一种镀膜机镀铬层修复装置的制作方法

文档序号:11418873阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:包括真空室腔体(1)、靶材(2)和工件(3),所述真空室腔体(1)为圆柱体形,所述靶材(2)嵌入在真空室腔体(1)的周围的腔体壁上,所述工件(3)安装在真空室腔体(1)的底部中间凸起的底座位置,所述真空室腔体(1)的底部与真空室腔体(1)的侧壁之间为组合连接,所述在真空室腔体(1)上端设有气体流通口(4)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述工件(3)安装在真空室腔体(1)底部中间凸起的底座的方式为螺纹安装方式或卡合式安装方式。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述真空室腔体(1)的底部与真空室腔体(1)的侧壁之间的组合连接方式为螺纹旋转连接或是卡合式连接。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述真空室腔体(1)底部四周设有密封圈,所述密封圈的制作材料为高分子纳米材料。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述靶材的制作材料为金属铬。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述真空室腔体(1)的底部设有旋转装置。

7.根据权利要求1或2所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述真空室腔体(1)的底部中间凸起的底座内部表面设有橡胶保护层。

8.根据权利要求1或2所述的一种镀膜机镀铬层修复装置,其特征在于:所述真空室腔体(1)的底部底座个数为1~6个。

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