1.一种管式PECVD特气炉，包括石英炉管(1)，所述石英炉管(1)中设置有用于承载硅片的石墨舟，所述石墨舟包括若干个竖直设置的石墨舟片(2)，所述石英炉管(1)的一端为开设有炉门的炉口(3)，另一端为炉尾(4)，所述炉尾(4)处设置有出气口(41)，其特征在于，所述石英炉管(1)中设置有位于所述炉口(3)和炉尾(4)之间的喷淋管(5)，所述喷淋管(5)仅设置在所述石墨舟的上方或者下方，沿所述喷淋管(5)还设有用于喷出镀膜气体的喷气孔(51)，所述喷气孔(51)朝向所述石墨舟开设。
2.如权利要求1所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述喷淋管(5)位于所述石墨舟片(2)的正上方或者位于相邻两个所述石墨舟片(2)的中间的正上方。
3.如权利要求2所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述喷淋管(5)的数量至少为2根，且多根所述喷淋管(5)沿垂直于所述喷淋管(5)的方向均匀布置。
4.如权利要求1-3任一项所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述喷气孔(51)沿所述喷淋管(5)均匀布置。
5.如权利要求1所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，沿所述喷淋管(5)垂直均布有喷淋支管(52)，所述喷淋支管(52)对称于所述喷淋管(5)设置。
6.如权利要求5所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述喷气孔(51)均布于所述喷淋支管(52)。
7.如权利要求1、2、3、5和6任一项所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述喷气孔(51)在水平面的投影沿垂直于所述喷淋管(5)的方向位于所述石墨舟对应的区域内。
8.如权利要求1、2、3、5和6任一项所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述石英炉管(1)的炉口(3)或炉尾(4)处设置有进气口(42)，所述喷淋管(5)的端部与所述进气口(42)连通。
9.如权利要求1、2、3、5和6任一项所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所有的所述喷气孔(51)的面积一致。
10.如权利要求1、2、3、5和6任一项所述的管式PECVD特气炉，其特征在于，所述喷气孔(51)在水平面的投影区域沿所述喷淋管(5)的方向超出所述石墨舟对应的区域。