技术特征：
技术总结
本发明实施例提供了一种磁控溅射平面阴极，包括：靶材背板、靶材、第一绝缘件、第二绝缘件、第一磁铁以及第二磁铁；所述靶材绑定在所述靶材背板的上表面上，所述第一绝缘件与所述第二绝缘件分别铺设在所述靶材两端且与所述靶材背板的上表面贴合；所述第一磁铁设置在所述第一绝缘件上方，所述第二磁铁设置在所述第二绝缘件上方，所述第一磁铁与所述第二磁铁磁极相反且平行置于所述靶材两端。本发明实施例提供的磁控溅射平面阴极，不仅能够提升靶材表面磁场的强度，还能够提升靶材表面磁场水平分量的强度以及磁场分布均匀度。
技术研发人员：王正安
受保护的技术使用者：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
技术研发日：2018.06.06
技术公布日：2018.08.14