应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置的制作方法

本发明系提供一种应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，尤指通过少量镀膜液来镀膜多片基材的镀膜设备。

背景技术

按，太阳能薄膜电池主要结构包括基板、下电极层、吸收层、缓冲层、透光层、抗反射层、上电极层等，其中缓冲层可用于保护电池表面，以避免于后续电浆制程中受到损伤，若缓冲层过薄即无法阻挡电浆而产生损伤，而若缓冲层过厚则会增加电阻，导致电池效率迅速下降，所以缓冲层厚度与均匀度等均会影响太阳能电池的发电效率及品质，因此，缓冲层的制程、厚薄度必需严格控管。

然而，一般太阳能电池中缓冲层的生产方式为利用化学水浴沉积法(chemicalbathdeposition；cbd)镀膜技术，此种镀膜技术是在化学水浴槽内添加镀膜液，并在镀膜液中浸泡有至少一片缓冲层的基材，再通过加热装置来对镀膜液加热，以凭借镀膜液来对基材镀膜，而这种镀膜方式因气泡排除不易，所以镀膜均匀度差，以致于制造出的太阳能电池的品质相当差，且因镀膜的过程中，也需于化学水浴槽中添加大量镀膜液，所以待镀膜作业完成后，也会伴随着大量的废液产生，进而对周围环境造成影响。

是以，要如何上述问题与缺失，即为从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。

技术实现要素：

本发明的目的在于：提供一种应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，解决现有技术中存在的上述技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其特征在于：包括承载装置、置物机台及水浴镀膜机台，其中：

该承载装置包括输送机构及承载机构，其中该输送机构设有取放部，并在取放部上方处设有带动取放部位移的传动模块，且输送机构下方处活动装设有承载机构，该承载机构具有基板，而基板底面设有供预设复数基材定位的复数定位区间，再在基板表面上设有供活动组装于取放部上的接合部，而该承载机构的各定位区间周围处设有固定于基板底面处且供吸取预设复数基材表面的复数磁吸装置；

该置物机台设有供摆放预设复数基材以供复数磁吸装置吸取的置物平台；

该水浴镀膜机台具有加热装置，并在加热装置上方处设有受加热装置加热以对预设复数基材镀膜的水浴镀膜槽体，且水浴镀膜槽体内部形成有供承载机构置入的容置空间，而容置空间内部添加有供覆盖预设复数基材表面的镀膜液。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该输送机构的取放部具有复数横杆，并在复数横杆二端连接有支架，而该承载机构的接合部上设有供勾持于复数横杆上的复数勾扣。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该取放部的各横杆上设有间隔排列的复数限位环，而复数限位环之间勾持有接合部的勾扣。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该输送机构的传动模块设有朝下延伸的至少一根升降杆，且升降杆末端处设有结合于取放部上的升降装置。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该承载机构的基板对位于复数磁吸装置位置处贯设有复数穿孔，而该磁吸装置具有从基板上方处向下穿过穿孔内的锁固元件，该锁固元件具有供止挡于基板上的头部，并在头部底面处延伸有穿出穿孔处的螺接部，而锁固元件锁设有位于基板下方处套筒，且套筒上方处穿设有供与螺接部相互螺合的螺孔，再在螺孔下方处凹设有外径较大的容置槽，且容置槽内部收纳有磁铁。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该承载机构的复数定位区间具有一共同平面。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该承载装置的承载机构位于基板相对二侧处设有限位部，且各限位部设有朝外延伸的凸板，并在凸板上纵向穿设有限位孔，且该置物机台的置物平台相对二侧处设有第一定位部，再在各第一定位部上设有供限位孔套设的第一定位柱，而该水浴镀膜机台的水浴镀膜槽体位于容置空间底面相对二侧处设有第二定位部，并在各第二定位部上设有供限位孔套设的第二定位柱。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该置物机台的置物平台表面上设有供吸附预设复数基材底面的复数抽风孔，且复数抽风孔下方处连接有至少一台使其产生吸力的抽风装置。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该水浴镀膜机台的加热装置内部穿设有复数加热棒，且水浴镀膜机台的水浴镀膜槽体一侧枢设有供开启或盖合于容置空间开口处的盖板，再在水浴镀膜槽体一侧处设有使镀膜液产生晃动的摇晃装置，该摇晃装置位于加热装置下方处设有底座，并在底座一侧处连设有使其产生水平摇晃的作动部。

所述的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置，其中：该水浴镀膜槽体的容置空间底面处抵贴有预设复数基材。

本发明的主要优点乃在于该复数基材于镀膜作业时，可通过摆放呈平面状的复数基材，来减少使用镀膜液，以降低材料、制造成本，且使用少量的镀膜液也可缩短镀膜液到达化学反应的时间，进而缩短整体制程的时间，且待镀膜完成后，也可减少废液的产生，降低处理废液的成本及环境污染、影响。

本发明的次要优点乃在于该水浴镀膜机台加热时，可凭借水浴镀膜槽体来直接对复数基材进行加热，以提高对复数基材加热均匀性，如此减少均质成核的生成及提升镀膜均匀度，且可配合摇晃装置使用，提升镀膜均匀度及加速化学反应速度。

本发明的另一优点乃在于该承载装置为通过输送机构来使承载机构的定位区间可承载有多片基材，并可再通过输送机构来将承载有复数基材的承载机构运送至后续镀膜、水洗、风干或收料等制程中，以具有自动、量产化的效果，降低制程时间及提升制程效率、产能。

本发明的再一优点乃在于该承载机构为可依不同尺寸的基材来变更复数定位区间的尺寸，即可通过更换承载机构，来供不同尺寸的复数基材放置，进而提升使用上的便利性，降低设备成本。

本发明的又一优点乃在于该复数基材为通过复数磁吸装置来分别稳固定位于承载机构的复数定位区间中，进而避免于运输或镀膜等过程中，产生偏移、掉落情况，如此提升作业时的稳定、流畅性，进而提高作业时的精确、准确度。

附图说明

图1是本发明的立体外观图。

图2是本发明承载装置与置物机台的立体外观图。

图3是本发明承载装置的立体分解图。

图4是本发明承载装置另一视角的立体分解图。

图5是本发明图3中a部份的放大图。

图6是本发明使用于置物机台上的使用状态图。

图7是本发明承载机构置入于水浴镀膜机台中时的立体外观图。

图8是本发明水浴镀膜机台使用时的动作示意图。

图9是本发明承载机构从水浴镀膜机台中取出时的立体外观图。

附图标记说明：1-承载装置；11-输送机构；111-取放部；1111-横杆；1112-支架；1113-限位环；112-传动模块；1121-升降杆；1122-升降装置；12-承载机构；120-定位区间；121-基板；1211-穿孔；122-接合部；1221-勾扣；123-限位部；1231-凸板；1232-限位孔；13-磁吸装置；131-锁固元件；1311-头部；1312-螺接部；132-套筒；1321-螺孔；1322-容置槽；133-磁铁；2-置物机台；21-置物平台；211-第一定位部；2111-第一定位柱；22-抽风孔；23-抽风装置；3-水浴镀膜机台；31-加热装置；311-加热棒；32-水浴镀膜槽体；320-容置空间；3201-开口；321-盖板；322-第二定位部；3221-第二定位柱；33-摇晃装置；331-底座；332-作动部；4-基材；5-镀膜液。

具体实施方式

为达成上述目的与功效，本发明所采用的技术手段及其构造、实施的方法等，兹绘图就本发明的较佳实施例详加说明其特征与功能如下，俾利完全了解。

请参阅图1、图2、图3、图4、图5所示，本发明的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置包括承载装置1、置物机台2及水浴镀膜机台3，其中：

该承载装置1所具的输送机构11设有具复数横杆1111的取放部111，并在复数横杆1111二端连设有复数支架1112，再在取放部111上方处设有供带动取放部111位移的传动模块112，而传动模块112设有朝下延伸的至少一根升降杆1121，且升降杆1121末端处设有结合于复数支架1112间的升降装置1122，而输送机构11下方处活动组装有承载机构12，其承载机构12具有平整状的基板121，并在基板121底面处设有呈共平面状的复数定位区间120，且基板121表面上设有供活动组装于取放部111上的接合部122，再在接合部122上设有供勾持于取放部111的复数横杆1111上的复数勾扣1221，而该承载机构12的各定位区间120周围处设有供固定于基板121底面处的复数磁吸装置13。

该置物机台2设有一平整状的置物平台21，并在置物平台21表面上设有复数抽风孔22，且复数抽风孔22下方处连接有至少一台使其产生吸力抽风装置23，然而，有关抽风装置23如何产生吸力及其电源线(图中未示出)与外部电源连接供电的方式是现有技术的范畴，且该细部的构成并非本案的发明重点，故不再赘述，以供了解。

该水浴镀膜机台3具有一加热装置31，并在加热装置31内部穿设有复数加热棒311，再在加热装置31上方处设有受加热装置31加热的水浴镀膜槽体32(可为不锈钢或铝合金等材质制成，且于表面成形有铁氟龙)，且水浴镀膜槽体32内部形成有具开口3201的容置空间320，而水浴镀膜槽体32一侧枢设有可供开启或盖合于容置空间320的开口3201处的盖板321，再在水浴镀膜槽体32一侧处设有可使其产生晃动的摇晃装置33，其摇晃装置33位于加热装置31下方处设有一底座331，并在底座331一侧处连设有使其产生水平摇晃的作动部332，然而，有关加热装置31的复数加热棒311如何产生热能并对水浴镀膜槽体32进行加热，且摇晃装置33的底座331如何通过作动部332来产生摇晃，以及加热装置31与摇晃装置33的电源线(图中未示出)与外部电源连接供电的方式是现有技术的范畴，且该细部的构成并非本案的发明重点，故不再赘述，以供了解。

上述取放部111的各横杆1111上设有间隔排列的复数限位环1113，而复数限位环1113之间为勾持有接合部122的勾扣1221，即可通过复数限位环1113来防止勾扣1221产生横向位移，以具有稳固定位、使用的效果，且该输送机构11的传动模块112为可带动取放部111上、下、左、右、前、后多方向位移，然而，有关输送机构11的传动模块112可为减速马达、带动螺杆、气压缸或油压缸等，且此种传动模块112的种类与型式很多，其基本构造与运动方式随着应用范围的不同也大多不尽相同，也可依实际的应用变更实施，而该细部的构成并非本案的发明要点，在此仅作简单叙述，以供了解。

再者，上述承载机构12的基板121对位于复数磁吸装置13位置处贯设有复数穿孔1211，而该承载机构12的磁吸装置13具有从基板121上方处向下穿过穿孔1211内的锁固元件131，其锁固元件131具有供止挡于基板121上的头部1311，并在头部1311底面处延伸有穿出穿孔1211处的螺接部1312，而锁固元件131锁设有位于基板121下方处的套筒132，且套筒132上方处穿设有供与螺接部1312相互螺合的螺孔1321，再在螺孔1321下方处凹设有外径较大的容置槽1322，且容置槽1322内部收纳有供磁铁133。

然而，上述磁吸装置13的锁固元件131较佳为可由导磁材质制成，当磁吸装置13的套筒132锁设有锁固元件131时，即可凭借导磁材质的锁固元件131来将磁铁133稳固吸附于套筒132的容置槽1322内，以避免磁铁133发生脱离，但于实际应用时，其锁固元件131也可为非导磁材质所制成，仅需使磁铁133的外径略大于容置槽1322的外径即可，当磁铁133装入于容置槽1322中时，即会产生紧迫定位，进而达到避免磁铁133发生脱离的效果；另外，该磁吸装置13较佳为利用磁铁133来具有磁力作用，但于实际应用时，其磁吸装置13也可通过通电方式来产生磁力作用，以将磁吸装置13作为电磁铁使用。

又，上述承载装置1的承载机构12位于基板121相对二侧处设有限位部123，且各限位部123设有朝外延伸的凸板1231，并在凸板1231上纵向穿设有限位孔1232，而该置物机台2的置物平台21相对二侧处设有第一定位部211，且各第一定位部211上设有凸起的第一定位柱2111，另该水浴镀膜机台3的水浴镀膜槽体32位于容置空间320底面相对二侧处设有第二定位部322，而各第二定位部322上设有凸起的第二定位柱3221。

另外，上述水浴镀膜机台3的加热装置31较佳为利用复数加热棒311来对水浴镀膜槽体32进行加热作业，但于实际应用时，其加热装置31也可为加热板、加热片、红外线加热器或电磁波加热器等，其仅需具有对水浴镀膜槽体32加热的功能即可，非因此即局限本发明的专利范围，如利用其他修饰及等效结构变化，均应同理包含于本发明的专利范围内，合予陈明。

再请参阅图6、图7、图8、图9，本发明于实际使用时，可先于置物机台2的置物平台21上水平放置有具可挠性的复数基材4﹝如：cigs(铜铟镓硒；copperindiumgalliumdiselenide)电池用的不锈钢板、钛板、铝板或软板等具可挠性的板材﹞，并开启置物机台2的抽风装置23，以使复数抽风孔22产生吸力，凭借使复数基材4稳固定位于置物平台21上，而不易产生晃动、偏移的情形，此时，便可通过输送机构11的传动模块112来将承载机构12对位于置物平台21上方处，并利用传动模块112的升降装置1122来于升降杆1121上进行下降位移，以连动承载机构12向下位移，且通过承载机构12二侧限位部123的限位孔1232来对位套设于置物平台21二侧第一定位部211的第一定位柱2111上呈一限位，同时，该承载装置1即会凭借复数磁吸装置13的磁铁133来吸取基材4，以使基材4顶面平贴于复数磁吸装置13底面处并呈一共同平面，进而使复数基材4分别稳固定位于承载机构12的复数定位区间120中，然而，该输送机构11续可再通过传动模块112来带动吸取有复数基材4的承载机构12位移，以供前往下一站水浴镀膜机台3进行镀膜作业。

且待输送机构11对位于水浴镀膜机台3上方处后，可先于水浴镀膜槽体32的容置空间320中添加有镀膜液5，再通过输送机构11的传动模块112来带动承载机构12向下位移，以将承载机构12移动放置于水浴镀膜槽体32的容置空间320底面处，并利用承载机构12二侧限位部123的限位孔1232来对位套设于水浴镀膜槽体32内部二侧第二定位部322的第二定位柱3221上呈一限位，进而使复数基材4抵贴于水浴镀膜槽体32的容置空间320底面处，且隐没至镀膜液5中，便可再凭借传动模块112来带动取放部111的复数横杆1111垂直位移，再水平位移，进而使复数横杆1111脱离承载机构12接合部122的复数勾扣1221勾持，再利用传动模块112来将取放部111从水浴镀膜槽体32的容置空间320中向上取出。

且待输送机构11离开水浴镀膜槽体32的容置空间320后，续可将水浴镀膜槽体32的盖板321向下盖合于容置空间320上，以防止镀膜液5散失并具保温效果，再启动水浴镀膜机台3的加热装置31，此时，其加热装置31即会通过复数加热棒311来对水浴镀膜槽体32进行加热，以使水浴镀膜槽体32内的镀膜液5产生化学反应，进而使复数基材4开始进行镀膜作业，而该复数基材4于镀膜的过程中，可同时启动水浴镀膜机台3的摇晃装置33，其摇晃装置33便会凭借作动部332来使底座331产生水平摇晃，以使水浴镀膜槽体32内的镀膜液5产生晃动，以提升镀膜均匀度及加速镀膜化学反应速度，然而，其因复数基材4底面为直接抵贴于水浴镀膜槽体32的容置空间320底面处，所以水浴镀膜槽体32便会直接将热能传导至复数基材4，如此减少复数基材4表面所产生的均质成核(homogeneousnucleation)，进而提高镀膜层品质，且待镀膜液5镀膜反应完成后，便可再将水浴镀膜槽体32一侧的盖板321向上掀开，再通过输送机构11的传动模块112来将承载机构12再次勾持于取放部111上，以凭借传动模块112来带动承载机构12向上位移，进而使承载机构12从水浴镀膜槽体32的容置空间320中取出，以凭借本发明的多片式化学水浴镀膜装置来完成复数基材4镀膜的作业，而该镀膜完成的复数基材4可进行后续的水洗、风干或收料等作业。

上述基材4面积约可介于200～10000平方公分之间，其承载机构12为可依据不同尺寸的基材4来变更复数定位区间120的尺寸大小(即改变复数磁吸装置13围绕的空间大小)，且因承载机构12为通过接合部122来活动组装于输送机构11的取放部111上，所以仅需更换承载机构12，即可达到供不同尺寸的复数基材4放置的效果。

本发明具有下列的优点：

(一)复数基材4于镀膜作业时，由于复数基材4摆放呈平面状，且镀膜液5只要覆盖过复数基材4即可进行，所以仅需使用少量的镀膜液5，便可进行镀膜作业，以降低材料、制造成本，且因使用少量的镀膜液5也可缩短镀膜液5到达化学反应的时间，进而缩短整体制程的时间，且待镀膜完成后，其因使用少量的镀膜液5，也可减少废液的产生，如此降低处理废液的成本及对环境的污染、影响。

(二)该水浴镀膜机台3的加热装置31于加热的过程中，可凭借水浴镀膜槽体32来直接对复数基材4进行加热，即可提高对复数基材4加热均匀性，如此减少均质成核的生成及提升镀膜均匀度，且可配合摇晃装置33使用，来进一步提升镀膜均匀度及加速镀膜化学反应速度。

(三)该承载装置1为可通过输送机构11来使承载机构12的定位区间120可承载有多片基材4，并可再通过输送机构11来将承载有复数基材4的承载机构12运送至后续镀膜、水洗、风干或收料等制程工作站中，以具有自动化、量产化的效果，进而达到降低制程时间及提升制程效率、产能的效用。

(四)该承载机构12为可依据不同尺寸的基材4来变更或调整复数定位区间120的尺寸大小，且因承载机构12为活动组装于输送机构11上，所以仅需更换承载机构12，即可供不同尺寸的复数基材4放置，以提升使用上的便利性，进而降低设备成本。

(五)该承载装置1为可通过复数磁吸装置13来直接吸附复数基材4，其相较于利用真空吸嘴吸取的方式，可避免发生吸到镀膜液5而造成复数基材4掉落或真空吸嘴装置损坏的情况，进而使复数基材4分别稳固定位于承载机构12的复数定位区间120中，以避免复数基材4于运输或镀膜等过程中，产生偏移、掉落的情况，如此提升作业时的稳定性、流畅性，进而提高作业时的精确、准确度。

综上所述，本发明的应用于薄膜太阳能电池的多片式化学水浴镀膜装置于实际实施、应用时，为确实能达到其功效及目的，故本发明诚为一实用性优异的研发，为符合发明专利的申请要件，爰依法提出申请，盼审委早日赐准本案，以保障发明人的辛苦研发，倘若钧局审委有任何稽疑，请不吝来函指示，发明人定当竭力配合，实感德便。