液冷头结构及其制造方法与流程

本发明系关于一种液冷头结构，尤指一种一体成型的液冷头结构及其制造方法。

背景技术：

近年来，科技发展为契合应用上的需要导致电子器件日益的微型化、集成化，同时功率不断提升，因此器件的发热密度愈来愈高而散热效率日趋严峻。由于这类器件于运作时会伴随产生大量热能，若其产生的热量不能有效地被移除，则可能致使整体系统受损或降低运作效率。传统被动式散热鳍片已无法满足这类器件的散热需求，而相较于被动式散热鳍片，液冷头结构的操作性能可更有效益地符合散热需求。

图1系揭示一传统组合式液冷头结构示意图。组合式液冷头结构10包括壳体11、上盖14、流体入口管15以及流体出口管16。其中壳体11具有内部空间11a，以架构形成液冷流道。上盖14与壳体11组合，上盖14具有两开口14a及14b，分别与流体入口管15以及流体出口管16连接，以使流体入口管15与流体出口管16通过液冷流道连通。于应用时，组合式液冷头结构10与待散热器件组合后，即可通过组合式液冷头结构10的液体流道中流动的液体进行热交换作用，俾将热能带离待散热器件以实现散热。由于传统组合式液冷头结构10系采组装方式构成，壳体11与上盖14必须紧密接合，以避免漏液产生而致使邻设的电子器件故障。然而在使用例如铜、铝等高导热金属作为液冷头结构的构成材料时，壳体11与上盖14之间的黏合或焊接界面常出现瑕疵，且易因使用时的温度变化而使该黏合或焊接界面间产生裂缝并出现漏液现象，进而造成周边电子器件损坏。更甚者，为增加组合式液冷头结构10的散热效率，可以在壳体11之内部空间11a中增设可以增加散热面积的结构，然而现有技术亦系利用黏合或焊接将前述结构组配设置于壳体11的内部空间11a中，如此不只使得制程复杂耗时，成本较高且接合介面更会增加热传阻抗。

因此，实有必要发展一种一体成型的液冷头结构及其制造方法，以解决现有技术所面临的问题。

技术实现要素：

本发明目的在于提供一种一体成型的液冷头结构及其制造方法，其系预先形成一消失蕊，以相对于液冷头结构的具散热鳍片的液体流道，且提供足够的支撑强度以进行液冷头结构的金属射出成型(metalinjectionmolding,mim)作业。脱脂及烧结后的液冷头结构为一体成型，金属材料均匀分布，无接合界面，可有效避免接合界面因组装制程或温度变化产生裂缝及出现漏液现象的问题。

本发明另一目的在于提供一种一体成型的液冷头结构及其制造方法，其系利用共射出成型(co-injectionmolding)或嵌入成型(insertmolding)，以例如聚甲醛粘结剂、低熔点金属或可溶性聚合物等材料预先形成一相对于液冷头结构的液体流道的消失蕊，再结合金属射出成型(metalinjectionmolding,mim)技术，以金属粉末及粘结剂混合的成型材料(feedstock)形成液冷头结构的生坯体(greenbody)。消失蕊于金属射出成型时提供足够的支撑强度，且可于金属射出成型烧结前去除。此外，消失蕊的支撑柱的设置更可相对液冷头结构的液体入口管及液体出口管的设计而调变，且不影响金属射出成型的作业，烧结后的液冷头结构即具一体成型的液冷流道，有效简化制程、提升生产速率及良率且降低成本。

本发明再一目的在于提供一种一体成型的液冷头结构及其制造方法，其系利用例如聚甲醛粘结剂体系材料预先形成一相对于液冷头结构的液体流道的消失蕊，再结合铜系金属射出成型(coppermetalinjectionmolding,cu-mim)技术，以铜系金属粉末及粘结剂混合的成型材料(feedstock)形成液冷头结构的生坯体(greenbody)。聚甲醛粘结剂体系材料的消失蕊于铜系金属射出成型时提供足够的支撑强度，且消失蕊构成材料与金属射出成型的粘结剂主成份相同，故有利于简并消失蕊与部分粘结剂的移除作业。烧结后的液冷头结构具有一体成型的液冷流道，且铜系金属材料均匀分布，无接合界面，以使液冷头结构能提供高效能散热效果，且有效避免裂缝及漏液现象的发生。

为达前述目的，本发明提供一种液冷头结构的制造方法，包括步骤：(a)提供一消失蕊，包含一本体以及至少二支撑柱，其中本体包括至少一凹陷部以及彼此相对的一第一表面与一第二表面，至少一凹陷部部分贯穿本体的第一表面与第二表面之间，至少二支撑柱的一第一端连接至本体；(b)以一金属粉末与一粘结剂的混合物，形成一生坯体，其中生坯体包覆消失蕊的本体及二支撑柱的第一端，且填满至少一凹陷部；(c)移除消失蕊，且部分移除粘结剂，使生坯体成为一脱脂体；以及(d)烧结脱脂体，以形成液冷头结构，其中液冷头结构包括一壳体、至少一液体入口管、至少一液体出口管以及至少一内嵌部，至少一内嵌部设置于壳体内，与壳体组配形成一液冷流道，至少一液体入口管与至少一液体出口管通过液冷流道彼此连通，其中至少一液体入口管、至少一液体出口管以及至少一内嵌部分别对应至少二支撑柱与至少一凹陷部所构成。

于一实施例中，至少一凹陷部为一选自至少一切口与多个开孔中至少之一者。

于一实施例中，消失蕊由一聚甲醛所构成，其中步骤(c)更包括步骤(c1)于一移除温度，移除消失蕊；以及步骤(c2)于一脱脂温度下部分移除粘结剂，其中移除温度小于或等于脱脂温度。

于一实施例中，消失蕊由一低熔点金属所构成，低熔点金属选自由铋、锡、铅、铟及其合金金属构成群组中之一者，其中步骤(c)更包括步骤(c1)于一移除温度，移除消失蕊；以及步骤(c2)于一脱脂温度下部分移除粘结剂，其中移除温度小于脱脂温度。

于一实施例中，消失蕊由一可溶性聚合物所构成，可溶性聚合物选自由聚乙烯醇、聚甲基丙烯酸甲酯与聚乙二醇构成群组中之一者，其中步骤(c)更包括步骤(c1)将生肧体浸泡于一溶剂，移除消失蕊；以及步骤(c2)于一脱脂温度下部分移除粘结剂，其中移除温度小于脱脂温度。

于一实施例中，粘结剂为一溶剂脱脂型粘结剂，其中溶剂脱脂型粘结剂包含选自乙烯/醋酸乙烯酯共聚物、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯所构成族群中的至少一者与石蜡的混合物。

于一实施例中，粘结剂为一溶剂脱脂型粘结剂，其中溶剂脱脂型粘结剂包含选自聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇缩丁醛与聚乙二醇所构成族群中的至少一者。

于一实施例中，粘结剂包含一酸脱脂型粘结剂，其中酸脱脂型粘结剂更包含一聚甲醛。

于一实施例中，金属粉末为选自一铜金属与一铜合金中之一者，其中铜合金系选自由锌、镍、钖、钨与钼所构成族群中的至少一者与铜的合金。

于一实施例中，二支撑柱包括与第一端相对的一第二端，组配于执行步骤(b)时与一成型模具连接，且通过二支撑柱支撑消失蕊于成型模具之内。

于一实施例中，消失芯与粘结剂包含一相同材料，其中相同材料为聚甲醛。

为达前述目的，本发明更提供一种液冷头结构，包括壳体、至少一液体入口管以及至少一液体出口管。壳体包括至少一内嵌部设置于壳体内，以组配形成一液体流道。至少一液体入口管与至少一液体出口管通过液体流道彼此连通，其中液体入口管、液体出口管、壳体与至少一内嵌部由一金属粉末与一粘结剂的混合物以一射出成型方式包覆一消失蕊后成型，经去除消失蕊与部分脱脂粘结剂后，将金属粉末烧结成一体所构成。

于一实施例中，消失蕊包含一本体以及至少二支撑柱，其中本体包括至少一凹陷部以及彼此相对的一第一表面与一第二表面，至少一凹陷部部分贯穿本体的第一表面与第二表面之间，至少二支撑柱之一第一端连接至本体，其中至少一液体入口管、至少一液体出口管以及至少一内嵌部分别对应至少二支撑柱与至少一凹陷部所构成。

于一实施例中，二支撑柱包括与第一端相对的一第二端，以与射出成型方式使用的一成型模具连接，且通过二支撑柱支撑消失蕊于成型模具之内。

于一实施例中，消失蕊由一聚甲醛所构成。

于一实施例中，消失蕊由一低熔点金属所构成，低熔点金属系选自由铋、锡、铅、铟及其合金金属构成群组中之一者。

于一实施例中，消失蕊由一可溶性聚合物所构成，可溶性聚合物选自由聚乙烯醇、聚甲基丙烯酸甲酯与聚乙二醇构成群组中之一者。

于一实施例中，粘结剂为一溶剂脱脂型粘结剂，其中溶剂脱脂型粘结剂包含选自乙烯/醋酸乙烯酯共聚物、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯所构成族群中的至少一者与石蜡的混合物。

于一实施例中，粘结剂为一溶剂脱脂型粘结剂，其中溶剂脱脂型粘结剂包含选自聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇缩丁醛与聚乙二醇所构成族群中的至少一者。

于一实施例中，粘结剂包含一酸脱脂型粘结剂，其中酸脱脂型粘结剂更包含一聚甲醛。

于一实施例中，金属粉末为选自一铜金属与一铜合金中之一者，其中铜合金系选自由锌、镍、钖、钨与钼所构成族群中的至少一者与铜的合金。

于一实施例中，消失芯与粘结剂包含一相同材料，其中相同材料为聚甲醛。

附图说明

图1系揭示一传统组合式液冷头结构示意图。

图2系揭示本发明第一较佳实施例的液冷头结构的制造流程图。

图3系揭示本发明第一较佳实施例的消失蕊的结构示意图。

图4系揭示本发明第一较佳实施例的液冷头外观示意图。

图5系揭示图4的液冷头结构的部分剖面结构示意图。

图6系揭示本发明第二较佳实施例的消失蕊的结构示意图。

图7系揭示本发明第二较佳实施例的液冷头结构的部分剖面结构示意图。

图8系揭示本发明第三较佳实施例的消失蕊的结构示意图。

图9系揭示本发明第三较佳实施例的液冷头结构的部分剖面结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

10：组合式液冷头结构

11：壳体

11a：内部空间

14：上盖

14a、14b：开口

15：流体入口管

16：流体出口管

20、20a、20b：消失蕊

21：本体

21a：第一表面

21b：第二表面

21c、21d：侧面

22：凹陷部

22a：切口

22b：开孔

23、24：支撑柱

23a、24a：第一端

23b、24b：第二端

30、30a、30b：液冷头结构

31壳体

31a、31b：侧面

31c：顶面

32：液体入口管

33：液体出口管

34：内嵌部

34a：隔板

34b：散热鳍片

35、35a、35b：液冷流道

9：金属射出成型模具

s1～s4：步骤

具体实施方式

体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且本说明书的所有说明及图式在本质上系单纯用以说明本发明，当非用以限缩本发明的可实施范围。

图2系揭示本发明第一较佳实施例的液冷头结构的制造流程图。图3系揭示本发明第一较佳实施例的消失蕊的结构示意图。图4系揭示本发明第一较佳实施例的液冷头结构的外观示意图。图5系揭示图4的液冷头结构的部分剖面结构示意图。如图2至图5所示，本发明的液冷头结构30包括壳体31、至少一液体入口管32、至少液体出口管33以及至少一内嵌部凹陷部(insertpart)34，其中至少一内嵌部凹陷部34可例如是至少一隔板34a、多个散热鳍片34b或其组合。利用一具至少二支撑柱23、24的消失蕊20，配合金属粉末与粘结剂的混合物作为成型材料(feedstock)的金属射出成型技术，即可将壳体31、液体入口管32、液体出口管33以及液冷流道35内至少一内嵌部34架构为一体成型的液冷头结构30。其制造方法如下所述。

首先，如图2中步骤s1所示，提供一消失蕊(lostcore)20。消失蕊20包含一本体21以及二支撑柱23、24。其中该本体21包括至少一凹陷部22以及彼此相对的一第一表面21a与一第二表面21b。于本实施例中，至少一凹陷部22包括至少一切口22a与多个开孔22b，贯穿本体21的第一表面21a与第二表面21b之间，二支撑柱23、24的各第一端23a、24a系连接至本体21的第一表面21a。于本实施例中，消失蕊20可由一热塑性材料，通过例如是但不受限于一射出成型的方式而成型。于本实例中，消失蕊20更例如是由一聚甲醛(polyoxymethylene,pom)所构成，以使消失蕊20具良好的成型性(goodmouldability)和优异的保形性(excellentshaperetention)。于本实施例中，聚甲醛(polyoxymethylene,pom)构成的消失蕊20，可于90℃～140℃的温度范以酸催化脱脂(acidcatalyticdebinding)去除，例如于120℃中以硝酸或于130℃中以草酸去除消失蕊20。于另一实施例中，消失蕊20可由一低熔点金属(lowmelting-pointmetal)，例如铋(bi)、锡(sn)、铅(pb)、铟(in)及其合金金属等构成，其熔点在例如是300℃以下。于其他实施例中，消失蕊20亦可由一可溶性聚合物(solublepolymer)，例如聚乙烯醇(polyvinylalcohol,pva)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate,pmma)、聚乙二醇(polyethyleneglycol,peg)等可溶性聚合物，可以水或酒精等有机溶剂溶解者。应强调的是，消失蕊20的构成材料并非仅限于前述例示，任何可提供良好成型性及优异保形性，且于金属射出成型的脱脂程序前透过酸脱脂、低温溶解或溶剂溶解等方式移除者，均适用于本发明。本发明并不受限于此，且不再赘述。

接着，如图2中步骤s2所示，以一金属粉末与一粘结剂的混合物作为成型材料(feedstock)，通过例如是金属射出成型的方式形成一生坯体(greenbody)。于此步骤中，生坯体成型于一金属射出成型模具9内，包覆消失蕊20的本体21及二支撑柱23、24的各第一端23a、24a，且填满例如是切口22a与多个开孔22b所于本体21上构成的至少一凹陷部22。于本实施例中，金属粉末可选用具高导热系数的金属粉末，如铜金属或铜合金粉末等。其中铜合金包括铜及选自由锌、镍、钖、钨与钼所构成族群中的至少一者。于本实施例中，金属粉末以铜粉为例，但本发明并不受限于此。选用的铜粉可不限于氧化还原(oxidereduction,or)、水雾(wateratomization,wa)、气喷(gasatomization,ga)或喷气研磨(jetmilling,jm)制得的铜粉，尤以球形状者为佳。平均粒径范围自1μm至30μm。另一方面，粘结剂可例如是由一包含聚甲醛(polyoxymethylene,pom)的酸脱脂型粘结剂所构成。铜粉与聚甲醛(polyoxymethylene,pom)粘结剂以铜粉占50至70％体积百分率(vol.％)混成的成型原料(feedstock)，于120℃～230℃的成型温度下以金属射出成型(metalinjectionmolding)的方法包覆消失蕊20的生坯体。于另一实施例中，成型原料(feedstock)使用的粘结剂可例如是一溶剂脱脂型粘结剂，由一选自乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(ethylenevinylacetate,eva)、聚乙烯(polyethylene,pe)、聚丙烯(polypropylene,pp)、聚苯乙烯(polystyrene,ps)中的至少之一者与石蜡的混合物，或选自聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate,pmma)、聚乙烯醇缩丁醛(polyvinylbutyral,pvb)、聚乙二醇(polyethyleneglycol,peg)中至少之一者所构成。应强调的是，任何可应用于铜金属射成型的蜡基或塑基粘剂均可适用于本发明，本发明并不受限于粘结剂的选择，且不再赘述。值得注意的是，于进行金属射出成型时，消失蕊20的二支撑柱23、24的各第二端23b、24b与金属射出成型模具9连接，且通过二支撑柱23、24将消失蕊20支撑于金属射出成型模具9之内，以利于金属射出成型时，使成型原料射出的生坯体完整包覆消失蕊20的本体21及二支撑柱23、24的第一端23a、24a，且充分填满切口22a与多个开孔22b。

尔后，如图2步骤s3所示，移除消失蕊20，且部分移除粘结剂，使生坯体成为一脱脂体(deboundbody)。于本步骤中，消失蕊20可于一移除温度下先移除后，再于一脱脂温度下进行脱脂(debinding)以部分移除粘结剂。其中消失蕊20的移除可根据消失蕊20的材料选用而以对应的方式于一移除温度下移除。于本实施例中，当消失蕊20由聚甲醛(polyoxymethylene,pom)构成时，则消失蕊20的结构可于90℃～140℃的温度范围内以酸催化脱脂(acidcatalyticdebinding)去除，例如于120℃中以硝酸或于130℃中以草酸去除消失蕊20。当消失蕊20可由一低熔点金属(lowmelting-pointmetal)，例如铋(bi)、锡(sn)、铅(pb)、铟(in)及其合金金属等构成时，由于低熔点金属的熔点较低，故可于低于后续脱脂温度的条件下，以加热方式将消失蕊20移除。又当消失蕊20由一可溶性聚合物(solublepolymer)，例如聚乙烯醇(polyvinylalcohol,pva)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate,pmma)、聚乙二醇(polyethyleneglycol,peg)等可溶性聚合物构成时，将生肧体浸泡于例如是水或酒精等有机溶剂内，则消失蕊20可溶解于水或酒精等有机溶剂内而移除。应强调的是，消失蕊20与金属射出成型粘结剂的材料选用可视实际应用需求而调变，本发明并不受限于前述实施例的组合，且不再赘述。惟于本实施中，消失蕊20与金属射出成型粘结剂同时例如选用包含聚甲醛(polyoxymethylene,pom)材料时，更有利于简并消失蕊20与部分粘结剂的移除作业。于本实施例中，包含聚甲醛粘结剂体系材料的脱脂温度的范围例如介于300℃～600℃。

最后，如图2步骤s4所示，烧结前述脱脂体，以使脱脂体等比例均匀收缩形成液冷头结构30的一体成型烧结体(sinteredbody)。于本实例中，金属粉末例如是铜粉，铜粉形成的脱脂体可于950℃～1060℃的烧结温度范围内，持温烧结1至2小时后，即可获致本发明一体成型的液冷头结构30。利用前述制造方法所制得的液冷头结构30包括壳体31、液体入口管32、液体出口管33与至少一内嵌部34共同烧结成一体。于本实施例中，至少一内嵌部34包括例如至少一隔板34a以及多个散热鳍片34b。又壳体30与至少一内嵌部34更组配形成液冷流道35，且液体入口管32与液体出口管33通过液冷流道35彼此连通，俾利于液冷头结构30提供有效散热效果，其中利用金属射出成型所得的液冷头结构30烧结体具95％至98％的烧结密度及300w/m·k至350w/m·k的热导系数，散热性质优异。

值得注意是，由于消失蕊20的二支撑柱23、24可于金属射出成型时支撑消失蕊20的本体21于金属射出成型模具9之内，且二支撑柱23、24更分别对应构成液冷头结构30的液体入口管32、液体出口管33。藉此，金属射出成型模具9与消失蕊20可视实际应用需求组配构成具不同液冷流道35的液冷头结构30，且连通于液体入口管32与液体出口管33之间。由于液冷头结构30为一体成型的金属射出成型烧结体，金属材料均匀分布，无接合界面，可有效避免接合界面因组装制程或温度变化产生裂缝及出现漏液现象的问题。

另一方面，消失蕊20的预先成型可配合液冷头结构30的金属射出成型作业，于同一射出成型机台内以共射出成型(co-injectionmolding)或嵌入成型(insertmolding)达成。换言之，利用消失蕊注塑成型(lostcoreinjectionmolding)技术，可预先形成具足够机械支撑力的消失蕊20，随后利用金属成型技术将金属粉未与粘结剂的混合物，即以成型原料(feedstock)成型为液冷头结构30的生坯体(greenbody)。且消失蕊20与金属射出成型的粘结剂可例如包含相同的聚甲醛(polyoxymethylene,pom)，于液冷头结构30的生坯体成型后，聚甲醛(polyoxymethylene,pom)可一并被去除，有效简并消失蕊20去除作业及部分脱脂制程，达成提升生产速率及良率且降低成本的目的。

图6系揭示本发明第二较佳实施例的消失蕊的结构示意图。图7系揭示本发明第二较佳实施例的液冷头结构的部分剖面结构示意图。于本实施例中，图6所示的消失蕊20a与图3的消失蕊20相似，图7所示的液冷头结构30a与图4及图5所示的液冷头结构30相似，且相同的元件标号代表相同的元件、结构与功能，于此不再赘述。于本实施例中，液冷头结构30a的液冷流道35a由壳体30与例如是隔板34a的至少一内嵌部34所组配构成。其中液体入口管32与液体出口管33分别设置于壳体31的两相对侧面31a、31b，以连通液冷流道35a。相对于液冷头结构30a的液冷流道35a、液体入口管32与液体出口管33，消失蕊20a的二支撑柱23、24则分别设置于本体21的两相对侧面21c、21d。可替换地，液体入口管32与液体出口管33亦可设置于壳体31的同一侧面，以连通液冷流道35a。相对于液冷头结构30a的液冷流道35a、液体入口管32与液体出口管33，消失蕊20a的二支撑柱23、24则分别设置于本体21的同一侧面。

图8系揭示本发明第三较佳实施例的消失蕊的结构示意图。图9系揭示本发明第三较佳实施例的液冷头结构的部分剖面结构示意图。于本实施例中，图8所示的消失蕊20b与图3的消失蕊20相似，图9所示的液冷头结构30b与图4及图5所示的液冷头结构30相似，且相同的元件标号代表相同的元件、结构与功能，于此不再赘述。于本实施例中，液冷头结构30b的液冷流道36b由壳体30与例如是多个散热鳍片34b的至少一内嵌部34所组配构成。其中液体入口管32与液体出口管33分别设置于壳体31的顶面31c与侧面31b，以连通液冷流道35b。相对于液冷头结构30b的液冷流道35b、液体入口管32与液体出口管33，消失蕊20b的二支撑柱23、24则分别设置于本体21的第一表面21a与侧面21d。

值得注意的是，消失蕊20、20a、20b的二支撑柱23、24，可相对于液冷头结构30、30a、30b的液体入口管32与液体出口管33的设计而变化位置，烧结后的液冷头结构30、30a、30b均使壳体31、液体入口管32、液体出口管33、与例如是隔板34a或散热鳍片34b的内嵌部34构成一体，且液冷流道35、35a、35b连通于液体入口管32与液体出口管33之间。本发明通过变化消失蕊20、20a、20b中二支撑柱23、24以及例如是切口22a或复数个开孔22b的至少一凹陷部22相对于本体21的设置位置，即可因应需求设计液冷头结构30、30a、30b的液体入口管32、液体出口管33以及液冷流道35、35a、35b。应强调的是，消失蕊20、20a、20b的至少二支撑柱23、24于金属射出成型时可提供支撑本体21的作用，惟其相对于本体21的位置、角度或形状，均可因应液冷头结构30、30a、30b的至少一液体入口管32、至少一液体出口管33的设计需求调整与变化。例如至少二支撑柱23、24可设置于本体21的相同平面或相异平面上，且数量及相对于本体21的角度变化亦可视液冷头结构30、30a、30b中至少一液体入口管32以及至少一液体出口管33相对液冷流道35、35a、35b的应用需求而调变。于本发明并不以此为限，且不再赘述。

综上所述，本发明提供一种一体成型的液冷头结构及其制造方法，其系预先形成一消失蕊，以相对于液冷头结构的具散热鳍片的液体流道，且提供足够的支撑强度以进行液冷头结构的金属射出成型(metalinjectionmolding)作业。脱脂及烧结后的液冷头结构为一体成型，金属材料均匀分布，无接合界面，可有效避免接合界面因组装制程或温度变化产生裂缝及出现漏液现象的问题。另外，利用共射出成型(co-injectionmolding)或嵌入成型(insertmolding)，以聚甲醛粘结剂、低熔点金属或可熔性聚合物等材料预先形成一相对于液冷头结构的液体流道的消失蕊，再结合金属射出成型(metalinjectionmolding,mim)技术，以金属粉末及粘结剂混合的成型材料(feedstock)形成液冷头结构的生坯体(greenbody)。消失蕊于金属射出成型时提供足够的支撑强度，且可于金属射出成型烧结前去除。此外，消失蕊的支撑柱的设置更可相对液冷头结构的液体入口管及液体出口管的设计而调变，且不影响金属射出成型的作业，烧结后的液冷头结构即具一体成型的液冷流道，有效简化制程、提升生产速率及良率且降低成本。又，利用聚甲醛粘结剂体系材料预先形成一相对于液冷头结构的液体流道的消失蕊，再结合铜系金属射出成型(coppermetalinjectionmolding,cu-mim)技术，以铜系金属粉末及粘结剂(binder)材料形成液冷头结构的生坯体(greenbody)。聚甲醛粘结剂体系材料的消失蕊于铜系金属射出成型时提供足够的支撑强度，且消失蕊构成材料与金属射出成型的粘结剂主成份相同，故有利于简并消失蕊的移除作业与部分粘结剂的脱脂作业。烧结后的液冷头结构具有一体成型的液冷流道，且铜系金属材料均匀分布，无接合界面，以使液冷头结构能提供高效能散热效果，且有效避免裂缝及漏液现象的发生。

本发明得由熟习此技术之人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附申请专利范围所欲保护者。