1.一种工作盘，其特征在于，所述工作盘的下底面平整，所述工作盘的上底面设有凹槽，所述凹槽用于放置待加工圆片；
所述凹槽的深度与所述待加工圆片的目标厚度的差值小于预设值，所述预设值的标准差为±5微米；
采用蜡液将所述待加工圆片需减薄的一面朝上固定在所述凹槽内。
2.根据权利要求1所述的工作盘，其特征在于，所述凹槽均匀分布在所述工作盘的上底面的圆周区域。
3.根据权利要求1所述的工作盘，其特征在于，所述凹槽均匀分布在所述工作盘的上底面。
4.根据权利要求1所述的工作盘，其特征在于，所述凹槽具有平边。
5.根据权利要求1所述的工作盘，其特征在于，所述工作盘的下底面吸附在研磨机或抛光机的工作台上工作。
6.根据权利要求1所述的工作盘，其特征在于，所述工作盘的材质为耐高温材料。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的工作盘，其特征在于，所述工作盘的直径大小根据研磨机或抛光机的工作台大小确定，所述工作盘的厚度根据所述待加工圆片的目标厚度确定。