一种应用于柱形旋转靶的挡板组件的制作方法

本实用新型属于溅射镀膜挡板结构技术领域，具体涉及一种应用于柱形旋转靶的挡板组件。

背景技术：

溅射镀膜靶材的挡板结构用于防止不同材料靶材溅射的相互污染问题，对于柱形旋转靶而言，常采用半环形挡板结构。现有的半环形挡板开关一般采用两种方式：一种是采用独立的电机加传感器实现挡板的关闭；另一种方式是采用气缸驱动，前述的两种方式均需要配置与挡板单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，从而会导致增加真空漏气故障点。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提出一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；

所述自由环呈U型，包括圆环状的底部和环状凸起部，其外侧部上对称设置有两个限位件；

所述半圆环挡板与自由环的底端相连，其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直，且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方；

所述连轴环呈U型，设于自由环内部，且与自由环同轴设置，包括圆环状的底部和环状凸起部；

所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，所述环状压板位于轴承上方，且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连；

所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上还设有球形凹坑，连轴环和自由环上的环形凹槽共同形成跑道，所述滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。

作为本实用新型的进一步改进，所述自由环外侧部的限位件为限位螺钉，两个限位螺钉之间的连线与自由环的轴线交叉垂直。

作为本实用新型的进一步改进，所述自由环的环状凸起部处设有至少3个用于容纳螺杆的孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述环状压板上设有与螺杆数量一致的定位孔，所述定位孔的位置与自由环的环状凸起部处的孔的位置相对应。

作为本实用新型的进一步改进，所述自由环的底端通过焊接或螺钉与半圆环挡板相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述弹性件为弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，所述环形凹槽上至少设有3个球形凹坑。

作为本实用新型的进一步改进，所述球形凹坑均布在环形凹槽上。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提出一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，该组件中的连轴环用于通过螺钉固定在旋转靶的旋转轴上，自由环和环状压板通过滚珠和平面轴承与连轴环形成滚动结构；通过螺母调节弹簧的弹力以实现对滚动摩擦力的调节，当连轴环随着柱形旋转靶旋转时，将带动自由环和连接在自由环上的半圆环挡板旋转，直至定位螺钉碰到设于所述应用于柱形旋转靶的挡板组件外侧的腔体的某个设定位置而停止自由环的转动，所以通过旋转靶的正反转，即可实现半圆环挡板的开与关，从而实现了无需独立设置挡板旋转电机、气缸、真空腔体开孔和轴封等结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

附图说明

图1是本实用新型的一种实施例的剖面示意图；

图2是本实用新型的一种实施例的连轴环仰视示意图；

图3是本实用新型的一种实施例的自由环俯视示意图；

图4是本实用新型的一种实施例的环状压板俯视示意图；

图中附图标记的含义：

1为连轴环，1-1为连轴环环形凹槽，1-1-1为连轴环球形凹坑，2为自由环，2-1为自由环环形凹槽，2-1-1为自由环球形凹坑，2-2为用于容纳螺杆的孔，2-3为限位螺钉孔，3为螺母，4为环状压板，4-1为定位孔，5为轴承，6为弹性件、7为螺杆、8为滚珠、9为限位螺钉，10为半圆环挡板。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面结合附图对本实用新型的应用原理作详细的描述。

如图1-4所示，一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环2、半圆环挡板10、连轴环1、环状压板4、轴承5和滚珠8；

所述自由环2呈U型，包括圆环状的底部和环状凸起部，其外侧部上180°对称设置有两个限位螺钉孔2-3，限位螺钉孔2-3内设有限位螺钉9，两个限位螺钉9之间的连线与自由环2的中轴线交叉垂直；

所述半圆环挡板10与自由环2的底端相连，其延伸方向与自由环2的底部的延伸方向相垂直，且半圆环挡板10的两个端部分别位于自由环2上对应的限位螺钉9下方；具体实施时，所述自由环2的底端通过焊接或螺钉与半圆环挡板10相连；

所述连轴环1呈U型，设于自由环2内部，且与自由环2同轴设置，包括圆环状的底部和环状凸起部；

所述环状压板4和轴承5均套设在连轴环1的环状凸起部外侧，所述环状压板4位于轴承5上方，且环状压板4通过外侧套设有弹性件6的螺杆7与自由环2上的环状凸起部相连，螺杆7的一端设于自由环2上的环状凸起部内，另一端上设有螺母3；具体实施时，所述环状压板4上设有与螺杆7数量一致的定位孔4-1，所述定位孔4-1的位置与自由环2的环状凸起部处用于容纳螺杆的孔2-2的位置相对应；所述轴承5的横截面尺寸与连轴环1的环状凸起部的横截面尺寸相同，或者略小于连轴环1的环状凸起部的横截面尺寸；所述环状压板4的横截面尺寸大于连轴环1的环状凸起部的横截面尺寸，优选与自由环2的圆环状的底部的横截面尺寸相同；

所述连轴环1的圆环状的底部的底表面与自由环2的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽（1-1，2-1），环形凹槽（1-1，2-1）上还设有球形凹坑（1-1-1，2-1-1），连轴环1和自由环2上的环形凹槽（1-1，2-1）共同形成跑道，所述滚珠8设于环形凹槽（1-1，2-1）或者球形凹坑（1-1-1，2-1-1）内，球形凹坑（1-1-1，2-1-1）的尺寸与滚珠相匹配。

在本实用新型的一种具体实施例中，所述自由环2的环状凸起部处设有至少3个用于容纳螺杆的孔2-2，容纳螺杆的孔2-2等间隔设置。

在本实用新型的一种具体实施例中，所述弹性件为弹簧，在本实用新型的其他实施例中，所述弹性件还可以是其他任意能够具有弹性的物件。

在本实用新型的一种具体实施例中，所述环形凹槽（1-1，2-1）上至少设有3个球形凹坑（1-1-1，2-1-1）；进一步地，所述球形凹坑（1-1-1，2-1-1）均布在环形凹槽（1-1，2-1）上。

综上所述：本实用新型的应用于柱形旋转靶的挡板组件的工作原理具体为：

正常工作时，连轴环通过螺钉连接在旋转靶的旋转轴上，并随着靶的旋转而旋转；通过调节螺帽而调节弹簧的弹力，将调节自由环和连轴环通过滚珠及平面轴承形成的滚动摩擦力，当滚动摩擦力足够大时，连轴环将随着自由环旋转，直至定位螺钉碰到设于所述应用于柱形旋转靶的挡板组件外侧的腔体的某个设定位置而停止自由环的转动，本实用新型中自由环上180°对称安装的限位螺钉将可限制自由环最大的旋转角度为180°，所以通过改变靶的旋转方向即可实现连接在自由环的挡板的开关，如此，在不需要额外增加电机或气缸，不需要在真空设备上额外打孔和增加轴封的情况下便可实现柱形旋转靶的挡板。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。