技术总结
一种钨钼合金旋转靶材的生产方法，包括以下步骤：首先选取钨粉和钼粉并进行混料，混料完成后装入模具进行压制成坯，然后经烧结后脱模，形成粗品，制备的粗品经机械加工、退火处理、化学物理检测和超声清洗后形成靶材，配制钨钼喷涂粉末，将钨钼喷涂粉末喷涂到靶材的腔体内形成产品，本发明工艺简单，不仅大大了降低了旋转靶材的生产成本，而且制备的靶材具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击等优良性能，从而适用于大面积TFT薄膜的生产。
技术研发人员：张灵杰
受保护的技术使用者：洛阳科威钨钼有限公司
文档号码：201610989417
技术研发日：2016.11.10
技术公布日：2017.03.22