技术特征：
技术总结
本发明公开了一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，由蓝宝石衬底及其上方的氧化铟基半导体膜叠层通过金属有机化学气相沉积方法制得。所述蓝宝石衬底的表面与蓝宝石c晶面存在0°～2°的偏离角，所述蓝宝石衬底双面抛光、厚度为100～10000μm；所述氧化铟基半导体膜叠层由非故意掺杂氧化铟缓冲层以及锡掺杂氧化铟电磁屏蔽主体层叠加而成；所述非故意掺杂氧化铟缓冲层的厚度为10～1000nm，电子平均浓度不高于1×1019cm‑3；所述电磁屏蔽主体层的厚度为0.2～200μm，电子平均浓度不高于5×1019cm‑3。本发明红外透明窗口的方块电阻低于100Ω/sq，0.78～2.5μm波长范围内透过率大于70％、2.5～5μm波长范围内透过率大于50％，电子迁移率高于70cm2/Vs，对1～18GHz频率范围内电磁屏蔽效率大于12dB。
技术研发人员：陈梓敏;王钢;卓毅
受保护的技术使用者：中山大学
技术研发日：2018.05.21
技术公布日：2018.11.02