一种镀膜机镀铬层修复装置的制作方法

文档序号:11418873阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种镀膜机镀铬层修复装置,包括真空室腔体、靶材和工件,所述真空室腔体为圆柱体形,所述靶材嵌入在真空室腔体的周围的腔体壁上,所述工件安装在真空室腔体的底部中间凸起的底座位置,所述真空室腔体的底部与真空室腔体的侧壁之间为组合连接,所述在真空室腔体上端设有气体流通口。本实用新型结构简单,采用与原镀层材质相同的靶材对工件进行修复,环境密闭环保,提高了修复效果。

技术研发人员:吴晨
受保护的技术使用者:安徽普威达真空科技有限公司
文档号码:201720030417
技术研发日:2017.01.12
技术公布日:2017.08.29

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