技术特征:
技术总结
本发明涉及一种组织及织构可控的超高纯钽及其制备方法和应用。所述超高纯钽的纯度≥99.995%,晶粒度为45‑80μm,板材的厚度方向上{100}织构含量不大于15%,{111}织构含量大于等于33%,极限强度372~410MPa,屈服强度260~287MPa,延伸率41~46%,硬度87~89HV。其制备方法包括:高真空度(10‑4Pa)电子束熔炼炉、氩气室不锈钢包套、道次锻造变形量和总变形量协同控制的三维热锻开坯、多次变角度控制轧制和热处理,车削加工,包装等步骤。本发明所设计的工艺,能够有效控制成品的晶粒尺寸和晶粒度的分布,有效调控成品及其沿厚度方向的织构分布。这为其用作高品质靶材提供了必要条件。
技术研发人员:李周;蒋任翔;肖柱;彭智;龚深;张立强
受保护的技术使用者:中南大学;长沙南方钽铌有限责任公司
技术研发日:2018.09.12
技术公布日:2019.02.15