技术总结
本发明公开了一种梯度钯钇透氢复合薄膜材料及其制备方法，所述方法以商业铜箔或钠钙玻璃为基底，以高纯钯靶材、钇靶材为溅射材料，高真空多靶磁控溅射设备为制备工具，通过在共溅射沉积的过程中固定钇靶靶位溅射功率、改变钯靶靶位的溅射功率实现膜材料中钇、钯相对含量的调节，通过改变共溅射时间来控制制备薄膜的厚度，最终制备了厚度可变的钯钇透氢复合薄膜材料。本发明所述方法制备流程短、操作简单，参数控制范围宽，容易实现，梯度层厚度、钯钇的相对含量可灵活控制等特点，具有良好的商业化前景。
技术研发人员：张昌钦;其他发明人请求不公开姓名
受保护的技术使用者：山东建筑大学
技术研发日：2018.04.16
技术公布日：2018.07.20