两侧上。x线性单元28、28’的x支架29、29’各自承载了相应的枢转安装部30、30’，通过气动缸31的辅助，枢转安装部30、30’使得安装在枢转安装部30、30’上并形成“端口”的y线性单元32能够倾斜，以产生约20°的y运动。通过该方式，安装在y线性单元32的y支架33上的z线性单元34可倾斜而离开竖直方向，从而适应于工件主轴的倾斜设定，该倾斜设定在图中不可见，且发生在装置10、10’、10”处于被安装在机器框架12中的状态中时。抽吸单元25和多指部抓持件26安装在z线性单元34上，以可纵向位移，且特别地，使得抽吸单元25和多指部抓持件26能通过共用的驱动件在相对的方向上运动，即如果抽吸单元25向下运动，则多指部抓持件26同时向上运动，且反之亦然。

至此，对技术人员而言明显的是，通过z线性单元34的运动，待抛光的眼镜镜片l可由端口处理系统24的抽吸单元25提升(z)而离开输送工位上的处方盒23，且接着可沿三个维度运动(b、x、y)并被插入(z)在期望的装置10、10’、10”的倾斜的工件主轴14处，用于通过抛光来加工。在通过抛光来加工后，已被抛光至完成状态的眼镜镜片l可通过多指部抓持件26被提升(z)而离开相应的装置10、10’、10”、被运输(b、x、y)至清洗工位20、并被插入(z)清洗工位20中，用于通过清洗来移除抛光介质残余物。随后，清洁的眼镜镜片l可由多指部抓持件26提升(z)而离开清洗工位20、运动(x、y)至输送工位21上的相应的处方盒23、并被堆置(z)在处方盒23中。由此，眼镜镜片l可根据期望或需要以此方式或以相似的方式由端口处理系统24在装置10、10’、10”与工位20、21之间来回运输。

为了对于装置10进一步描述，现可参考图2至7。特别地，根据图4，装置10的作业空间13由框架36围绕，框架36可构造为例如钢制零件的焊接结构。作业空间13在上方可由波纹状作业空间覆盖件38所覆盖，且在前部处能由滑动门39关闭。为了打开作业空间13以从外部进入，被合适地侧向引导的作业空间覆盖件38可通过气动缸40位移或缩回。此外，提供气动缸41以用于被侧向引导的滑动门39的运动，且合适地枢转连接在滑动门39与框架36之间。作业空间13在下方由槽42界定，槽42由塑料一体深拉而形成，且被合适地紧固至框架36，槽42带有无台阶的壁表面和用于工件主轴14的接纳开口43(参见图6和7)，工件主轴14从下方延伸通过该槽并合适地在周界处密封，从而突出进入作业空间13的下部区域。在图6和7中还可见到用于液体抛光介质的泄放开口44，泄放开口44设置于处于如下状态中槽42的最深处，该状态为：装置10安装在机器框架12中并相较于图6和7中所示状态向下倾斜至左侧。

如在图3至7中可见的，框架36具有基板45，工件主轴14在基板45处从上方通过凸缘安装在槽42中的接纳开口43下方(特别地参见图4、6和7)。工件主轴14在突出进入作业空间13中的端部处具有弹簧夹头46，弹簧夹头46可借助于致动机构(未更详细地示出)致动，从而将被约束在约束件s上的眼镜镜片l夹持至工件主轴14，从而眼镜镜片l被轴向固定并能够被带动旋转。被紧固在基板45下方用于所述致动机构的气动缸由47标示(参见图5至7)，弹簧夹头46可借助于该气动缸以本身已知的方式打开和关闭。如在图5至7中类似地可见的，旋转驱动件48从下方通过凸缘安装在基板45上，在所示的实施例中，旋转驱动件48是速度控制的异步三相马达。类似地在基板45下方的旋转驱动件48通过齿带驱动件与工件主轴14的滚子轴承安装主轴驱动地连接，使得旋转驱动件48能够以预定的转速且以预定的旋转方向(工件旋转轴线c)旋转地驱动工件主轴14。

相对于框架36被引导以可沿线性轴线x驱动的工具支架50设置在工件主轴14上方，用于与工具主轴16、16’共同地运动。更确切地说，设置旋转驱动件53用于工具支架50的运动和定位，旋转驱动件53安装在框架36上的固定位置中且与滚珠丝杠驱动件54驱动地连接，工具支架50被引导在两个平行的引导杆51、52处，引导杆51、52在相对侧上与框架36连接。滚珠丝杠驱动件54具有轴向固定的滚珠丝杠主轴55，滚珠丝杠主轴55在两个端部处可旋转地安装且与螺母56接合，螺母56与工具支架50连接，以固定而抵抗相对旋转。在该情形中，根据图3至5的工具支架50在一个引导杆51处仅借助于一个轴向轴承57(滚珠衬套)来引导，而在另一个引导杆52处则借助于两个轴向轴承58(滚珠衬套)来引导，这两个轴向轴承58在引导杆52的方向上彼此轴向地间隔开，且在图2和4中仅可见到前轴向轴承58。用于使工具支架50运动的旋转驱动件53是伺服马达，该伺服马达与滚珠丝杠主轴55通过例如金属波纹状联接件59连接。由此构建的基本水平延伸的线性轴线x受到数控位置闭环控制；然而，为了简化示意图，未示出相关的行进测量系统。

如在图2、4和5中最佳地可见的，工具支架50具有带有内开口60的框架构造，如从平面图中可见的，内开口60基本为矩形，用于接纳两个可枢转的工具主轴16、16’。在该情形中，一个工具主轴、即前工具主轴16安装在前枢转轭部61上或前枢转轭部61内，前枢转轭部61在开口60的任一侧上与工具支架50可枢转地连接，以能够绕一个枢转设定轴线b限定地枢转，且另一个工具主轴16’安装在后枢转轭部62上，后枢转轭部62在前枢转轭部61之后可枢转地与的工具支架50连接，以能够同样地在开口60的任一侧上绕另一个枢转设定轴线b’限定地枢转。在开口60的任一侧上和在支架侧或轭部侧处的对应的支承点可在图4和5中在63和64处见到。相对于图6和7中的示意图，关于支承点63、64的高度明显的是：这两个枢转设定轴线b、b’位于抽象平面中，该抽象平面沿线性轴线x或平行于线性轴线x延伸。

设置另一线性驱动件65，用于驱动枢转轭部61、62，即用于两个工具主轴16、16’绕枢转设定轴线b、b’的共同的限定的枢转，且线性驱动件65的一个端部在与对应的枢转设定轴线b间隔开的位置处与前枢转轭部61可枢转地连接，且线性驱动件65的另一个端部与工具支架50可枢转地连接。更具体地，在所示的实施例中，线性驱动件65是所谓的“电动气缸”的专利产品，其带有致动杆66，在旋转驱动件67的对应的激励情形中，致动杆66可通过旋转驱动件67和传动件68而运动进和运动出。如果旋转驱动件67不被激励，则在传动件68中发生自锁，即在无过量的外力的情形中，致动杆66保持在其相应的初始设定中；集成的测量系统可反馈相应的位置。该线性驱动件65在其端部处可枢转地安装在安装叉部69上的驱动侧处，安装叉部69安装在工具支架50上，而在线性驱动件65的另一端处，致动杆66可枢转地接合固定至前枢转轭部61的叉形枢转臂70(参见图2至4中的该区域中的螺纹件)。为了将枢转运动从前枢转轭部61传递至后枢转轭部62，两个枢转轭部61、62通过联接杆71驱动连接，联接杆71与枢转设定轴线b、b’间隔开，特别地在枢转设定轴线b、b’上方，且联接杆71的一端在前枢转轭部61(支承点72)处，而联接杆71的另一端在后枢转轭部62(支承点73)处。

在该方面，明显的是，在如上所述形成致动杆66的限定的轴向运动出或运动入的枢转链的情形中，结果是：枢转轭部61、62以限定的方式绕枢转设定轴线b、b’枢转，由此，与相应的枢转轭部61或62对中地布置的工具主轴16、16’在保持彼此平行定向的同时枢转。

关于工具主轴16、16’的其他细节可参考图8和9，图8和9示例性地示出了联接至相应的枢转轭部61、62的两个相同构造的工具主轴16、16’，(还)以剖视图示出前工具主轴16。

工具主轴16包括主轴壳体74，根据图8，工具主轴16由主轴壳体74从下方通过凸缘安装在枢转轭部61上。图8中所示的点划线表示螺纹连接。工具主轴16的其他部件或子组件通过滚子轴承的轴承装置可旋转地安装在主轴壳体74内，轴承装置包括下固定轴承75和上浮动轴承76，下固定轴承75和上浮动轴承76通过间隔衬套77彼此间隔开地安装在主轴壳体74内。

每个工具主轴16、16’具有活塞气缸装置78、78’(也标示在图6和7中)，用于相应的抛光工具18、18’沿相关的工具旋转轴线a、a’的轴向调整(调整轴线z、z’)。根据图8(和图7)，活塞气缸装置78具有活塞80，活塞80被接纳在气缸壳体79中，且以同轴的布置方式与主轴轴杆81在致动方面有效地连接，主轴轴杆81可运动出主轴壳体74。为了使主轴轴杆81运动出主轴壳体74，活塞气缸装置78可通过在气缸壳体79的图中顶部的端部处的专有旋转传动引入件82而受到气动作用。在该情形中，活塞气缸装置78与主轴轴杆81一起可在主轴壳体74中如已表示的那样绕工具旋转轴线a旋转。

此外，根据图8和9，气缸壳体79为两件式的构造，分别是壳体上部分83和壳体下部分84，壳体上部分83和壳体下部分84相对于彼此对中地在85处通过螺纹连接在一起。在该方面，无机玻璃的引导套管86被接纳在内部用于内衬气缸壳体79，引导套管86借助o形环87被固定在壳体上部分83中，且在引导套管86中，在其引导表面处包含石墨材料的活塞80被接纳成可纵向位移。运行非常简单且基本没有粘滑的该类型“玻璃气缸”可从例如美国康涅狄格州的诺沃克的爱尔颇特公司(airpotcorporation)商购获得。为了避免可能(理想地)由同轴布置的部件中的轴向对准误差所导致的卡住，活塞气缸装置78的活塞80通过弹簧钢的细杆88、且特别是通过图8和9中所示的在杆88的顶部和底部处的螺纹连接件与主轴轴杆81耐拉伸且耐压缩地连接。

在图中的顶部处，气缸壳体79的壳体下部分84由浮动轴承76可旋转地沿径向方向支承在主轴壳体74上。在图中的底部处，借助于螺纹连接件90，迷宫构件89通过凸缘安装在壳体下部分84上，在该情形中，螺纹连接件90与壳体下部分84一起将固定轴承75的内圈压接到位。如其名称所表示的，迷宫构件89与主轴壳体74的下侧一起在91处形成带有狭窄间隙尺寸的密封迷宫，且附加地在密封迷宫91内径向地具有用于接纳密封环93的环形凹陷部92，密封环93的密封唇部相似地且可密封地与主轴壳体74的下侧配合。

如图8所示，气缸壳体79的壳体上部分83穿过形成于枢转轭部61中的开口94，并在图8中向上突出于开口94上方。气缸壳体79的壳体上部分83在外周界处设置有齿95(参见图9)，用于通过齿带96接合。齿带96可通过马达97借助带滑轮98来驱动，从而使主轴壳体74中的活塞气缸装置78和因而主轴轴杆81以旋转速度和旋转方向可控制地绕工具旋转轴线a旋转，马达97从上方通过凸缘安装在枢转轭部61上且对于每个枢转轭部61、62相似地具有相同的构造。

此外，设置带有引导沟槽100的花键轴杆引导件99和凸缘螺母102，用于从活塞气缸装置78的、因而从旋转的可驱动的气缸壳体79至主轴轴杆81的转矩传递，引导沟槽100形成于主轴轴杆81中，凸缘螺母102通过轴向轴承件101与引导沟槽100接合，由于轴向轴承件101本身是已知的，故而在图8和9中仅用粗线表示，且凸缘螺母102被接纳在迷宫构件89中，并通过螺纹连接件103通过凸缘安装在迷宫构件89上，使得凸缘螺母102与气缸壳体79连接，以固定而抵抗相对旋转。该类型的花键轴杆引导件可从例如日本小地谷市的日本轴承有限公司(nipponbearingcoltd)商购获得。

至此，明显的是，工具主轴16、16’的主轴轴杆81、81’可彼此独立地在给定的时间、在旋转速度和旋转方向上可控地绕工具旋转轴线a、a’被驱动地旋转，和/或可在给定的情形中同样以非常精细的敏感度彼此独立地沿工具旋转轴线a、a’调整(调整轴线z、z’)。

关于目前优选地用于该装置10中的抛光工具18的细节可类似地参考图8和9。据此，抛光工具18具有工具安装头104，工具安装头104带有安装板105，安装板105固定至工具主轴16的主轴轴杆81，以能够被轴向地和旋转地带动，且同时可拆卸。

抛光盘106可替换地安装在工具安装头104上，为此目的，抛光盘106的基座本体107和工具安装头104、更确切地说是和工具安装头104的安装板105设置有互补的结构108，用于通过工具安装头104轴向止动并旋转带动抛光盘106。由互补的结构108形成的位于抛光盘106与工具安装头104之间的该交界部是文献ep2464493b1的主题，为了避免重复，关于该交界部的构建和功能可参考该文献。

在安装板105远离抛光盘106的一侧上，工具安装头104具有带有球形头111的球接头109，球形头111被接纳在球形接口110中且被构建在球接销112处，球接销112可固定至工具主轴16的主轴轴杆81，更确切地说，能够在其端部处被旋入。另一方面，球形接口110形成于安装板105中，且抛光盘106可由安装板105止动。在所示的实施例中，球形头111具有用于横向销114的接纳钻孔113，横向销114通过倒圆端部延伸通过球形头111并在球形头111的任一侧接合在球形接口110中的相关凹陷部115中，从而将安装板105以万向接头的方式与球形头111、并因而与工具主轴16的主轴轴杆81连接，以能够被旋转带动。

此外，圆形的环形支承凸缘116被引入在球接销112与主轴轴杆81的自由端部之间，并借助于球接销112被固定至主轴轴杆81。例如包含合适的泡沫材料的弹性环形件117搁置于支承凸缘116，通过该环形件，工具安装头104的安装板105可在球接销侧被弹性地支承于支承凸缘116，使得由安装板104止动的抛光盘106力求通过其中心轴线与球接销112、并因而与工具主轴16的主轴轴杆81自对准。

此外，在图8和9中可见到，在主轴轴杆81的轴向缩回的设定中(参见图9)，工具安装头104可由作为与连接气缸壳体79的一部分的迷宫构件89止动，以借助止动装置118固定而抵抗相对旋转。止动装置118具有多个弹簧突出部119，多个弹簧突出部119围绕工具安装头104的周界分布，并沿工具旋转轴线a突出，且多个弹簧突出部119与形成于迷宫构件89处的环形沟槽121中的凸耳120机械地形状接合。抛光工具18因而可通过在工具主轴16的缩回设定中被止动，从而无需力就能被安装。为了识别抛光工具18的向上运动位置和因而工具主轴16的工具装载位置，环形磁铁rm在活塞气缸装置78的活塞80中被胶接在位，并与旋转传动引入件82附近的磁传感器ms(参见图2、6和7)配合。

与基座本体107相比更软且抛光介质支架123搁置于其上的弹性材料中间层122被固定至此处示出的抛光盘106的基座本体107，抛光介质支架123形成抛光盘106的实际外加工表面124。至此，抛光盘106的设计是特别的，这是由于中间层122具有至少两个不同硬度的区域，这两个区域沿抛光盘106的中心轴线方向一个布置在另一个之后，其中，中间层122与基座本体107相邻的区域与比中间层122的其上搁置有抛光介质支架123的区域更软。更确切地说，中间层122的两个区域在此由分别具有沿抛光盘106的中心轴线观察为恒定厚度的相互不同的泡沫材料层125、126形成，即基座本体107、更确切地是其球形端表面127上较软的泡沫材料层125，以及在抛光介质支架123下方的较硬的泡沫材料层126。在该情形中，抛光盘106的各个部件(107、125、126、123)被胶接在一起。可通用于许多不同的工件曲率的该抛光盘106、特别是其实际构造和尺寸是同一申请日提交的平行德国专利申请de102014015052.6的主题，在此为避免重复，关于该方面可参考该申请。

根据相应的抛光需求，其他抛光工具或抛光盘明显也可用于装置10。因而，例如可能使用根据文献us7559829b2的不带单独的旋转驱动件的工具。在该情形中，稍长的球接销的球形头中的安装钻孔和横向销将和本文中所示的抛光工具的支承凸缘和弹性环形件一样是多余的。替代地，将使用类似的但直径稍大的且带有外径向沟槽的凸缘，用于接纳波纹件。由于装置10具有一个布置在另一个之后的两个主轴16、16’，还有可能使用“混合驱动件”，其中，如图中所示，在一个工具主轴16处为被驱动主动旋转的抛光工具18，而在另一个工具主轴16’处仅为例如根据文献us7559829b2的被带动的“从动”旋转的抛光工具。

能够由装置10的前述运动学特性执行的不同的抛光过程对于本领域技术人员而言是熟知的，因而在此将不更详细地描述，且在这些过程中，液体抛光介质通过设置在工件主轴14处的抛光介质喷嘴128被施加至工具与工件之间的作用点处(参见图4至7，其中，一个这种喷嘴作为分布在工件主轴14的周界处的多个喷嘴的示例被示出)。

一种用于精加工特别是作为工件的眼镜镜片的光学有效表面的装置，包括工件主轴和两个工具主轴，工件主轴突出进入作业空间中，且待抛光的工件由工件主轴绕工件旋转轴线(c)旋转驱动，两个工具主轴与工件主轴相关联且相对地突出进入作业空间中。相应的抛光工具安装在可被驱动而绕工具旋转轴线(a、a’)旋转的每个工具主轴上，且可沿工具旋转轴线轴向地调整(调整轴线z、z’)。此外，各工具主轴可一起沿基本垂直于工件旋转轴线延伸的线性轴线(x)相对于工件主轴运动，且可绕基本垂直于工件旋转轴线并基本垂直于线性轴线延伸的不同的枢转设定轴线(b、b’)枢转。在该情形中，如沿线性轴线的方向所见的，工具主轴一个布置在另一个后面。这种布置的结果是：装置具有非常紧凑的结构且可广泛用于不同的抛光过程和抛光策略中。

附图标记列表

10,10’,10”装置

11抛光机

12机器框架

13作业空间

14工件主轴

16,16’工具主轴

18,18’抛光工具

20清洗工位

21输送工位

22传送带

23处方盒

24端口处理系统

25抽吸单元

26多指部抓持件

28,28’x线性单元

29,29’x支架

30,30’枢转安装部

31气动缸

32y线性单元

33y支架

34z线性单元

36,36’,36”框架

38,38’,38”作业空间覆盖件

39,39’,39”滑动门

40,40’,40”气动缸

41,41’,41”气动缸

42槽

43接纳开口

44泄放开口

45基板

46弹簧夹头

47气动缸

48,48’,48”旋转驱动件

49齿带驱动件

50工具支架

51引导杆

52引导杆

53旋转驱动件

54滚珠丝杠驱动件

55滚珠丝杠主轴

56螺母

57轴向轴承

58轴向轴承

59金属波纹状联接件

60开口

61前枢转轭部

62后枢转轭部

63支架处的支承点

64轭部处的支承点

65,65’,65”线性驱动件

66致动杆

67旋转驱动件

68传动件

69安装叉部

70枢转臂

71联接杆

72支承点

73支承点

74主轴壳体

75固定轴承

76浮动轴承

77间隔衬套

78,78’活塞气缸装置

79气缸壳体

80活塞

81,81’主轴轴杆

82,82’旋转传动引入件

83壳体上部分

84壳体下部分

85螺纹连接件

86引导套管

87o形环

88杆

89迷宫构件

90螺纹连接件

91密封迷宫

92环形凹陷部

93密封环

94开口

95齿

96齿带

97马达

98带滑轮

99花键轴杆引导件

100引导沟槽

101轴向支承件

102凸缘螺母

103螺纹连接件

104工具安装头

105安装板

106抛光盘

107基座本体

108互补的结构

109球接头

110球形接口

111球形头

112球接销

113接纳钻孔

114横向销

115凹陷部

116支承凸缘

117弹性环形件

118止动装置

119弹簧突出部

120凸耳

121环形沟槽

122中间层

123抛光介质支架

124加工表面

125较软的泡沫材料层

126较硬的泡沫材料层

127端表面

128抛光介质喷嘴

a前抛光工具的旋转轴线(旋转速度被开环控制)

a’后抛光工具的旋转轴线(旋转速度被开环控制)

b端口处理系统的倾斜运动

b前抛光工具的枢转设定轴线

b’后抛光工具的枢转设定轴线

c工件旋转轴线(旋转速度被开环控制)

cc第二光学有效表面

cx第一光学有效表面

l眼镜镜片

m约束材料

ms磁传感器

rm环形磁铁

s约束件

x端口处理系统的线性运动

x工具支架的线性轴线(位置被闭环控制)

y端口处理系统的线性运动

z端口处理系统的线性运动

z前抛光工具的调整轴线(未控制)

z’后抛光工具的调整轴线(未控制)