本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机。
背景技术：
真空镀膜机包括一镀膜室，镀膜过程都是在镀膜室内进行。在镀膜过程中，通常需要通过充入惰性气体来保证镀膜中的金属不会接触氧气，防止被氧化，而且惰性气体不会依附在镀膜室的内壁上，比较容易被气体压缩泵抽走。
但是，一般的惰性气体在被使用过后便直接被排到大气中，造成了一定程度的浪费。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机，解决上述至少一个技术问题。
本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
真空镀膜机，包括一镀膜室，所述镀膜室设有一进气口与一排气口，所述进气口连接一用于提供惰性气体的气泵，所述气泵连接一惰性气体储气罐，其特征在于：
还包括一惰性气体回收系统；
所述惰性气体回收系统，包括一气体压缩泵；
所述镀膜室还设有一出气口，作为惰性气体回收口，所述惰性气体回收口连接所述气体压缩泵的吸气口；
所述气体压缩泵的出气口连接所述惰性气体储气罐的回气口。
在排气口排出空气，并排出一些空气与惰性气体混合的气体后，镀膜室内使较为纯净的惰性气体。
然后，启动气体压缩泵吸走惰性气体，并压缩回收至惰性气体储气罐，实现回收，减少了惰性气体的浪费。
所述气体压缩泵的出气口与所述惰性气体储气罐的回气口之间设有一连接管路，所述连接管路外螺旋缠绕有冷却水管。
可以使冷却水管接入自来水管，实现冷却。
在镀膜过程中，镀膜室内的气温会有所升高，因此设置冷却水管将从镀膜室内抽出的惰性气体进行冷却，保证在惰性气体储气罐中的惰性气体处于较低的温度，确保其可以被重新利用。
所述惰性气体为氮气或氩气中的至少一种。所述惰性气体优选为氮气。氮气的成本较低。
所述镀膜室的排气口设有一电磁阀，作为排气口电磁阀；
所述镀膜室的惰性气体回收口也设有一电磁阀，作为惰性气体回收口电磁阀；
所述镀膜室的排气口处设有一氧传感器与一湿度传感器，所述氧传感器与湿度传感器均连接一微处理器的信号输入端，所述微处理器的信号输出端连接所述排气口电磁阀的控制端与所述惰性气体回收口电磁阀的控制端。
当气体压缩泵排出的空气的氧气浓度大于1％，水蒸气浓度大于5％时，打开排气口电磁阀，将排出的气体排出大气。使惰性气体储气罐内尽量不会混进太多的氧气和水蒸气。
附图说明
图1为本实用新型的部分结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。
参照图1，真空镀膜机，包括一镀膜室1，镀膜室1设有一进气口11与一排气口，进气口11连接一用于提供惰性气体的气泵3，气泵3连接一惰性气体储气罐4，还包括一惰性气体回收系统；惰性气体回收系统，包括一气体压缩泵2；镀膜室1还设有一出气口，作为惰性气体回收口，惰性气体回收口连接气体压缩泵2的吸气口；气体压缩泵2的出气口连接惰性气体储气罐4的回气口。在排气口排出空气，并排出一些空气与惰性气体混合的气体后，镀膜室1内使较为纯净的惰性气体。然后，启动气体压缩泵2吸走惰性气体，并压缩回收至惰性气体储气罐4，实现回收，减少了惰性气体的浪费。
气体压缩泵2的出气口与惰性气体储气罐4的进气口之间设有一连接管路，连接管路外螺旋缠绕有冷却水管5。可以使冷却水管接入自来水管，实现冷却。
在镀膜过程中，镀膜室内的气温会有所升高，因此设置冷却水管将从镀膜室内抽出的惰性气体进行冷却，保证在惰性气体储气罐中的惰性气体处于较低的温度，确保其可以被重新利用。
惰性气体为氮气或氩气中的至少一种。惰性气体优选为氮气。氮气的成本较低。
镀膜室1的排气口设有一电磁阀，作为排气口电磁阀6；镀膜室1的惰性气体回收口也设有一电磁阀，作为惰性气体回收口电磁阀7；镀膜室1的排气口处设有一氧传感器与一湿度传感器，氧传感器与湿度传感器均连接一微处理器的信号输入端，微处理器的信号输出端连接排气口电磁阀6的控制端与惰性气体回收口电磁阀7的控制端。当气体压缩泵排出的空气的氧气浓度大于1％，水蒸气浓度大于5％时，打开排气口电磁阀，将排出的气体排出大气。使惰性气体储气罐内尽量不会混进太多的氧气和水蒸气。
当气体压缩泵排出的空气的氧气浓度小于1％，水蒸气浓度小于5％时，打开惰性气体回收口电磁阀，将气体回收至惰性气体储气罐。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。