技术特征：
技术总结
本发明涉及一种蓝宝石基板单面研磨装置，包括：机架，具有转轴；设置于所述机架上研磨台，具有研磨面，所述研磨面用于对位于所述研磨台上的蓝宝石基板研磨；均匀分布于所述研磨面上的凹槽；填充于所述凹槽内的填充物，所述填充物的填充高度低于凹槽的深度，且所述填充物的高度可根据所述研磨面的降低而削减，以使所述填充物与所述研磨面保持高度差；涂覆于所述研磨面的研磨浆液，所述研磨面通过所述研磨浆液对位于研磨面的蓝宝石基板的表面研磨。由于上述填充物的存在，该凹槽内的填充物的上表面与上述研磨面始终保持不大的高度差，这样便不会浪费较多的研磨浆料。
技术研发人员：苗泽明;黄朝辉;林岳明
受保护的技术使用者：苏州爱彼光电材料有限公司
技术研发日：2016.12.01
技术公布日：2017.08.18