技术特征：
技术总结
本发明公开了用于减少在具有冷却气体进料块的高温处理腔室中的粒子污染形成的方法和设备的技术。所述冷却气体进料块具有主体。所述主体具有主中心部分，所述主中心部分具有顶表面和底表面。所述主体还具有凸缘，所述凸缘从所述主中心部分的所述底表面向外延伸。气体通道穿过所述主体设置。所述气体通道具有在所述主中心部分的所述顶表面中形成的入口和在所述主中心部分的所述底表面中形成的出口。所述主体还具有中心冷却剂通道。所述中心冷却剂通道具有第一部分和耦接至所述第一部分的第二部分，所述第一部分具有在所述主中心部分的顶表面中形成的入口，所述第二部分具有在所述凸缘的侧壁上形成的出口。
技术研发人员：戈文达·瑞泽;哈里斯·库马尔·帕纳瓦拉菲·库马兰库蒂;林·张;斯坦利·吴
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.12.19
技术公布日：2017.08.11