一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法与流程

文档序号:12415706阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上;

(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干;

(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头,若无任何污染则放入炉内,用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜;镀膜采用的靶材为乙炔,镀膜条件如下:真空度为5×10-3—8×10-3Pa,温度180—280℃,溅射时间为1—3h;镀膜后将钽喷丝头冷却至100℃以下,即得表面镀DLC膜的钽喷丝头。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述的清洗是先将表面抛光后的钽喷丝头在浓度为98%的硫酸中,于140℃条件下进行煮酸处理25—35min,然后用清水冲洗后再用去离子水清洗,再在超声清洗槽里用酒精、丙酮和去离子水依次进行超声清洗。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(3)所述显微镜为放大150倍的测量显微镜。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(3)所述溅射时间为60—80min。

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