本实用新型涉及一种CVD化学蒸汽沉积炉加热系统，尤其是涉及一种应用新型CVD化学蒸汽沉积炉专用加热电源构成的加热系统。
背景技术：
化学气相沉积是一种材料表面改性技术，它是在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度的条件下，通过挥发物气体分解或者化合反应后在基体材料的表面沉积成膜，这种膜强化技术选用的基材广泛、适用面广，已广泛应用于机械制造、冶金、电镀等领域。化学气相沉积采用的设备为CVD化学蒸汽沉积炉加热系统：其主要包含有气相反应室、加热系统、气体控制系统、排气系统组成。而其中的加热系统，是整个系统核心部件之一，通过控制反应室温度来实现气体分解或者化合反应，达到在基体上沉积成膜的效果；其提供的热边界条件是外延生长研究的前提和基础，均匀有效的温度对实际生长性能具有重要影响；而每一个特定的加热腔体都需要一个与之匹配的加热电源，加热电源通过低电压、高电流、恒功率的工作输出特性，达到加热区域温度均匀、升温降温速度快、温度快速稳定的性能。但是，如今国内的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统均为进口，缺乏自主产品，且进口的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统存在能耗高、反应慢的缺陷。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能耗低且感应快的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述系统包含有电器箱和反应室，所述反应室位于电器箱上方，所述电器箱内安装有PCB线路板，所述电器箱的箱壁上安装有接线端子，且电器箱的箱壁上开设有穿线孔；所述反应室的底部设置有导热板，所述导热板内嵌置有加热板，所述加热板包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱和反应室后连接至变压器，且铠装电缆上串接有一继电器的被控制端，该继电器的控制端通过导线连接至处理器；三相电源线穿过穿线孔连接至PCB线路板上的整流模块，所述整流模块经安装于PCB线路板上的逆变器后通过导线连接至变压器，且逆变器和变压器之间的导线上设置有互感器模块，所述互感器模块安装于PCB线路板，且互感器模块连接至PWM驱动电路，所述PWM驱动电路连接至逆变器；有一温度传感器安装于反应室的内壁上，且温度传感器的导线穿出反应室的壳体后经由穿线孔连接至处理器。
本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述反应室的壳壁上安装有液晶显示器，所述液晶显示器的通信线缆穿线孔后连接至PCB线路板上的LCD驱动模块，该LCD驱动模块与处理器相连接。
本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述处理器和PWM驱动电路分别通过导线连接至接线端子。
本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述整流模块和逆变器均为基于MOSFET构成的电路；或者逆变器108基于IGBT构成的快速响应逆变回路。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过发热油墨进行加热，从而极大的降低了能耗，且与常规的加热管加热方式相比使得发热方式为面发热，从而使得整个过程中的发热更为均匀；利用负反馈回路结合PWM方式控制逆变器的输出，不但提高了其电路响应速度，而且使得输出更为稳定，进一步有助于恒温均匀发热，提高沉淀效果；最后，通过温度传感器的设置，便于监控和实现恒温控制。
附图说明
图1为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统的结构示意图。
图2为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统的电路框图。
其中：
电器箱1、反应室2、导热板3、加热板4；
穿线孔1.1；
PCB线路板101、接线端子102、温度传感器103、液晶显示器104、继电器105、变压器106、整流模块107、逆变器108、互感器模块109、PWM驱动电路110、处理器111、LCD驱动模块112。
具体实施方式
参见图1和图2，本实用新型涉及的一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述系统包含有电器箱1和反应室2，所述反应室2位于电器箱1上方，所述电器箱1内安装有PCB线路板101，所述电器箱1的箱壁上安装有接线端子102，且电器箱1的箱壁上开设有穿线孔1.1；所述反应室2的底部设置有导热板3，所述导热板3内嵌置有加热板4，所述加热板4包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱1和反应室2后连接至变压器106，且铠装电缆上串接有一继电器105的被控制端，该继电器105的控制端通过导线连接至处理器111；三相电源线穿过穿线孔1.1连接至PCB线路板101上的整流模块107，所述整流模块107经安装于PCB线路板101上的逆变器108后通过导线连接至变压器106，且逆变器108和变压器106之间的导线上设置有互感器模块109，所述互感器模块109安装于PCB线路板101，且互感器模块109连接至PWM驱动电路110，所述PWM驱动电路110连接至逆变器108；有一温度传感器103安装于反应室2的内壁上，且温度传感器103的导线穿出反应室2的壳体后经由穿线孔1.1连接至处理器111；
进一步的，所述反应室2的壳壁上安装有液晶显示器104，所述液晶显示器104的通信线缆穿线孔1.1后连接至PCB线路板101上的LCD驱动模块112，该LCD驱动模块112与处理器111相连接，从而可将温度传感器103获取的信息实时显示在液晶显示器104上；
进一步的，处理器111和PWM驱动电路110分别通过导线连接至接线端子102，从而便于意外情况下进行人工控制、或进行初始化设置；
进一步的，所述整流模块107和逆变器108均为基于MOSFET构成的电路；或者逆变器108基于IGBT构成的快速响应逆变回路；
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。