工作盘的制作方法

技术总结
本实用新型提供一种工作盘。该工作盘的下底面平整，工作盘的上底面设有凹槽，该凹槽用于放置待加工圆片。本实用新型通过在工作盘的上底面设置凹槽，使得待加工圆片相对固定在凹槽内，从而避免由于研磨机或抛光机异常或参数设置错误所导致的最终获得的圆片误差过大或区域性损坏，以提高产品的良品率。

技术研发人员：段中红;曹喜平;韩晓翠;陈向东;康建
受保护的技术使用者：圆融光电科技股份有限公司
文档号码：201620731866
技术研发日：2016.07.12
技术公布日：2017.03.08