光学玻璃微米级空间碎片防护膜的制作方法

文档序号:11647635阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种光学玻璃微米级空间碎片防护膜,包括依次设置在光学玻璃表面上的弹簧结构、底层薄膜和纳米多层连续薄膜,弹簧结构紧密结合在基底光学玻璃上,采用掠射角沉积技术获得,用于缓冲微小碎片的撞击能量;底层薄膜为整体的连续膜层,在氩气氛围下通过磁控溅射技术制备;纳米多层膜由DLC膜和Al膜多层交替制备而成,纳米多层膜旨在获得硬度和韧性具佳的薄膜,减小碎片撞击导致薄膜裂纹的发生。

技术研发人员:姜海富;曹燕;牟永强;周晶晶;杨继运
受保护的技术使用者:北京卫星环境工程研究所
技术研发日:2017.03.29
技术公布日:2017.07.28
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