技术总结
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种管式PECVD结构，包括单向阀，单向阀包括阀体和活塞组件，阀体的一端口与管式PECVD的炉管相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管相连通，炉管的连接阀体的端口位于活塞组件的底部、连接管的连接阀体的端口位于活塞组件的侧部，以使活塞组件将炉管和连接管隔开；当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动活塞组件向上运动，以使炉管和连接管连通，气体由炉管流入连接管内。本实用新型提出的管式PECVD结构，当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动活塞组件向上运动，使炉管内气体只能沿着真空泵抽气方向抽离，不会出现连接管内气体回流的情况。
技术研发人员：谢明会;赵洪俊;平国庆;何为晋
受保护的技术使用者：奥特斯维能源（太仓）有限公司;太仓海润太阳能有限公司
技术研发日：2017.07.20
技术公布日：2018.06.19