技术总结
本实用新型公开了一种成膜装置。成膜装置包括多个腔体、第一轨道、能够移动地设置在第一轨道上的基板载具和与基板载具同步移动的收集装置。多个腔体沿第一轨道排布。基板载具用于运载板材。收集装置位于基板载具的正下方且用于收集板材的破片。本实用新型实施方式的成膜装置，在基板载具正下方设置收集装置，在基板载具的传输过程中，一旦板材发生破片，破片由于重力作用会直接掉入位于基板载具正下方的收集装置中。因此，无需停机进行破片清理，从而提高了生产效率且避免浪费人力。
技术研发人员：王三军;刘圣烈
受保护的技术使用者：深圳柔宇显示技术有限公司
技术研发日：2017.12.13
技术公布日：2018.08.14