技术总结
本发明公开了一种氧化镓单晶用的研磨垫及其制备方法。该研磨垫由下而上依次包括研磨垫布基和混合磨粒胶层，所述混合磨粒胶层由树脂胶、磨料与水溶性研磨助剂混合而成。选研磨垫布基；按照质量分数计称取树脂胶25%‑40%、磨料5%‑10%、水溶性研磨助剂30%‑40%、余量为去离子水；将上述材料组分按合适比例称取，依次加入树脂胶、研磨助剂和磨料、去离子水搅拌均匀得第一混合物；将第一混合物均匀喷涂于研磨垫布基表面，获得研磨垫半成品；将研磨垫半成品烘干即得成品研磨垫。本发明研磨垫可实现磨料的交替使用，提高了研磨效率高，且不会带来大的划痕。
技术研发人员：黄传锦;周海;顾斌;徐晓明;龚凯
受保护的技术使用者：盐城工学院
文档号码：201610649903
技术研发日：2016.08.10
技术公布日：2017.01.04